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기판이 마련된 챔버 내의 유출구를 밀폐시킨 상태에서, 전이 금속 증착을 위한 소스 가스를 제공함으로써, 상기 챔버 내의 압력을 증가시켜, 상기 소스 가스를 상기 밀폐된 챔버 내의 상기 기판에 흡착시키는 소스 가스 가압 도징(dosing) 단계:상기 소스 가스 가압 도징 단계 이후, 퍼지시키는 제1 메인 퍼징(main purging) 단계;상기 제1 메인 퍼징 단계 후에, 반응 가스를 제공하는 반응 가스 도징 단계; 및상기 반응 가스 도징 단계 이후, 퍼지시키는 제2 메인 퍼징 단계;를 포함하는 TMDC(Transition metal dichalcogenide) 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계는, 상기 소스 가스를 제공하여, 상기 챔버 내의 압력을 소정 압력으로 증가시키는 단계; 및상기 챔버의 유입구를 밀폐시켜, 상기 증가된 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계는, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 단계들 및 상기 적어도 두 번의 서브 가압 단계 사이의 서브 퍼징 단계를 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제3 항에 있어서,상기 서브 가압 도징 단계와 상기 서브 퍼징 단계 사이에,상기 서브 가압 도징 단계에 의하여 증가된 챔버 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 반응 가스 가압 도징 단계는, 상기 반응 가스를 제공하여, 상기 챔버 내의 압력을 소정 압력으로 증가시키는 단계; 및상기 챔버의 유입구를 밀폐시켜, 상기 증가된 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 반응 가스 도징 단계는, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 단계들 및 상기 적어도 두 번의 서브 가압 단계 사이의 서브 퍼징 단계를 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제6 항에 있어서,상기 서브 가압 도징 단계와 상기 서브 퍼징 단계 사이에,상기 서브 가압 도징 단계에 의하여 증가된 챔버 압력을 유지하는 단계를 더 포함하는, TMDC 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 도징 단계 전에, 상기 기판 상에 칼코겐 소스 가스를 도징하고, 퍼징하는 제1 칼코겐 증착 단계; 및상기 제2 메인 퍼징 단계 후에, 상기 칼코겐 소스 가스를 도징하고, 퍼징하는 제2 칼코겐 증착 단계를 더 포함하되,상기 제1 칼코겐 증착 단계, 상기 소스 가스 가압 도징 단계, 상기 제1 메인 퍼징 단계, 상기 반응 가스 도징 단계, 상기 제2 메인 퍼징 단계 및 상기 제2 칼코겐 증착 단계에 의하여 TMDC(Transition metal dichalcogenide)가 증착되는 TMDC 막 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 TMDC는 모노 레이어(monolayer)인 TMDC 막 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 단계에서, 상기 챔버의 증가된 압력은 0
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제1 항에 있어서,상기 소스 가스 가압 단계에서, 상기 기판에 흡착된 소스 가스의 표면 커버리지는 90% 이상인, TMDC 막 제조방법
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TMDC 막 증착을 위한 소스 가스, 불활성 가스, 및 반응 가스를 제공되는 유입구; 상기 유입구와 연통하고 기판이 수용되는 챔버;상기 챔버로 유입된 가스가 배출되는 유출구; 및 상기 소스 가스가 상기 챔버 내로 제공되는 경우, 상기 유출구를 닫아서 상기 기판이 수용된 챔버 내를 밀폐시킨 상태에서, 상기 챔버 내의 압력을 증가시켜, 상기 소스 가스를 상기 기판에 흡착시키는 제어부를 포함하는 TMDC 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 챔버 내의 압력이 소정 압력에 이른 경우, 상기 챔버의 유입구를 닫아서, 소정 시간 유지하는, TMDC 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 소스 가스를 상기 챔버 내로 제공하는 경우, 적어도 두 번의 서브 가압 도징 압력과 상기 적어도 두 번의 서브 가압 도징 압력 사이에 서브 퍼징 압력을 제공하는, TMDC 막 제조장치
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제12 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 소스 가스가 상기 챔버 내로 제공되는 경우, 상기 챔버 내의 압력을 0
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제12 항에 있어서,상기 유입구는, 칼코겐 전구체 소스 가스 및 전이금속 전구체 소스 가스를 제공하는 TMDC 막 제조장치
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