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전극이 형성된 기판과, 상기 기판의 상면과 일정 간격 이격되어 위치하는 센서부와, 상기 기판과 센서부가 상하 이격됨으로 인해 형성되는 나노갭을 포함하며,상기 센서부는 수소와 반응하여 팽창하는 소재로 이루어져, 수소 존재 시 상기 센서부는 팽창하여 하측의 전극과 접촉하게 되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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제1항에 있어서,상기 수소 센서는 상기 기판의 상면에 결합하여 상기 센서부가 상기 기판에서 일정 간격 이격되어 위치하도록 상기 센서부를 지지하며 절연성 소재로 이루어지는 지지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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제2항에 있어서,상기 지지부는 상기 기판의 상면에 결합하는 제1지지부와, 상기 제1지지부와 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 상기 기판의 상면에 결합하는 제2지지부를 포함하며,상기 센서부는 상기 지지부의 상면에 안착되는 안착부와, 상기 안착부의 하면에서 하측 방향으로 돌출되어 상기 제1지지부와 제2지지부 사이에 위치하는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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제3항에 있어서,상기 돌출부는, 돌출부의 말단과 기판 사이에 나노갭이 형성되도록 상기 기판과 수직 방향으로 일정 간격 이격되게 위치하고, 상기 돌출부의 팽창시 상기 돌출부의 외측에 위치하는 지지부와 접촉하지 않도록 상기 지지부와 수평 방향으로 일정 간격 이격되게 위치하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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제2항에 있어서,상기 지지부는 상기 기판의 상면에 결합하는 제1지지부와, 상기 제1지지부와 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 상기 기판의 상면에 결합하는 제2지지부를 포함하며,상기 센서부는 제1지지부 또는 제2지지부의 상면에 안착되며 말단이 제1지지부와 제2지지부 사이의 상측에 위치하는 상측부와, 상기 상측부의 하면에서 돌출되어 상기 제1지지부와 제2지지부 사이에 위치하며 상기 기판과 일정 간격 이격되어 위치하는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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제5항에 있어서,상기 돌출부는, 돌출부의 말단과 기판 사이에 나노갭이 형성되도록 상기 기판과 수직 방향으로 일정 간격 이격되게 위치하고, 상기 돌출부의 팽창시 상기 돌출부의 외측에 위치하는 지지부와 접촉하지 않도록 상기 지지부와 수평 방향으로 일정 간격 이격되게 위치하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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전극이 형성된 기판 상에 일정 두께로 제1희생층을 형성하는 제1희생층형성단계와, 상기 제1희생층형성단계 후 상기 제1희생층과 일정 간격을 두고 제1희생층의 외측에 절연성을 가지는 지지부를 형성하는 지지부형성단계와, 상기 지지부형성단계 후 제1희생층과 지지부 사이에 위치하는 간격부와 상기 간격부의 측면에서 일정 길이 돌출되어 제1희생층 상면 일부에 위치하는 측면돌출부를 가지는 제2희생층을 형성하는 제2희생층형성단계와, 상기 제2희생층형성단계 후 수소와 반응하여 팽창하는 금속의 증착을 통해 상기 지지부에 지지되고 말단이 제1희생층에 접하는 센서부를 형성하는 센서부형성단계와, 상기 센서부형성단계 후 제1희생층 및 제2희생층을 제거하여 나노갭을 형성하는 나노갭형성단계를 포함하여, 상기 제1희생층의 두께를 조절함으로 인해 기판과 센서부가 이격되어 형성되는 나노갭의 두께를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
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전극이 형성된 기판 상에 일정 두께로 제1희생층을 형성하는 제1희생층형성단계와, 상기 제1희생층형성단계 후 상기 제1희생층과 일정 간격을 두고 제1희생층의 외측에 절연성을 가지는 지지부를 형성하는 지지부형성단계와, 상기 지지부형성단계 후 수소와 반응하여 팽창하는 금속의 증착을 통해 상기 제1희생층 상에 일정 두께로 돌출부를 형성하는 돌출부형성단계와, 상기 돌출부형성단계 후 제1희생층과 지지부 사이에 위치하는 간격부와 상기 간격부의 측면에서 일정 길이 돌출되어 하면은 제1희생층 상면에 접하고 측면은 돌출부의 측면에 접하는 측면돌출부를 가지는 제2희생층을 형성하는 제2희생층형성단계와, 상기 제2희생층형성단계 후 수소와 반응하여 팽창하는 금속을 증착을 통해 상기 지지부에 지지되고 하면 중앙 부위에서 돌출부와 접하는 안착부를 형성하는 안착부형성단계와, 상기 안착부형성단계 후 제1희생층 및 제2희생층을 제거하여 나노갭을 형성하는 나노갭형성단계를 포함하여, 상기 제1희생층의 두께를 조절함으로 인해 기판과 센서부가 이격되어 형성되는 나노갭의 두께를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
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제7항 또는 제8항에 있어서,상기 기판은 전도성 물질로 이루어지거나 전도성 물질이 코팅된 절연 기판이 이용될 수 있으며,상기 제1희생층은 이산화규소로 이루어질 수 있고,상기 지지부는 산화알루미늄으로 이루어질 수 있으며, 상기 제2희생층은 물에 용해되는 PVA로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
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