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기판 갭 유지 장치

  • 기술번호 : KST2019000746
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 갭 유지 장치에 관한 것으로, 기판의 양측단부를 고정한 상태로 기판의 처짐 변형이 발생한 상태에서 기판의 처짐 변형 상태를 조절할 수 있도록 함으로써, 기판이 수평 이동하더라도 기준 지점에서 기판과 스테이지의 간격을 항상 일정하게 유지시킬 수 있고, 이에 따라 노광 장치 등에서 기판의 처짐 변형에 따른 노광 품질 저하 문제를 해결할 수 있을 뿐만 아니라 다른 가공 작업에서도 기판의 갭 유지를 통해 정확한 작업을 가능하게 하며, 기판을 고정한 상태에서 기판에 대한 평탄도를 조절할 수 있어 기판의 처짐 변형 상태를 전체 영역에서 더욱 균일하게 할 수 있으며, 기판 고정 부위에 대한 가압 방향 자유도를 확보하여 기판 고정 부위에서 발생할 수 있는 기판 손상을 방지할 수 있어 더욱 안전환 공정 조건을 제공함은 물론 기판의 내구성을 향상시킬 수 있는 기판 갭 유지 장치를 제공한다.
Int. CL G03F 9/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 9/703(2013.01) G03F 9/703(2013.01) G03F 9/703(2013.01) G03F 9/703(2013.01)
출원번호/일자 1020170096085 (2017.07.28)
출원인 주식회사 필옵틱스, 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-2003468-0000 (2019.07.18)
공개번호/일자 10-2019-0012697 (2019.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20190724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 필옵틱스 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류상길 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김정수 대한민국 경기도 군포시 용호로 ,
3 김규정 대한민국 경기도 화성시 병점로 ,
4 오제훈 대한민국 경기도 안양시 동안구
5 이창규 대한민국 경기도 광명시 소하로 ,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서재승 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***-*(논현동) ***호(스카이국제특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 필옵틱스 경기도 수원시 권선구
2 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0730527-17
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0740139-84
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0047269-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0756522-68
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0017175-27
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0121152-40
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-0213882-31
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0213883-87
10 등록결정서
Decision to grant
2019.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0470344-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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2 2
삭제
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제 1 기판이 안착 고정되도록 수평 방향으로 배치되는 스테이지;상기 제 1 기판의 상부에 이격되게 제 2 기판이 위치하도록 상기 제 2 기판의 제 1 축 방향 양측단부를 각각 고정하며, 상하 이동 가능하게 배치되는 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛;상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛을 각각 상하 방향으로 이동하도록 구동하는 제 1 및 제 2 구동부; 및상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제 2 기판은 양측단부가 고정된 상태로 자중에 의해 처짐 변형되도록 상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛에 의해 고정되고, 상기 제 2 기판의 상부에 위치한 별도의 기준 지점으로부터 연직 하부에 위치한 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 상하 이격 거리는 상기 기준 지점이 상기 제 1 축 방향으로 상대 이동하는 경우에도 항상 일정하게 유지되도록 상기 제어부가 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하여 상기 제 2 기판의 처짐 변형 상태를 조절하며,상기 스테이지와 상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛은 별도의 이송 수단에 의해 상기 제 1 기판 및 제 2 기판과 함께 상기 제 1 축 방향으로 이동할 수 있도록 배치되며,상기 제어부는 상기 기준 지점으로부터 연직 하부에 상기 제 2 기판의 최하단부가 위치하도록 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하고,상기 제 1 및 제 2 구동부는베이스 바디;상기 베이스 바디에 상하 이동 가능하게 결합되며, 일측에는 상기 제 1 이동 홀더 유닛 또는 제 2 이동 홀더 유닛이 결합되어 일체로 이동하는 이동 바디; 및상기 이동 바디를 상하 방향으로 이동시키는 구동 모터를 각각 포함하고,상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛은각각 상기 이동 바디의 일측에 결합되어 상기 제 2 기판의 일측단부를 고정할 수 있도록 형성되는 다수개의 홀더 모듈을 각각 포함하고,다수개의 상기 홀더 모듈은 상기 이동 바디의 일측에 상기 제 1 축과 수평 직각 방향의 제 2 축 방향을 따라 일렬 배치되며, 상기 제 2 기판의 제 2 축 방향에 대한 평탄도를 조절할 수 있도록 각각 상하 방향으로 높이 조절 가능하게 결합되며,다수개의 상기 홀더 모듈은상기 제 2 기판의 상면 및 하면을 가압하며 고정하는 홀더 블록; 및상기 홀더 블록과 상기 이동 바디를 결합시키며 상기 홀더 블록을 상하 높이 조절하는 높이 조절 수단을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 갭 유지 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제 2 기판의 최하단부와 상기 제 1 기판 사이의 이격 거리를 측정하는 갭 센서가 구비되고,상기 제어부는 상기 갭 센서의 측정값을 인가받고, 인가받은 측정값에 따라 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 갭 유지 장치
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6 6
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7 7
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1 중소기업청 주식회사 필옵틱스 World Class 300 프로젝트 R&D 1m 길이를 갖는 laser line beam을 이용한 5㎛급 고해상도 스캔 얼라이너 개발