맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

대면적 박막 제조 방법 및 장치(Manufacturing Method and Apparatus for Lagre-Area Thin Film)

  • 기술번호 : KST2016011780
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용액공정을 기반으로 한 박막 제조로부터 박막의 균일도를 높이기 위한 대면적 박막 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 매우 고 정도(precision)의 대면적 균일 코팅이 롤 투 롤 공정 기반에서 쉽게 이루어지고, 이에 따라서 용액 공정을 기반으로 한 유기전자소자를 증기증착법으로 제작한 유기전자소자에 준하는 고품질의 소자를 제작할 수 있다.또한, 용액공정으로 제작하는 유기전자소자 제작 공정 자체의 기반을 바꿀 만 한 파괴적인 방법이 될 것이며, 용액공정 유기전자소자의 상용화를 실현 시키는데 매우 핵심적인 기술이 될 것이다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020140175870 (2014.12.09)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0069799 (2016.06.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.09)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 석재영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 영진빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-1197009-84
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0807492-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0064215-43
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0064195-17
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2016.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0350099-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0691154-96
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.07.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0691163-07
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0801628-75
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-1204241-05
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.12.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1204260-62
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0015438-61
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용액공정에 의하여 기판의 일면에 박막을 형성하는 단계를 일공정으로 포함하는 대면적 박막 제조 방법에 있어서, 용액 코팅 이후, 코팅 표면을 균일한 공압(Air pressure)으로 처리하는 것으로 이루어지는 대면적 박막 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 용액 코팅은 블레이드 코팅, 슬롯-다이 코팅, 메이어-바 코팅 법으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 용액 코팅은 100μm 정도로 두껍게 코팅하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 공압 처리는 에어 나이프(Air knife)를 이용하며, 이 에어 나이프의 공압에 의하여 박막의 두께가 정해지는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 일공정에 의하여 형성된 박막은 유기전자 소자의 다층 박막 중 어느 한 박막인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 유기전자 소자는 OLED, 유기태양전지, 유기트랜지스터, 센서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 방법
7 7
기판의 일면에 용액공정을 이용하여 박막을 형성하는 제 1 코팅부와;상기 제 1 코팅부로부터 코팅된 코팅 표면을 균일한 공압(Air pressure)으로 처리하는 제 2 코팅부,로 구성되는 대면적 박막 제조 장치
8 8
청구항 7에 있어서,상기 제 1 코팅부와 상기 기판과의 두께는 50∼200μm 정도까지 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 장치
9 9
청구항 7에 있어서상기 제 2 코팅부와 상기 기판간의 거리는 100μm∼15mm 정도까지 조절이 가능하며, 코팅속도 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 장치
10 10
청구항 7에 있어서상기 제 2 코팅부의 공압은 0
11 11
청구항 7에 있어서,상기 제 2 코팅부의 공압이 분사되는 노즐의 형태는 싱글 슬릿 및 더블 슬릿 혹은 트리플 슬릿 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 장치
12 12
청구항 7에 있어서,상기 제 2 코팅부의 기울임은 -45˚〈θ〈45˚로 자유롭게 조절 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 박막 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국연구재단 이공분야기초연구사업-중견연구자지원사업-도약(도전) 나노재료의 광열화학반응을 이용한 차세대 박막소자 제조 시스템 개발 및 응용(3차년)