[KST2019022892][성균관대학교] |
동적 열적 마진을 이용하는 반도체 프로세서 장치를 위한 열 관리 방법 및 장치 |
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[KST2014048758][성균관대학교] |
멀티플 지그를 이용한 Molten Metal Suction Method (MMSM)법의 개발과 이를 이용한 칩 스택 패키지 |
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[KST2023008450][성균관대학교] |
소모성 금속 부재를 포함하는 식각용 플라즈마 처리 장치 |
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[KST2017012944][성균관대학교] |
가열 장치 및 이를 갖는 기판 처리 시스템(HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME) |
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[KST2020016352][성균관대학교] |
금속 칼코게나이드 박막 및 그 제조방법과 제조장치 |
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[KST2023009633][성균관대학교] |
플라즈마 식각 방법 및 플라즈마 식각 장치 |
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[KST2017016838][성균관대학교] |
원자층 식각방법(ATOMIC LAYER ETHING METHOD) |
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[KST2021010951][성균관대학교] |
CMP 패드 및 이를 구비하는 화학적 기계적 연마 장치 |
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[KST2017014594][성균관대학교] |
2차원 박막 표면 처리 방법 및 이를 포함하는 전자 소자의 제조 방법(SURFACE TREATMENT METHOD OF 2-DIMENSIONAL THIN LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING AN ELECTRIC ELEMENT) |
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[KST2017007562][성균관대학교] |
표면에너지 차이를 이용한 직접 패터닝 방법(DIRECT PATTERNING METHOD USING DIFFERNCY of SURFACE ENERGY) |
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[KST2020014017][성균관대학교] |
건식 식각 방법 및 이에 사용되는 식각 전구체 |
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[KST2022016911][성균관대학교] |
액상 전구체를 이용한 원자층 식각 방법 |
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[KST2021013122][성균관대학교] |
입자 도포 장치 및 표준 웨이퍼 제조 방법 |
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[KST2020003551][성균관대학교] |
원자층 식각장치 |
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[KST2020010241][성균관대학교] |
QDLED(Quantum Dot Light Emitting Diode)용 정공 수송층 및 이의 제조 방법 |
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[KST2021013371][성균관대학교] |
반도체 발광소자 및 이의 제조 방법 |
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[KST2018010171][성균관대학교] |
반도체 공정 내 오염물 잔류가스 측정시스템 및 이를 이용한 오염물 잔류가스 측정방법 |
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[KST2017011897][성균관대학교] |
웨이퍼 보트 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치(Wafer boat and semiconductor fabricating apparatus including the same) |
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[KST2015143695][성균관대학교] |
염화실리케이트계 형광체의 질화반응을 통해 형성된 형광체 분말 및 그 제조 방법 |
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[KST2019020174][성균관대학교] |
디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치 |
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[KST2018001907][성균관대학교] |
수소 및 아르곤 기체를 이용한 2차원 물질의 도메인 바운더리의 선택적 에칭 및 분석 방법(Selective etching and analyzing of domain boundaries in 2D materials by hydrogen and argon gases) |
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[KST2021001645][성균관대학교] |
마이크로 LED 전사방법 |
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[KST2020016664][성균관대학교] |
마이크로 엘이디 디스플레이 및 이의 제작 방법 |
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[KST2015144148][성균관대학교] |
염소-함유 실리케이트계 형광체의 알칼리 처리를 이용하여 제조된 형광체 분말 및 그의 제조 방법 |
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[KST2023008458][성균관대학교] |
웨이퍼 본딩 방법 및 웨이퍼 본딩 시스템 |
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[KST2023008195][성균관대학교] |
반도체 공정 진단 센서 모듈 및 이를 이용한 반도체 공정 진단 센서 세척 방법 |
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[KST2014027869][성균관대학교] |
반도체 기판의 비아 형성방법 |
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[KST2022016909][성균관대학교] |
식각 처리 장치 및 식각 처리 방법 |
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[KST2019002879][성균관대학교] |
롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어 및 이를 이용한디스플레이 백플레인 제조 설비 |
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[KST2018003870][성균관대학교] |
플라즈마 식각장치의 포커스 링(FOCUS RING OF PLASMA ETCHER) |
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