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저전력 테라헤르쯔 자기 나노 발진 소자

  • 기술번호 : KST2019018340
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 나노 발진 소자는, 기판 상에 배치된 강자성층; 상기 강자성층 상에 적층된 비자성 도전층; 상기 비자성 도전층 상에 적층된 반강자성층(또는 페리자성층); 및 상기 강자성층과 상기 비자성 도전층의 양측면에 각각 접촉하는 제1, 제2 전극들을 포함한다. 상기 반강자성층(또는 페리자성층)은 막면에 대하여 수직 혹은 수평한 방향으로 자화되는 물질로 이루어진 박막이며, 상기 강자성층은 상기 강자성층의 막면에서 수평한 방향으로 자화되고, 상기 제1, 제2 전극들을 통해 상기 강자성층과 상기 비자성 도전층에 주입된 면내 전류는 상기 반강자성층(또는 페리자성층)에 전달되는 박막의 두께 방향의 스핀을 포함하는 스핀 전류를 제공하여 상기 반강자성층(또는 페리자성층)의 부격자의 자화 세차운동을 발생시킨다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 43/02 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01)
출원번호/일자 1020180030023 (2018.03.15)
출원인 고려대학교 산학협력단, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0108686 (2019.09.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020190162795;
심사청구여부/일자 Y (2018.03.15)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경진 서울특별시 노원구
2 박병국 대전광역시 유성구
3 이동규 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0258257-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.05 수리 (Accepted) 9-1-2018-0045161-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0493715-61
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0713454-08
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0713446-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
9 등록결정서
Decision to grant
2019.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0753264-03
10 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2019.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2019-1269971-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 배치된 강자성층; 상기 강자성층 상에 적층된 비자성 도전층; 상기 비자성 도전층 상에 적층된 반강자성층; 및상기 강자성층과 상기 비자성 도전층의 배치평면의 양측면에 각각 접촉하는 제1, 제2 전극들을 포함하고,상기 반강자성층은 막면에 대하여 수직 혹은 수평한 방향으로 자화되는 물질로 이루어진 박막이며,상기 강자성층은 상기 강자성층의 막면에서 수평한 방향으로 자화되고,상기 제1, 제2 전극들을 통해 상기 강자성층과 상기 비자성 도전층에 주입된 면내 전류는 상기 반강자성층에 전달되는 박막의 두께 방향의 스핀을 포함하는 스핀 전류를 제공하여 상기 반강자성층의 부격자의 자화 세차운동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
2 2
제1 항에 있어서,상기 반강자성층 상에 배치된 자기터널 접합을 더 포함하고,상기 자기 터널 접합은 자유층/터널 절연층/고정층을 포함하고,상기 자기터널 접합의 상기 자유층은 상기 반강자성층과 교환상호작용하는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
3 3
제1 항에 있어서,상기 강자성층은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
4 4
제1 항에 있어서,상기 반강자성층은 Ir, Pt, Mn, Cr, FeMn, NiO, Fe2O3 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
5 5
제1 항에 있어서,상기 비자성 도전층은 Cu, Ta, Pt, W, Ti, Bi 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
6 6
제1 항에 있어서,상기 제1, 제2 전극들은 Cu, Ta, Pt, W, Ti, Bi, Ir 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
7 7
기판 상에 배치된 강자성층; 상기 강자성층 상에 적층된 비자성 도전층; 상기 비자성 도전층 상에 적층된 페리자성층; 및상기 강자성층과 상기 비자성 도전층의 배치평면의 양측면에 각각 접촉하는 제1, 제2 전극들을 포함하고,상기 페리자성층은 막면에 대하여 수직 혹은 수평한 방향으로 자화되는 물질로 이루어진 박막이며, 상기 강자성층은 상기 강자성층의 막면에서 수평한 방향으로 자화되고,상기 제1, 제2 전극들을 통해 상기 강자성층과 상기 비자성 도전층에 주입된 면내 전류는 상기 페리자성층에 전달되는 박막의 두께 방향의 스핀을 포함하는 스핀 전류를 제공하여 상기 페리자성층의 부격자의 자화 세차운동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
8 8
제7 항에 있어서,상기 페리자성층 상에 배치된 자기터널 접합을 더 포함하고,상기 자기 터널 접합은 자유층/터널 절연층/고정층을 포함하고,상기 자기터널 접합의 상기 자유층은 상기 페리자성층과 교환상호작용하는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
9 9
제7 항에 있어서,상기 페리자성층은 Co, Gd, Tb, Mn, Ir, Ge, Se, Cr, Y, Fe, 가넷, 희토류-전이 금속 (RE-TM) 합금 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
10 10
기판 상에 배치된 제1 강자성층; 상기 제1 강자성층에 배치된 제1 비자성 도전층; 상기 제1 비자성 도전층 상에 배치된 제2 강자성층; 상기 제2 강자성층 상에 배치된 제2 비자성 도전층; 상기 제2 비자성 도전층 상에 배치된 제3 강자성층; 및상기 제1 강자성층과 상기 제1 비자성 도전층의 배치평면의 양측면에 각각 접촉하는 제1, 제2 전극들을 포함하고,상기 제1 강자성층은 고정 자화 방향을 갖고, 막면에 대하여 평행한 방향으로 자화되는 물질로 이루어진 박막이며,상기 제2 강자성층과 상기 제3 강자성층은 상기 제2 비자성 도전층으로 인해 반강자성 교환 상호작용을 하는 박막이며, 상기 제1, 제2 전극들을 통해 상기 제1 강자성층과 상기 제1 비자성 도전층에 주입된 면내 전류는 상기 제2 강자성층과 상기 제3 강자성층에 전달되는 박막의 두께 방향의 스핀을 포함하는 스핀 전류를 제공하여 상기 제2 강자성층과 상기 제3 강자성층의 자화 세차운동을 각각 발생시키는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
11 11
제10 항에 있어서,상기 제3 강자성층 상에 배치된 자기터널 접합을 더 포함하고,상기 자기 터널 접합은 터널 절연층/고정층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
12 12
제10 항에 있어서,상기 제1 강자성층, 상기 제2 강자성층, 및 상기 제3 강자성층은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어지고,상기 제1 비자성 도전층은 Cu, Ta, Pt, W, Ti, Bi 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어지고,상기 제2 비자성 도전층은 Ru, Ta, Rh, Ir, Cr, Re, Mo, W, V 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 나노 발진 소자
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1 연구지원부 삼성전자 주식회사 삼성미래기술육성사업 초저전력 자성체 기반 테라헤르츠 소자 개발