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전사용 스탬프 제조방법

  • 기술번호 : KST2021005285
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경화 과정에서 발생되는 수축 현상을 최소화하여 패턴의 위치 정밀도를 높일 수 있는 전사용 스탬프 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 전사용 스탬프를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 패턴을 가지는 기판몰드를 형성하는 기판몰드 형성단계; 미리 설정된 경화조건에서 제1 수축률을 가지는 제1 소재를 상기 기판몰드 상에 배치하는 제1 소재 배치단계; 상기 경화조건에서 상기 제1 수축률보다 작은 제2 수축률을 가지는 제2 소재를 상기 제1 소재 상에 배치하는 제2 소재 배치단계; 상기 제2 소재를 상기 기판몰드에 밀착시켜 상기 기판몰드의 패턴 형상과 상응하는 형상으로 상기 제1 소재를 형성하는 패턴 형성단계; 및 상기 경화조건에 따라 상기 제1 소재 및 상기 제2 소재를 경화시키는 소재 경화단계;를 포함하는 특징을 개시한다.
Int. CL B29C 43/02 (2006.01.01) B29C 43/20 (2006.01.01) B29C 43/36 (2006.01.01) B29C 33/38 (2018.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) C08L 67/02 (2006.01.01) B29K 67/00 (2006.01.01)
CPC B29C 43/021(2013.01) B29C 43/206(2013.01) B29C 43/003(2013.01) B29C 43/36(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) C08L 83/04(2013.01) C08L 67/02(2013.01) B29K 2067/003(2013.01)
출원번호/일자 1020190135836 (2019.10.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0052657 (2021.05.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장봉균 대전광역시 유성구
2 김재현 대전광역시 유성구
3 김광섭 대전광역시 유성구
4 김봉성 경기도 안산시 상록구
5 이승모 충청남도 논
6 최병익 대전 서구
7 전성재 경기도 김포시 김
8 김경식 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-1107953-00
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0139366-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0652810-55
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-1236709-82
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1236710-28
7 등록결정서
Decision to grant		 2021.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0165588-57
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번호 청구항
1 1
패턴을 가지는 기판몰드를 형성하는 기판몰드 형성단계;미리 설정된 경화조건에서 제1 수축률을 가지는 제1 소재를 상기 기판몰드 상에 배치하는 제1 소재 배치단계;상기 경화조건에서 상기 제1 수축률보다 작은 제2 수축률을 가지는 제2 소재를 상기 제1 소재 상에 배치하는 제2 소재 배치단계;상기 제2 소재를 상기 기판몰드에 밀착시켜 상기 기판몰드의 패턴 형상과 상응하는 형상으로 상기 제1 소재를 형성하는 패턴 형성단계; 및상기 경화조건에 따라 상기 제1 소재 및 상기 제2 소재를 경화시키는 소재 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 기판몰드 형성단계 이후에 수행되며,상기 기판몰드 상에 배치되고, 상기 기판몰드에서 상기 제1 소재 및 상기 제2 소재를 격리시키기 위한 이형성 코팅층을 형성하는 코팅층 형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 기판몰드 형성단계 이후에 수행되며,상기 제1 소재와 접촉되는 상기 기판몰드의 적어도 일부분에 배치되고, 경화과정에서 특정 파장대의 레이저 빔을 흡수하여 상기 제1 소재를 가열하기 위한 금속박막을 형성하는 금속박막 형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
4 4
제3항에 있어서,상기 레이저 빔의 파장은 적외선인 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 소재는 PDMS를 포함하고, 상기 제2 소재는 PET를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제2 소재는 상기 기판몰드와 동일한 열팽창계수를 가지는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프 제조방법
7 7
제1항에 기재된 전사용 스탬프 제조방법으로 제조되는 전사용 스탬프로서,상기 제2 소재로 이루어지는 몸체부; 및상기 제1 소재로 이루어지고, 상기 몸체부의 일면에서 돌출 형성되어 패턴을 형성하는 돌출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사용 스탬프
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) Micro-LED 기반 메타 디스플레이 기술 개발 (1/5)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 차세대 유연 투명 디스플레이 나노기반 제조 핵심 기술 개발 (2/3)