요약 | 본 발명에 따른 능동 매트릭스 구조는 기판, 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향으로 연장되고, 제1 부분 및 제2 부분을 가지는 제1 배선, 상기 기판의 상면에 평행하되, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되고, 상기 제2 부분을 사이에 두고 이격하는 한 쌍의 제2 배선들, 상기 제1 배선 및 상기 제2 배선들 상의 절연층, 및 상기 절연층 상의 반도체 패턴을 포함한다. 상기 제1 부분은 상기 제2 방향으로의 제1 폭을 가지고, 상기 제2 부분은 상기 제1 폭보다 작은 제2폭을 가진다. 상기 절연층은, 상기 제2 부분과 인접한 상기 제2 배선들의 양 끝단을 노출시키는 한 쌍의 홀들을 포함한다. 상기 반도체 패턴은 상기 한 쌍의 홀들의 적어도 일부를 채우고, 상기 한 쌍의 제2 배선들을 연결한다. |
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Int. CL | H01L 27/12 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020200035627 (2020.03.24) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2021-0070157 (2021.06.14) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020190158741 | 2019.12.03
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법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 국내출원/신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |