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나노와이어 어레이를 포함하는 태양 전지 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019004164
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 와이어 어레이를 포함하는 태양 전지 및 그의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 나노 와이어 어레이를 포함하는 태양 전지는 하부 전극 상에 형성되는 제1 극성의 반도체층; 상기 제1 극성의 반도체층 상에 형성되고, 상기 제1 극성과 다른 극성을 갖는 제2 극성의 반도체층; 및 상기 제2 극성의 반도체층 상에 형성되는 상부 전극을 포함하고, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 적어도 하나 이상의 나노와이어(nanowire)를 포함하는 나노와이어 어레이(nanowire array)이고, 상기 나노와이어 어레이는 직접적으로 맞닿는 상기 제1 극성의 반도체층 또는 상기 제2 극성의 반도체층과 동일한 극성을 갖는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/0352 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/0216 (2014.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/035227(2013.01) H01L 31/035227(2013.01) H01L 31/035227(2013.01) H01L 31/035227(2013.01) H01L 31/035227(2013.01) H01L 31/035227(2013.01)
출원번호/일자 1020170138191 (2017.10.24)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2006074-0000 (2019.07.25)
공개번호/일자 10-2019-0045510 (2019.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20190731) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.24)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선경 경기도 화성
2 나진영 서울특별시 강동구
3 문윤종 서울특별시 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-1048659-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0001103-51
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0497869-31
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0945738-54
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0945760-59
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0019344-30
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0183484-24
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0183485-70
10 등록결정서
Decision to grant
2019.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0528570-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부 전극 상에 형성되는 제1 극성의 반도체층;상기 제1 극성의 반도체층 상에 형성되고, 상기 제1 극성과 다른 극성을 갖는 제2 극성의 반도체층; 및상기 제2 극성의 반도체층 상에 형성되는 상부 전극을 포함하고,상기 하부 전극 또는 상부 전극은 적어도 하나 이상의 나노와이어(nanowire)를 포함하는 나노와이어 어레이(nanowire array)이고, 상기 나노와이어 어레이는 직접적으로 맞닿는 상기 제1 극성의 반도체층 또는 상기 제2 극성의 반도체층과 동일한 극성을 가지며,상기 나노와이어 어레이는 다층으로 형성되고,상기 다층의 나노와이어 어레이는 상기 제1 극성의 반도체층 또는 상기 제2 극성의 반도체층과 멀어질수록 각층의 나노와이어의 공간 밀도를 감소시켜, 상기 다층의 나노와이어 어레이에서 상부로 갈수록 굴절률이 점진적으로 감소하여 반사율이 최소가 되는 점진적 인덱스(Graded Index) 효과를 나타내는 것을 특징으로 하는 태양 전지
2 2
제1항에 있어서, 상기 나노와이어 어레이는 입사되는 광의 표면 반사를 감소시키거나 산란을 통해 반도체 층 내 광흡수 효율을 증가시키는 것을 특징으로 하는 태양 전지
3 3
제1항에 있어서, 상기 나노와이어 어레이는 일정한 주기를 갖도록 규칙적으로 배열되거나, 랜덤으로 배열되는 것을 특징으로 하는 태양 전지
4 4
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 나노와이어의 공간 채움 비율은 10% 이상인 것을 특징으로 하는 태양 전지
5 5
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 나노와이어의 직경은 10nm 내지 300nm인 것을 특징으로 하는 태양 전지
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 상부 전극의 상부에는 상기 상부 전극을 부분적으로 덮고 있는 서브 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지
8 8
제1항에 있어서, 상기 하부 전극의 하부에는 서브 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지
9 9
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 나노와이어는 IV족 반도체 반도체, III-V족 및 II-VI족 반도체 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양 전지
10 10
하부 전극 상에 제1 극성의 반도체층을 형성하는 단계;상기 제1 극성의 반도체층 상에 상기 제1 극성과 다른 극성을 갖는 제2 극성의 반도체층을 형성하는 단계; 및상기 제2 극성의 반도체층 상에 상부 전극을 전이하는 단계를 포함하고,상기 상부 전극은 적어도 하나 이상의 나노와이어를 포함하는 나노와이어 어레이이고, 상기 나노와이어 어레이는 직접적으로 맞닿는 상기 제2 극성의 반도체층과 동일한 극성을 가지며,상기 제2 극성의 반도체층 상에 상부 전극을 전이하는 단계는,성장 기판 상에 제2 극성의 나노와이어를 성장시키는 단계;상기 성장된 제2 극성의 나노와이어를 수득하는 단계; 및상기 수득된 제2 극성의 나노와이어를 상기 제2 극성의 반도체층 상에 전이시켜 제2 극성의 나노와이어 어레이를 형성하는 단계를 포함하고,상기 수득된 제2 극성의 나노와이어를 제2 극성의 반도체층 상에 전이시켜 제2 극성의 나노와이어 어레이를 형성하는 단계는, 적어도 1회 이상 반복 진행하여 상기 제2 극성의 나노와이어 어레이를 다층으로 형성하며,상기 다층의 제2 극성의 나노와이어 어레이는 상기 제2 극성의 반도체층과 멀어질수록 각층의 나노와이어의 공간 밀도를 감소시켜, 상기 다층의 제2 극성의 나노와이어 어레이에서 상부로 갈수록 굴절률이 점진적으로 감소하여 반사율이 최소가 되는 점진적 인덱스(Graded Index) 효과를 나타내는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제10항에 있어서, 상기 제2 극성의 나노와이어는 화학기상증착법(chemical vapor deposition; CVD), 기상-액상-고상법(vapor-liquid-solid method), 열 화학기상증착법(thermal chemical vapor deposition; T-CVD), 급속 열처리 화학기상증착법(rapid thermal chemical vapor deposition; RTCVD), 플라즈마 화학기상증착법(plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD), 유도전류플라즈마 화학기상증착법(inductively coupled enhanced chemical vapor deposition; ICPCVD), 유기금속 화학기상증착법(metal organic chemical vapor deposition; MOCVD), 저압화학증기증착(low pressur chemical vapor deposition; LPCVD), 무촉매 유기금속 화학기상증착법(catalyst-free MOCVD), 상압화학증기증착(atmospheric pressure chemical vapor deposition; APCVD), 스퍼터링(sputtering), 열 또는 전자빔 증발법(thermal or electron beamevaporation) 및 펄스레이저 증착법(pulse laser deposition) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 성장되는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
14 14
제10항에 있어서, 상기 제2 극성의 나노와이어는 스핀코팅(Spin-Coating), 물리적 기상 전송법(Physical Vapor Transport), 드랍캐스팅(Drop-Casting), 용매 어닐링(Solvent Annealing), shear force transfer 및 contact printing 중 적어도 어느 하나의 방법으로 전이되는 것을 특징으로 하는 태양 전지의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.