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가스센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019033819
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 가스센서는 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 전이금속 디칼코게나이드를 포함하는 가스 감지층; 상기 가스 감지층 상에 상기 가스 감지층과 전기적으로 접촉되도록 형성되는 전극; 및 상기 가스 감지층 상에 형성되는 화학흡착 배리어층을 포함하고, 상기 화학흡착 배리어층은 상기 가스 감지층 및 상기 전극의 적어도 일부를 커버하며, 헥사고날 보론 나이트라이드(hexagonal boron nitride; h-BN)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 27/407 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/4075(2013.01) G01N 27/4075(2013.01) G01N 27/4075(2013.01) G01N 27/4075(2013.01) G01N 27/4075(2013.01)
출원번호/일자 1020160057510 (2016.05.11)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1771355-0000 (2017.08.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170824) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.11)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 서울특별시 영등포구
2 고경용 대한민국 서울특별시 마포구
3 박규남 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0448660-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0024097-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0122747-41
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0284667-05
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0284694-27
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0450941-52
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0712779-83
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.07.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0712783-66
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2017.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0539000-23
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번호 청구항
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기판 상에 전이금속 디칼코게나이드를 증착하여 가스 감지층을 형성하는 단계; 상기 가스 감지층 상에 상기 가스 감지층과 전기적으로 접촉되도록 전극을 형성하는 단계; 및 상기 전극이 형성된 가스 감지층 상에 헥사고날 보론 나이트라이드를 전사하여 화학흡착 배리어층을 형성하는 단계; 및상기 화학흡착 배리어층을 400℃ 내지 500℃의 온도로 어닐링하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 전이금속 디칼코게나이드는 원자층 증착법(ALD)을 이용하여 증착하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 백금 대체용 수소 발생 촉매를 위한 대면적/고전도성 전이금속 디칼코게나이드 합성 연구
2 산업통상자원부 한국표준과학연구원 산업기술혁신사업 차세대 전자소자용 대면적 (8˚ 이상)칼코지나이드계 2차원 소재성장 및 평가기술
3 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 글로벌프론티어사업 상시 환경 모니터링을 위한 원자층 PN 광 다이오드 기반 무전원 분자 검출 시스템 개발