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노광 마스크가 거치되는 마스크 홀더;상기 노광 마스크로부터 소정 방향으로 이격하며, 노광 대상 기판이 거치되되, 상기 노광 마스크와 동일한 재질 및 동일한 두께로 이루어진 제1 플레이트;상기 노광 마스크의 상기 노광 대상 기판을 향한 위치를 조절하는 위치 조절부;상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 간의 이격 간격을 조절하는 이격 간격 조절부;상기 노광 마스크 및 상기 노광 대상 기판 중 적어도 하나의 위치를 측정하는 제1 센서;상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판의 이격 간격을 측정하는 제2 센서; 및상기 제1 센서로부터의 측정 결과에 따라, 상기 위치 조절부를 통하여 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판의 상대적인 거리를 줄이는 제1 제어와, 상기 제1 제어 후에 상기 제2 센서로부터의 측정 결과에 따라, 상기 이격 간격 조절부를 통하여 상기 노광 마스크의 처짐에 따라 상기 노광 대상 기판을 변형시키는 제2 제어를 수행하는 제어부를 포함하되,상기 제1 플레이트와 상기 노광 마스크는 동일한 재질 및 동일한 두께로 이루어진 것에 의해, 상기 제1 플레이트와 상기 노광 마스크는 자중에 의해 동일하게 처지는 동일 처짐량을 가지고,상기 제2 제어는, 상기 이격 간격 조절부를 통하여 상기 동일 처짐량을 제외한 상기 노광 마스크의 처짐에 따라 상기 노광 대상 기판을 변형시키는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 제어는,상기 노광 마스크를 상기 마스크 홀더에 비-거치하고, 상기 제1 플레이트 상에 노광 대상 기판을 거치한 상태에서, 상기 제1 센서를 통하여 상기 노광 대상 기판의 위치를 획득하고,상기 노광 마스크를 상기 마스크 홀더에 거치하고, 상기 제1 센서를 통하여 상기 노광 마스크의 위치를 획득한 후,상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 간의 거리가 미리 정해진 거리에 이르도록 상기 위치 조절부를 통하여 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 방향 간의 거리를 줄이는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제2 항에 있어서,상기 미리 정해진 거리는,상기 제2 센서의 측정 가능 거리 이내인, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제1 항에 있어서,상기 제2 제어 전에 비하여 상기 제2 제어 후에, 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판의 이격 간격 균일도가 증가하는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제4 항에 있어서,상기 이격 간격 조절부가 위치하는 제2 플레이트를 더 포함하며,상기 이격 간격 조절부는, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되되, 상기 제1 플레이트의 면 방향을 따라 복수 개 마련되는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제5 항에 있어서,상기 제2 제어는,상기 이격 간격 조절부의 높이를 조절하여 상기 제1 플레이트의 면 방향 변형을 제어하고, 상기 제1 플레이트의 면 방향 변형 제어에 따라, 상기 제1 플레이트 상의 노광 대상 기판이 변형되는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 센서는 변위 센서이고,상기 제2 센서는 간격 측정 센서로 이루어진, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 플레이트는, 상기 제1 플레이트의 면 방향을 따라 오목부와 볼록부를 교번하여 가지고,상기 이격 간격 조절부는, 상기 볼록부와 직접 접촉하는, 근접 노광을 위한 기판 변형 장치
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제1 플레이트 상에 노광 대상 기판을 준비하는 단계;상기 노광 대상 기판의 위치를 측정하는 제1 측정 단계;상기 노광 대상 기판과 대향하되, 상기 제1 플레이트와 동일한 재질 및 동일한 두께로 이루어진 노광 마스크를 준비하는 단계;상기 노광 마스크의 위치를 측정하는 제2 측정 단계;상기 제1 및 제2 측정 단계의 측정 결과에 따라, 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판의 상대적인 거리가 미리 정해진 거리가 되도록, 상기 노광 마스크의 상기 노광 대상 기판을 향한 위치 또는 상기 노광 대상 기판의 상기 노광 마스크를 향한 위치를 조절하는 위치 조절 단계;상기 위치 조절 단계 후에, 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 간의 간격을 측정하는 제3 측정 단계; 및상기 제3 측정 단계의 측정 결과에 따라, 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 간의 간격이 상기 노광 마스크의 면 방향을 따라 일정해지도록 상기 노광 대상 기판을 변형시키는 단계;를 포함하되,상기 제1 플레이트와 상기 노광 마스크는 동일한 재질 및 동일한 두께로 이루어진 것에 의해, 상기 제1 플레이트와 상기 노광 마스크는 자중에 의해 동일하게 처지는 동일 처짐량을 가지고,상기 노광 대상 기판을 변형시키는 단계는, 상기 동일 처짐량을 제외한 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판 간의 간격이 상기 노광 마스크의 면 방향을 따라 일정해지도록 상기 노광 대상 기판을 변형시키는 것을 포함하는, 근접 노광을 위한 기판 변형 방법
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제10 항에 있어서,상기 제1 측정 단계 및 상기 제2 측정 단계는, 변위 센서에 의해 수행되고,상기 제3 측정 단계는, 간격 측정 센서에 의해 수행되는, 근접 노광을 위한 기판 변형 방법
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제11 항에 있어서,상기 미리 정해진 거리는, 상기 간격 측정 센서의 측정 가능 거리 이내인, 근접 노광을 위한 기판 변형 방법
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제10 항에 있어서,상기 노광 대상 기판을 변형시키는 단계에 의하여, 상기 노광 마스크와 상기 노광 대상 기판의 이격 간격 균일도가 증가하는, 근접 노광을 위한 기판 변형 방법
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