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방사선 손상에 대해 자가복구가 가능한 전계효과 트랜지스터 및 그의 손상복구 시스템

  • 기술번호 : KST2019024015
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템은 기판, 기판 상에 형성된 소스 및 드레인, 소스 및 드레인 사이에 형성된 채널, 채널에 형성된 절연막 및 절연막 상에 형성된 2개의 게이트 전극을 포함하는 전계효과 트랜지스터 및 2개의 게이트 전극에 소정 범위의 전압을 인가해 줄열(joule heat)을 발생시킴으로써 절연막의 손상을 복구시키는 컨트롤러를 포함한다. 이에 의하여, 방사선에 의한 손상을 스스로 복구할 수 있기 때문에, 방사선 환경에서 동작하는 트랜지스터의 수명을 획기적으로 연장할 뿐만 아니라, 오작동을 감소시키고, 동작시간을 연장시킬 수 있게 된다. 이는 위성산업, 우주산업, 국방산업 등에 소요되는 경제비용의 감축으로 이어질 수 있다.
Int. CL H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7855(2013.01) H01L 29/7855(2013.01) H01L 29/7855(2013.01) H01L 29/7855(2013.01) H01L 29/7855(2013.01) H01L 29/7855(2013.01)
출원번호/일자 1020160074876 (2016.06.16)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1801548-0000 (2017.11.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.16)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최양규 대한민국 대전광역시 유성구
2 박준영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0577962-18
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0397067-84
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.08.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0759371-04
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0759372-49
5 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0700021-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 소스 및 드레인;상기 소스 및 드레인 사이에 형성된 채널; 상기 채널에 형성된 절연막; 및상기 절연막 상에 형성된 2개의 게이트 전극을 포함하는 전계효과 트랜지스터; 및상기 2개의 게이트 전극에 소정 범위의 전압을 인가해 줄열(joule heat)을 발생시킴으로써 상기 절연막의 손상을 복구시키는 컨트롤러;를 포함하되,상기 절연막의 손상을 복구하기 위해 발생되는 줄열의 온도 범위는 600℃ 내지 800℃인, 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 컨트롤러는 기설정된 주기마다 상기 소정 범위의 전압을 상기 2개의 게이트 전극에 인가해 반복적으로 상기 절연막의 손상을 복구시키는 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
3 3
제1항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 절연막의 손상 정도에 대응하는 시간 동안 상기 소정 범위의 전압을 상기 2개의 게이트 전극에 인가하는 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
4 4
제1항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 절연막의 손상 정도에 대응하는 범위의 전압을 상기 2개의 게이트 전극에 인가하는 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
5 5
제1항에 있어서,상기 전계효과 트랜지스터의 손상 여부 또는 손상 정도를 모니터링하기 위한 모니터링 장치;를 더 포함하는 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
6 6
제1항에 있어서,상기 전계효과 트랜지스터는 금속산화물 반도체 전계효과 트랜지스터인 전계효과 트랜지스터의 손상복구 시스템
7 7
기판;상기 기판 상에 형성된 소스 및 드레인;상기 소스 및 드레인 사이에 형성된 채널;상기 채널에 형성된 절연막; 및 상기 절연막 상에 형성된 2개의 게이트 전극;을 포함하며, 상기 2개의 게이트 전극을 통해 인가된 전압은 줄열(joule heat)을 발생시키고, 상기 발생된 줄열에 의해 상기 절연막의 손상을 복구시키고, 상기 절연막의 손상을 복구시키기 위해 발생된 줄열의 온도 범위는 600℃ 내지 800℃인, 전계효과 트랜지스터
8 8
삭제
9 9
제7항에 있어서,상기 절연막의 손상은 방사선에 의해 야기된 손상인 전계효과 트랜지스터
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1 WO2017217620 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2017217620 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 (KAIST) 글로벌프론티어 스마트IT 융합시스템 연구단
2 미래창조과학부 울산과학기술원 (UNIST) 미래유망 융합기술 파이오니어사업 나노-상보형금속산화반도체 기반 테라헤르츠 플라즈마파 트랜지스터 기술 연구