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우수한 기계적 결착성을 가지는 금속산화물 나노섬유, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 가스 센서

  • 기술번호 : KST2019024000
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요약 본 발명은 기계적으로 결착성이 우수한 금속산화물 나노섬유, 그의 제조 방법 및 이를 포함하는 가스 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 점성이 높은 실란계 또는 유기물 기반의 바인더를 1차원 구조를 가지는 금속산화물 나노섬유 감지소재와 복합화 시킴으로써, 기판과 1차원 구조를 가지는 금속산화물 나노섬유와의 결착력을 향상시켜 기계적으로 안정적이고 신뢰적인 반도체식 가스 센서를 개발하는 것을 특징으로 한다. 특히, 실란계 또는 유기물 기반의 바인더는 고온 열처리 과정을 거치면서 경화되는 과정을 거치게 되고, 기판의 상단 또는 감지소재의 하단부분으로 선택적으로 결착되는 것을 특징으로 인하여 금속산화물과 기판의 결착력을 높이는 것을 특징으로 한다. 또한, 감지소재의 두께방향으로 하단부에 바인더가 위치함으로써 금속산화물 감지소재 상단부가 가스에 노출되는 면적이 극대화 되며, 금속산화물 나노섬유와 나노섬유 사이에 열린 기공을 형성하여 가스가 쉽게 침투할 수 있는 공간을 제공함으로써 고감도 가스감지 특성을 나타냄으로써, 고감도 날숨 감지 센서 및 우수한 유해환경 센서에 적용될 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 33/497 (2006.01.01) G01R 31/317 (2006.01.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020160065905 (2016.05.27)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1766334-0000 (2017.08.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170809) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.27)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김일두 대한민국 대전광역시 유성구
2 최선진 대한민국 대전광역시 유성구
3 조희진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0514232-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0041223-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0196183-68
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0414063-00
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0414064-45
7 등록결정서
Decision to grant
2017.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0533609-88
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)
2017.08.02 수리 (Accepted) 2-1-2017-0491559-51
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 상단에 형성된 금속산화물 나노섬유 네트워크가 포함된 감지층을 포함하고,상기 감지층은, 상기 기판의 상단과 상기 감지층의 결착력을 증가시키기 위해, 상기 감지층의 하단부에 실리카 (SiO2) 성분 내지는 비정질 탄소 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
2 2
제1항에 있어서,상기 실리카 성분 내지는 비정질 탄소 성분은 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크의 내부로 스며든 점성을 갖는 바인더에 대한 열처리를 통해 생성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
3 3
제2항에 있어서,상기 금속산화물 나노섬유 네트워크와 상기 바인더가 혼합된 혼합 용액을 저항변화 (전기전도도 변화)를 인식 가능한 전극이 패터닝 된 기판의 상단에 도포하고, 상기 바인더가 상기 실리카 성분 내지는 비정질 탄소 성분으로 변하여 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크와 상기 기판간의 결합력을 강화시키도록 상기 혼합 용액이 도포된 상기 기판을 열처리하는 것을 특징으로 하는, 금속산화물 나노섬유 감지소재
4 4
제2항에 있어서,상기 바인더는 실란 (silane) 기반의 trimethoxy(methyl)silane (TMMS), tetramethoxysilane (TMOS), tetraethoxysilane (TEOS), tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane 및 tetra-n-butoxy silane 중의 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
5 5
제2항에 있어서,상기 바인더는 유기물인 polyvinylpyrrolidone (PVP), polyvinylidene fluoride (PVDF), polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl acetate (PVAc), polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), poly(n-butyl acrylate) (PBA), polyacrylonitrile (PAN), styrene acrylonitrile (SAN), polyamide-imide (PAI), styrene butadiene rubber (SBR), carboxymethyl cellulose (CMC), alginate, polyacrylic acid (PAA), polyester-amides (PEA), polyethylene (PE), polyvinyl chloride (PVC), polyvinylidene chloride (PVDC), polyurethane (PU), polyester, epoxy, ethylene glycol (EG), polychloroprene, polyisoprene 및 polybutadiene 중의 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
6 6
제1항에 있어서,상기 감지층의 상단부에 위치한 금속산화물 나노섬유 네트워크는, 열린 기공구조를 형성하며 타겟 가스와 반응하여 저항변화를 일으키는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
7 7
[청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
8 8
