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소스 증기를 생성하는 소스 증기 생성부; 및상기 소스 증기를 확산하는 확산 블록, 복수의 노즐을 포함하는 노즐 플레이트 및 상기 확산 블록과 상기 노즐 플레이트 사이에 배치되어, 상기 노즐 플레이트와 상기 확산 블록을 결합하는 결합 부재를 포함하는 노즐부를 포함하고,상기 결합 부재의 열팽창률은 상기 확산 블록의 열팽창률과 상기 노즐 플레이트의 열팽창률 사이의 값을 가지며, 상기 결합 부재는 유리를 포함하고, 상기 결합 부재의 연화점은 400℃ 이하인, 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 소스 증기는 유기물을 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 소스 증기 생성부에 수송 기체를 제공하는 수송 기체 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 확산 블록은 적어도 철과 니켈을 포함하는 열팽창 제어 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 결합 부재의 열팽창률은 2
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제1항에 있어서, 상기 결합 부재의 유리 전이 온도 및 연화점은 각각 300℃ 내지 350℃인 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 결합 부재는 저융점 유리 프릿으로부터 형성된 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 확산 블록은 상기 노즐과 연결되는 확산 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제8항에 있어서, 상기 결합 부재는 상기 확산 유로와 상기 노즐을 연결하는 관통부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐들은 상기 노즐 플레이트를 관통하고, 상기 노즐들의 직경에 대한 길이의 비는 5:1 보다 큰 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐들의 토출면의 직경은 유입면의 직경 보다 작은 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐 플레이트는 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐들은 제1 방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐들은 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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제14항에 있어서, 상기 노즐들은 지그재그 배열을 형성하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 증착 장치
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확산 유로를 갖는 확산 블록 위에 프릿 파우더를 포함하는 유리 프릿을 도포하여, 상기 확산 유로를 개방하는 관통부를 갖는 프릿층을 형성하는 단계; 상기 프릿층과 복수의 노즐을 갖는 노즐 플레이트를 접촉시키는 단계; 및상기 프릿층을 가열하여 상기 확산 블록과 상기 노즐 플레이트를 결합하는 결합 부재를 형성하는 단계를 포함하고,상기 결합 부재의 열팽창률은 상기 확산 블록의 열팽창률과 상기 노즐 플레이트의 열팽창률 사이의 값을 가지며, 상기 결합 부재의 연화점은 400℃ 이하인, 기상 젯 노즐 유닛의 제조 방법
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제16항에 있어서, 상기 확산 블록은 적어도 철과 니켈을 포함하는 열팽창 제어 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 젯 노즐 유닛의 제조 방법
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제16항에 있어서, 상기 결합 부재의 열팽창률은 2
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제16항에 있어서, 상기 결합 부재의 유리 전이 온도 및 연화점은 각각 300℃ 내지 350℃인 것을 특징으로 하는 기상 젯 노즐 유닛의 제조 방법
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제16항에 있어서, 상기 노즐 플레이트는 실리콘을 포함하고, 상기 노즐의 직경에 대한 길이의 비는 5:1 보다 큰 것을 특징으로 하는 기상 젯 노즐 유닛의 제조 방법
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