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마이크로 소자 분리 장치 및 이를 이용하는 마이크로 소자의 이송 방법

  • 기술번호 : KST2019025133
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로 소자의 분리 장치 및 이를 이용한 마이크로 소자의 이송 방법이 개시된다. 성장용 기판 상에 마이크로 사이즈로 개별화된 발광체는 선택적으로 분리되고, 수용 기판에 실장된다. 마이크로 소자의 선택적 분리는 분리 장치에 구비된 선택적 광 반사부를 통해 수행된다. 선택적 광 반사부는 개별화된 발광체에 대한 정보에 상응하여 성장용 기판으로부터 분리될 수 있는 발광체를 선택한다.
Int. CL H01L 21/78 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01)
CPC H01L 21/78(2013.01) H01L 21/78(2013.01) H01L 21/78(2013.01) H01L 21/78(2013.01) H01L 21/78(2013.01) H01L 21/78(2013.01)
출원번호/일자 1020170011895 (2017.01.25)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1874230-0000 (2018.06.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180704) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성주 대한민국 광주광역시 북구
2 임상엽 대한민국 광주광역시 북구
3 임용철 대한민국 광주광역시 북구
4 박윤정 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0088874-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0044184-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0213412-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0514704-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0514703-70
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0426515-42
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번호 청구항
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성장용 기판 상에 제1 반도체층, 활성층 및 제2 반도체층을 가지는 발광체를 형성하는 단계;상기 제2 반도체층 상에 접합 전극층을 형성하는 단계;상기 발광체를 선택적으로 식각하여 상기 성장용 기판 상에 상기 발광체들을 개별화하는 단계;상기 성장용 기판 상에 개별화된 발광체들을 본딩층이 구비되고, 능동 소자, 금속 배선 또는 수동 소자가 배치되어 디스플레이 기판으로 작용하는 수용 기판 상에 배치시키는 단계;상기 개별화된 발광체들에 선택적으로 자외선을 조사하여 상기 수용 기판 상에 선택된 발광체를 실장하는 단계; 및상기 수용 기판 상에 실장된 발광체의 노출된 제1 반도체층 상에 상부 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서, 상기 수용 기판 상에는 돌출부가 구비되고, 상기 돌출부에 의해 정의되는 영역 상에 상기 본딩층이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제7항에 있어서, 상기 선택된 발광체를 실장하는 단계는,상기 선택된 발광체에 자외선을 조사하여 상기 성장용 기판으로부터 상기 선택된 발광체를 분리하는 단계; 및상기 선택된 발광체와 상기 수용 기판을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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제10항에 있어서, 상기 선택된 발광체와 상기 수용 기판을 접합하는 단계는 상기 본딩층에 열을 가하여 상기 본딩층을 부분 용융하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 광주과학기술원 고등광기술연구소 리서치펠로우 고감도 바이오센싱을 위한 국소 표면 플라즈몬 공명 기반의 휴대용 분광 이미징 시스템