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Ni: 34~46중량%와 잔부 Fe 및 불가피 불순물을 포함하는 증착용 마스크로 사용되는 전기주조에 의해 제조된 Fe-Ni 합금 금속박으로서, 상기 금속박은 적어도 일면에 패턴 형성 영역과 무지 영역을 포함하되,상기 패턴 형성 영역은 상기 무지 영역에 비하여 두께가 얇고, 패턴형성 영역의 표면조도는 무지 영역의 표면조도 값의 30% 이상 80% 이하의 값을 갖고,상기 무지 영역은 상기 금속박의 가장자리에 위치하여 패턴 형성 영역을 포위하는 것인 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박
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제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 영역은 무지 영역 두께의 25 내지 88%에 해당하는 두께를 갖는 것인 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박
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제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 영역은 두께가 5 내지 20㎛의 범위를 갖는 것인 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박
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Ni: 34~46중량%와 잔부 Fe 및 불가피 불순물을 포함하는 전기주조에 의해 제조된 Fe-Ni 합금 금속박의 일면을 가장자리를 제외한 패턴 형성 영역에 대하여 화학연마를 실시하여 상기 패턴 형성 영역의 두께를 얇게 하되, 패턴 형성 영역의 표면조도는 무지영역의 표면조도 값의 30% 이상 80% 이하의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 금속박의 반대면의 전 영역에 대하여 화학 연마를 실시하여 두께를 얇게 형성하는 단계를 더 포함하는 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박의 제조방법
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Ni: 34~46 중량%와 잔부 Fe 및 불가피 불순물을 포함하는 Fe-Ni 합금 금속박은 전기주조에 의해 제조된 Fe-Ni 합금 금속박에 소정 패턴의 관통홀이 형성된 증착용 마스크로서, 상기 증착용 마스크는 일면에 상기 소정 패턴의 관통홀이 형성된 패턴 형성 영역과 상기 패턴 형성 영역에 비하여 두께가 두꺼우며, 관통홀을 포함하지 않는 무지 영역으로 되고, 패턴 형성 영역의 표면조도는 무지 영역의 표면조도 값의 30% 이상 80% 이하의 값을 갖는 것인 증착용 마스크
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제8항에 있어서, 상기 패턴 형성 영역은 무지 영역 두께의 25 내지 88%에 해당하는 두께를 갖는 것인 증착용 마스크
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제8항에 있어서, 상기 패턴 형성 영역은 두께가 5 내지 15㎛의 범위를 갖는 것인 증착용 마스크
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제8항에 있어서 상기 관통 홀은 패턴 형성영역과 무지영역을 포함하는 일면에서 반대면을 향해 간격이 넓어지도록 내부 벽면이 기울어져 있는 것인 증착용 마스크
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제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 Fe-Ni 합금 금속박은 전기주조에 의해 제조된 것이며, 상기 패턴 형성 영역의 조도가 상기 무지 영역의 조도보다 낮은 것인 증착용 마스크
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제12항에 있어서, 상기 관통 홀의 내부 벽면은 상기 증착용 마스크 표면에 대하여 평행한 방향으로 다수의 줄무늬를 포함하는 것인 증착용 마스크
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제12항에 있어서, 상기 증착용 마스크는 패턴 형성 영역과 무지영역을 포함하는 일면의 반대면은 표면 조도가 상기 무지영역의 표면조도보다 낮은 값을 갖는 것인 증착용 마스크
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제6항 또는 제7항의 방법으로 제조된 마스크용 Fe-Ni 합금 금속박의 상기 패턴 형성 영역 내에 포토레지스트 패턴을 형성한 후에 에칭하여 관통홀을 갖는 증착용 마스크를 제조하는 방법
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제16항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 금속박의 반대면에 상기 포토레지스트 패턴에 대응하는 포토레지스트 패턴을 형성하고, 에칭하여 형성된 것인 증착용 마스크를 제조하는 방법
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유기 EL 디스플레이 기판 상에 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항의 증착용 마스크를 적층하고, 증착 대상 유기물을 진공 증착하여 마스크 패턴을 전사하는 단계를 포함하는 유기 EL 소자 제조 방법
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