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캐리어 기판;상기 캐리어 기판의 표면 또는 내부면에 일정한 간격의 열로 형성되고, 인가되는 전류에 의해 자기력이 형성되는 도전성의 라인 패턴;상기 라인 패턴 상에 부착되는 도전성의 전자석 수용부;상기 전자석 수용부에 수용되고, 인가되는 전류 방향에 따라 자화 방향이 변하는 전자석;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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캐리어 기판;상기 캐리어 기판의 표면 또는 내부면에 배치되는 전자석;상기 전자석의 길이 방향으로 둘러싸고, 인가되는 전류에 의해 유도자계를 발생시키는 코일부; 및상기 전자석 및 코일부 사이의 전기적 단락을 방지하기 위한 절연물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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일정 간격의 열로 홈이 형성된 캐리어 기판;상기 캐리어 기판의 홈 또는 상기 홈의 내부면에 형성되고, 인가되는 전류에 의해 자기력이 형성되는 도전성의 라인 패턴;상기 라인 패턴 상에 부착되는 도전성의 전자석 수용부;상기 전자석 수용부에 수용되고, 인가되는 전류 방향에 따라 자화 방향이 변하는 전자석;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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일정 간격의 열로 홈이 형성된 캐리어 기판;상기 캐리어 기판의 홈 또는 상기 홈의 내부면에 배치되는 전자석;상기 전자석의 길이 방향으로 둘러싸고, 인가되는 전류에 의해 유도자계를 발생시키는 코일부; 및상기 전자석 및 코일부 사이의 전기적 단락을 방지하기 위한 절연물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전자석은 철, 연질 페라이트, 퍼멀로이(permalloy), 퍼멘듀어(permendur) 및 센더스트(sendust) 중 1종 이상을 포함하는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전자석은 복수개인 것을 특징으로 하는 전자석이 삽입된 캐리어 기판
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(a) 성장 기판 상에 형성된 마이크로 소자 상에 패턴화된 제1자화층을 형성하는 단계;(b) 상기 제1자화층 상에 전자석이 삽입된 캐리어 기판을 배치하는 단계;(c) 상기 제1자화층과 전자석에 의해, 상기 마이크로 소자가 캐리어 기판에 자석 결합된 상태에서 상기 마이크로 소자로부터 상기 성장 기판을 분리하는 단계;(d) 상기 성장 기판이 분리된 마이크로 소자 상에 패턴화된 제2자화층을 형성하는 단계;(e) 상기 마이크로 소자를 식각하여 상기 마이크로 소자를 개별 분리하는 단계;(f) 상기 개별 분리된 마이크로 소자 상에 자기 이송헤드가 위치하고, 상기 제2자화층과 자기 이송헤드에 의해 상기 마이크로 소자가 상기 자기 이송헤드에 자석 결합된 상태에서 상기 캐리어 기판으로부터 상기 마이크로 소자를 분리하는 단계; 및(g) 상기 자기 이송헤드에 자석 결합된 마이크로 소자를 수용 기판 상에 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 마이크로 소자는 상기 성장 기판 상에 형성되는 제1도전형 반도체층;상기 제1도전형 반도체층 상에 형성되고, 전자와 정공의 재결합에 따른 발광 동작을 수행하는 활성층;상기 활성층 상에 형성되는 제2도전형 반도체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 상기 제1자화층의 자화 방향과 상기 캐리어 기판의 자화 방향이 반대 방향이 되도록 전류를 인가하여 상기 마이크로 소자가 캐리어 기판에 자석 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (c) 단계에서, 리프트-오프 공정을 이용하여 상기 마이크로 소자로부터 상기 성장 기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (f) 단계에서, 상기 제2자화층의 자화 방향과 상기 자기 이송헤드의 자화 방향이 반대 방향이 되도록 전류를 인가하여, 상기 마이크로 소자가 자기 이송헤드에 자석 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (f) 단계에서, 상기 제1자화층의 자화 방향과 상기 캐리어 기판의 자화 방향이 동일 방향이 되도록 전류를 인가하여, 상기 마이크로 소자와 상기 캐리어 기판 사이에 척력을 유도하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (f) 단계에서, 상기 제1자화층과 상기 캐리어 기판에 전류를 인가하지 않는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서,상기 (g) 단계에서, 복수개의 마이크로 소자들을 수용 기판 상에 선택적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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