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광원; 상기 광원을 샘플로 향하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 분리된 제2 빔으로 분할하는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 분할된 제2 빔의 위상을 지연시키는 위상지연자; 상기 제1 빔이 상기 샘플에 반사된 반사빔과, 상기 위상지연자를 거친 상기 제2 빔을 검출하는 광검출기; 상기 광원과 상기 위상지연자 사이에 배치되는 제1 편광기; 상기 위상지연자와 상기 광검출기 사이에 배치되는 제2 편광기; 및상기 광검출기에서 검출된 신호를 저주파 신호와 고주파 신호를 분리하여 신호를 획득하고, 상기 저주파 신호 및 고주파 신호로부터 상기 샘플의 반사도 및 입사 광량을 획득하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정장치
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제1항에 있어서,상기 위상지연자는 멀티 오더 위상지연자(Multi-order Retarder)인 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 편광기 및 상기 광분할기는 상기 광원의 편광 및 분할을 함께 수행하는 편광빔스플리터에 통합된 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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광원;상기 광원을 샘플로 향하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 분리된 제2 빔으로 분할하는 광분할기;상기 광분할기에 의해 분할된 상기 제2 빔의 위상을 지연시키는 위상지연자;상기 위상지연자의 후단에 배치되어 상기 위상지연자를 통과한 상기 제2 빔을 반사시켜서 다시 상기 위상지연자로 진행하도록 하는 반사거울;상기 제1 빔이 상기 샘플에 반사된 반사빔과, 상기 위상지연자를 경유한 상기 제2 빔을 검출하는 광검출기; 상기 광원과 상기 반사거울 사이에 배치되는 제1 편광기; 및상기 광검출기에서 검출된 신호를 저주파 신호와 고주파 신호를 분리하여 신호를 획득하고, 상기 저주파 신호 및 고주파 신호로부터 상기 샘플의 반사도 및 입사 광량을 획득하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 위상지연자는 멀티 오더 위상지연자(Multi-order Retarder)인 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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6
제4항에 있어서, 상기 제1 편광기 및 상기 광분할기는 상기 광원의 편광 및 분할을 함께 수행하는 편광빔스플리터에 통합된 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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광원;상기 광원을 샘플로 향하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 분리된 제2 빔으로 분할하는 광분할기;상기 광분할기에 의해 분할된 상기 제1 빔의 위상을 지연시키는 위상지연자;상기 제1 빔이 상기 샘플에 반사된 반사빔과, 입사광량 정보를 가지고 있는 상기 제2 빔을 검출하는 광검출기;상기 샘플과 상기 광검출기 사이에 배치되는 제1 편광기; 및 상기 광검출기에서 검출된 신호를 저주파 신호와 고주파 신호를 분리하여 신호를 획득하고, 상기 저주파 신호 및 고주파 신호로부터 상기 샘플의 반사도 및 입사 광량을 획득하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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제7항에 있어서,상기 위상지연자는 멀티 오더 위상지연자(Multi-order Retarder)인 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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9
제7항에 있어서,상기 제1 편광기 및 상기 광분할기는 상기 광원의 편광 및 분할을 함께 수행하는 편광빔스플리터에 통합된 것을 특징으로 하는 반사도 및 입사 광량의 측정 장치
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