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마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법

  • 기술번호 : KST2019006269
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 입자를 이용하여 단순한 공정에 의해 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제작할 수 있도록 하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 전사패턴이 마련된 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제조하기 위한 제조방법에 있어서, 기판의 오목부에 전사용매와 마이크로 입자가 혼합된 전사용액을 도포하는 용액도포단계; 상기 전사용액에 포함된 상기 전사용매를 증발시켜 상기 오목부의 표면에 상기 마이크로 입자를 배열시키는 입자배열단계; 상기 오목부에 배열된 상기 마이크로 입자를 스탬프로 전위시키는 입자전위단계; 상기 마이크로 입자가 전위된 상기 스탬프로부터 상기 기판을 제거하는 기판제거단계; 및 상기 마이크로 렌즈 어레이 몰드 상에 상기 마이크로 입자가 전위된 상기 스탬프를 가압하여 상기 전사패턴을 형성하는 전사패턴형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법을 제공한다.
Int. CL B29C 33/38 (2018.01.01) B29C 33/42 (2018.01.01) B29D 11/00 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G02B 3/00 (2006.01.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자 1020170158349 (2017.11.24)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0060288 (2019.06.03) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 여은주 대전광역시 중구
2 윤재성 대전광역시 유성구
3 김관오 대전광역시 유성구
4 김정환 대전광역시 유성구
5 유영은 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-1173969-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0009599-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0078436-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0302589-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0302588-88
7 등록결정서
Decision to grant
2019.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0627331-97
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번호 청구항
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전사패턴이 마련된 마이크로 렌즈 어레이 몰드를 제조하기 위한 제조방법에 있어서,기판의 오목부에 전사용매와 마이크로 입자가 혼합된 전사용액을 도포하는 용액도포단계;상기 기판을 반전시켜 상기 오목부에 상기 전사용액이 매달린 상태의 액적을 형성하기 위한 액적형성단계;상기 전사용액에 포함된 상기 전사용매를 증발시켜 상기 오목부의 표면에 상기 마이크로 입자를 배열시키는 입자배열단계;상기 오목부의 상측에 스탬프를 형성하는 스탬프형성단계;상기 오목부에 배열된 상기 마이크로 입자를 상기 스탬프로 전위시키는 입자전위단계;상기 마이크로 입자가 전위된 상기 스탬프로부터 상기 기판을 제거하는 기판제거단계; 및상기 마이크로 렌즈 어레이 몰드 상에 상기 마이크로 입자가 전위된 상기 스탬프를 가압하여 상기 전사패턴을 형성하는 전사패턴형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
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제4항에 있어서,상기 입자배열단계는,상기 액적이 증발되는 동안 상기 액적의 하부표면에 상기 마이크로 입자가 배열되는 제1 입자배열단계; 및상기 액적이 완전히 증발되면 상기 마이크로 입자가 상기 오목부의 표면을 따라 일정하게 배열되는 제2 입자배열단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
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제4항에 있어서,상기 스탬프형성단계는,상기 마이크로 입자가 배열된 상기 오목부를 포함하는 기판 위에 상기 스탬프를 형성하기 위한 액체 상태의 스탬프 물질을 도포하여 스탬프층을 형성하는 스탬프층형성단계; 및액체 상태의 상기 스탬프층을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
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제4항에 있어서,상기 입자전위단계는,상기 오목부의 표면에 배열된 상기 마이크로 입자를 향해 상기 스탬프를 가압하여 상기 스탬프로 상기 마이크로 입자를 전위시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 몰드 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 능동소자용 기능성 나노복합구조체 융합가공기술 개발 (3/3)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 나노채널기반 고효율 물분자 이송 융합시스템 기술 (6/6)