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(a) 수용성 지지체에 금속산화물 및/또는 합금의 나노입자를 증착하는 단계; (b) 탄소가 분산된 무수 극성 용매(anhydrous polar solvent)에 상기 수용성 지지체-증착 금속산화물 및/또는 합금 나노입자를 투입하고 교반하여 탄소에 담지된 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매를 포함하는 분산액을 수득하는 단계;(c) 상기 탄소에 담지된 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매를 포함하는 분산액을 세척하고 여과하여 탄소에 담지된 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 고체상을 수득하는 단계;(d) 상기 탄소에 담지된 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 고체상을 건조하는 단계;를 포함하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에 수용성 지지체를 진공 건조하는 단계;를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 수용성 지지체는 글루코스, 슈크로스 또는 과당을 포함하는 당류 분말; 염화나트륨, 염화칼륨 또는 탄산수소나트륨을 포함하는 수용성 금속염 분말; PVA 또는 PVP을 포함하는 수용성 고분자 분말; 또는 이들 2종 이상의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속산화물은 코발트, 백금, 금, 팔라듐, 은, 로듐, 이리듐, 루테늄, 루세늄, 니켈, 철, 구리, 망간, 바나듐, 크롬, 이트륨, 란탄, 세륨, 지르코늄, 타이타늄, 탄탈늄 및 오스뮴 중에서 선택되는 금속의 산화물이고;상기 합금은 코발트, 백금, 금, 팔라듐, 은, 로듐, 이리듐, 루테늄, 루세늄, 니켈, 철, 구리, 망간, 바나듐, 크롬, 이트륨, 란탄, 세륨, 지르코늄, 타이타늄, 탄탈늄 및 오스뮴 중 2종 이상의 합금인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 무수 극성 용매는 무수에탄올인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 증착은 스퍼터링을 통해서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 스퍼터링 가스는 아르곤이고;상기 스퍼터링 챔버 내 압력은 10-1 내지 102 mTorr이며;상기 스퍼터링 전력의 세기는 10 내지 500 W인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계의 세척과 여과는 물을 세척액과 여과액으로 사용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 및/또는 합금의 나노입자 크기는 1 내지 10 nm인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에 수용성 지지체를 진공 건조하는 단계;를 더욱 포함하고;상기 수용성 지지체는 글루코스이며;상기 금속산화물은 산화코발트이며;상기 무수 극성 용매는 무수에탄올상기 증착은 스퍼터링을 통해서 수행되며;상기 스퍼터링 가스는 아르곤이며;상기 스퍼터링 챔버 내 압력은 1 내지 50 mTorr이며;상기 스퍼터링 전력의 세기는 150 내지 200 W이며;상기 (c) 단계의 세척과 여과는 물을 세척액과 여과액으로 사용하여 수행되며;상기 산화코발트 입자 크기는 3 내지 5 nm인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에 수용성 지지체를 진공 건조하는 단계;를 더욱 포함하고;상기 수용성 지지체는 글루코스이며;상기 합금은 백금-니켈 합금이며;상기 무수 극성 용매는 무수에탄올상기 증착은 스퍼터링을 통해서 수행되며;상기 (c) 단계의 세척과 여과는 물을 세척액과 여과액으로 사용하여 수행되며;상기 스퍼터링 가스는 아르곤이고;상기 스퍼터링 챔버 내 압력은 1 내지 50 mTorr이며;상기 스퍼터링 전력의 세기는 10 내지 100 W이며;상기 백금-니켈 합금 입자 크기는 2 내지 8 nm인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매는 산소환원반응용 촉매인 것을 특징으로 하는 탄소-담지 금속산화물 및/또는 합금 나노입자 촉매의 제조방법
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