제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노섬유 네트워크는 1차원 구조를 갖고, ZnO, SnO2, WO3, Fe2O3, Fe3O4, NiO, TiO2, CuO, In2O3, Zn2SnO4, Li4Ti5O12, Li4Ti5O12, Co3O4, PdO, LaCoO3, NiCo2O4, Ca2Mn3O8, ZrO2, Al2O3, B2O3, V2O5, Cr3O4, CeO2, Pr6O11, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb4O7, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Yb2O3, Lu2O3, Ag2V4O11, Ag2O, Li0
9 9
제1항에 있어서,상기 실리카 성분 내지는 비정질 탄소 성분은 열처리 과정을 통하여 바인더가 상기 기판의 상단으로 스며들게 되어 상기 감지층의 상단부가 노출되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
10 10
삭제
11 11
제3항에 있어서,상기 혼합 용액에 포함되는 바인더 용액의 부피비는 상기 혼합용액 대비 0
12 12
제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노섬유 네트워크는 1차원 구조의 나노섬유를 포함하고,상기 1차원 구조의 나노섬유는 단일종의 금속 촉매입자, 금속산화물 촉매입자 및 다종의 얼로이 (alloy) 촉매입자 중 적어도 하나를 포함하고,상기 단일종의 금속 촉매입자 또는 금속산화물 촉매입자는 Pt, Au, Ag, Fe, Ni, Ti, Sn, Si, Al, Cu, Mg, Sc, V, Cr, Mn, Co, Zn, Sr, W, Ru, Rh, Ir, Ta, Sb, In, Pb, Pd, CdSe, ZnSe, CdS, ZnS, Fe2O3, Fe3O4, NiO, TiO2, SnO2, CuO, V2O5, Co3O4, ZnO, WO3, RuO2, IrO2, In2O3 및 PbO 중에서 선택된 하나 내지는 둘 이상으로 구성되고,상기 다종의 얼로이 (alloy) 촉매입자는 PtAu, PtPd, RhPd, PdRu, PtCu, PtAg, PtCo, PtFe, Pt/IrO2, Pt/RuO2, Pt/Rh2O3, Pt/NiO, Pt/Co3O4, Pt/CuO, Pt/Ag2O, Pt/Fe2O3, Au/IrO2, Au/RuO2, Au/Rh2O3, Au/NiO, Au/Co3O4, Au/CuO, Au/Ag2O 중에서 선택된 하나 내지는 둘 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재
13 13
제1항 내지 제9항, 제11항 또는 제12항 중 어느 한 항의 금속산화물 나노섬유 감지소재를 이용하여 환경유해가스 및 질병진단을 위한 생체지표 가스를 검출 가능하도록 제조되는 것을 특징으로 하는 반도체식 가스 센서
14 14
(a) 전기방사 기술을 이용하여 금속산화물 나노섬유 네트워크를 제조하는 단계; (b) 상기 제조된 금속산화물 나노섬유 네트워크와 실란계 또는 유기물 바인더가 혼합된 용액을 제조하는 단계; (c) 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크와 상기 실란계 (silane) 또는 유기물 바인더가 혼합된 용액을 저항변화 (전기전도도 변화)를 인식 가능한 전극이 패터닝 된 기판의 상단에 도포하는 단계; 및(d) 상기 실란계 또는 유기물 바인더가 실리카 (SiO2) 성분 내지는 비정질 탄소 성분으로 변하여 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크와 상기 기판간의 결합력을 강화시키도록 상기 혼합된 용액이 도포된 상기 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
15 15
제14항에 있어서,상기 (b) 단계에서 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크가 포함하는 1차원 구조의 금속산화물 나노섬유가 쪼개지고 파쇄되어 금속산화물 나노로드 및 금속산화물 나노입자 중 적어도 하나가 상기 혼합된 용액에 포함되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
16 16
제15항에 있어서,상기 1차원 구조의 금속산화물 나노섬유는 1 내지 50 μm의 범위에 포함된 길이를 갖고,상기 나노로드는 10 nm 내지 1 μm의 범위에 포함된 길이를 가지며,상기 나노입자는 10 nm 이하의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
17 17
[청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
18 18
제14항에 있어서,상기 (d) 단계에서 상기 열처리를 통해, 실란계 바인더가 실리콘산화물을 잔여물로 형성하거나 또는 상기 유기물 바인더가 탄화된 탄소화합물을 잔여물로 형성하고,상기 잔여물이 상기 금속산화물 나노섬유 네트워크와 상기 기판 간의 결착력을 향상시키는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
19 19
제14항에 있어서,상기 실란계 바인더는 실란 (silane) 기반의 trimethoxy(methyl)silane (TMMS), tetramethoxysilane (TMOS), tetraethoxysilane (TEOS), tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane 및 tetra-n-butoxy silane 중 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
20 20
제14항에 있어서,상기 유기물 바인더는 유기물인 polyvinylpyrrolidone (PVP), polyvinylidene fluoride (PVDF), polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl acetate (PVAc), polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), poly(n-butyl acrylate) (PBA), polyacrylonitrile (PAN), styrene acrylonitrile (SAN), polyamide-imide (PAI), styrene butadiene rubber (SBR), carboxymethyl cellulose (CMC), alginate, polyacrylic acid (PAA), polyester-amides (PEA), polyethylene (PE), polyvinyl chloride (PVC), polyvinylidene chloride (PVDC), polyurethane (PU), polyester, epoxy, ethylene glycol (EG), polychloroprene, polyisoprene 및 polybutadiene 중 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노섬유 감지소재의 제조방법
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1 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 구취 자가 진단을 위한 나노섬유 MEMS기반의 초저전력 포터블 가스센서 개발