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제1 기판;상기 제1 기판 상에 배치되는 제1 전극;상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격되는 제2 전극;상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 카본 나노튜브 시트; 및상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 카본 나노튜브 시트 상에 배치되는 제2 기판을 포함하고,상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 기판 상에 압력이 인가되면, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 신호를 측정하여 상기 압력이 센싱되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 기판은 투명하고 유연한 재질인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제3항에 있어서, 상기 제1 기판은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS)을 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제3항에 있어서, 상기 제2 기판은 투명하고 유연한 재질인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제5항에 있어서, 상기 제2 기판은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS)을 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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7
제1항에 있어서, 상기 카본 나노튜브 시트는 서로 연결되거나 서로 교차하는 카본 나노튜브 스트링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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8
제1항에 있어서, 상기 압력 센서는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 이용하여 레지스턴스 및 캐패시턴스를 센싱하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제8항에 있어서, 상기 압력 센서의 등가 회로는 서로 병렬로 연결되는 하나의 저항 및 하나의 캐패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제9항에 있어서, 상기 레지스턴스가 R이고 상기 캐패시턴스가 C이며, 상기 압력 센서의 임피던스가 Z일 때, 인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제10항에 있어서, 상기 압력 센서에 가해지는 압력이 증가하면 상기 레지스턴스는 증가하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제11항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 경로의 비저항이 ρ, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 경로의 길이가 l, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 경로의 면적이 s일 때, 이며,상기 압력 센서에 가해지는 상기 압력이 증가하면 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 경로의 길이(l)가 증가하여 상기 레지스턴스가 증가하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제11항에 있어서, 상기 압력 센서에 가해지는 상기 압력이 증가하면 상기 캐패시턴스는 감소하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제13항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 상기 카본 나노튜브 시트로 정의되는 유전체의 유전율이 ε, 상기 유전체의 면적이 A, 상기 카본 나노튜브 스트링들 사이의 평균 거리가 d일 때, 이며, 상기 압력 센서에 가해지는 상기 압력이 증가하면 상기 카본 나노튜브 스트링들 사이의 평균 거리(d)가 증가하여 상기 캐패시턴스가 감소하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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카본 나노튜브 포레스트로부터 일방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 제1 기판 상에 형성하는 단계;상기 제1 기판 상에 제1 전극 및 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격되는 제2 전극을 형성하는 단계; 및상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 카본 나노튜브 스트링들 상에 제2 기판을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 카본 나노튜브 스트링들은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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