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시편이 고정되는 스터드;상기 스터드와 대향하는 위치에 배치되며, 상기 시편을 검사하는 팁; 상기 스터드와 팁 사이에 배치되며, 상기 팁에 대해 팁 처리를 수행하기 위한 타겟을 구비하는 스테이지; 및상기 스테이지를 회전 이동시키는 구동부;를 포함하고,상기 스테이지는 상면과 하면을 관통하는 윈도우를 구비하고, 상기 타겟은 상기 윈도우를 덮는 구조로 상기 스테이지의 상면에 놓이며,상기 스테이지는 회전 이동을 통해 상기 팁 상부에 상기 타겟을 선택적으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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제1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 팁의 상부에서 상기 팁을 노출시키는 개구부를 구비하며, 상기 타겟은 상기 개구부와 인접한 상기 스테이지에 놓이는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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제1항에 있어서,상기 구동부는 상기 스테이지의 적어도 일면에 배치되는 압전 스택을 포함하고, 상기 스테이지를 상기 팁과 시편을 연결하는 중심축에 수직한 수평 방향으로 회전 이동시키는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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제1항 또는 제4항에 있어서,상기 구동부를 상기 스테이지로 가압하는 가압부를 더 포함하는 시편 검사기
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제5항에 있어서,상기 가압부는 상기 구동부와 접하는 접촉 플레이트, 및 상기 접촉 플레이트가 상기 구동부를 가압하는 탄성력을 제공하는 스프링 부재를 포함하는 시편 검사기
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제6항에 있어서,상기 스프링 부재의 탄성력을 조절하는 조절 부재를 더 포함하는 시편 검사기
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제6항에 있어서,상기 스프링 부재의 상기 접촉 플레이트와 접하는 일측에 배치되는 볼 부재를 더 포함하는 시편 검사기
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제1항에 있어서,상기 팁을 지지하며, 상기 팁을 상기 시편 방향으로 왕복 이동시키는 제1 몸체;중심에 상기 제1 몸체를 수용하는 수용 공간을 구비하고, 상기 스테이지를 지지하는 제2 몸체; 및상기 제2 몸체 상에 체결되며 상기 스터드를 고정시키는 제3 몸체;를 포함하는 몸체부를 더 포함하는 시편 검사기
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시편이 고정되는 스터드;상기 스터드와 대향하는 위치에 배치되어 상기 시편을 검사하는 팁을 지지하는 몸체부; 상기 팁에 대해 팁 처리를 수행하기 위한 타겟이 놓이는 한 쌍의 실장부와,상기 한 쌍의 실장부 사이에서 상기 한 쌍의 실장부를 연결하며 회전축을 갖는 연결부를 포함하며, 상기 스터드와 몸체부 사이에 배치되는 스테이지; 및상기 회전축을 기준으로 상기 스테이지를 회전 이동시키는 구동부;를 포함하고,상기 스테이지는 상기 타겟이 놓이는 부분에 상기 스테이지를 관통하는 윈도우를 구비하고, 상기 윈도우는 상기 타겟이 상기 팁의 상부에 위치한 상태에서 상기 타겟과 상기 팁 사이의 공간을 제공하며,상기 스테이지는 회전 이동을 통해 상기 팁 상부에 상기 타겟을 선택적으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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시편이 고정되는 스터드;상기 스터드와 대향하는 위치에 배치되어 상기 시편을 검사하는 팁을 지지하는 몸체부; 상기 팁에 대해 팁 처리를 수행하기 위한 타겟이 놓이는 한 쌍의 실장부와,상기 한 쌍의 실장부 사이에서 상기 한 쌍의 실장부를 연결하며 회전축을 갖는 연결부를 포함하며, 상기 스터드와 몸체부 사이에 배치되는 스테이지; 및상기 회전축을 기준으로 상기 스테이지를 회전 이동시키는 구동부;를 포함하고,상기 스테이지는 상기 한 쌍의 실장부 사이에서 상기 연결부의 일측에 마련되는 개구부 및 상기 연결부의 타측에 마련되는 절개부를 포함하고,상기 개구부는 상기 팁의 상부에서 상기 팁을 노출시키는 공간을 제공하며,상기 스테이지는 회전 이동을 통해 상기 팁 상부에 상기 타겟을 선택적으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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제11항에 있어서,상기 절개부는, 상기 한 쌍의 실장부 중 어느 하나가 상기 팁의 상부에 놓이는 위치와 상기 개구부가 상기 팁의 상부에 놓이는 위치 사이에서 상기 스테이지가 회전 이동하도록 회전 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 시편 검사기
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제10항에 있어서,상기 타겟은 금(Au)으로 이루어진 칩을 포함하는 시편 검사기
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