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제1 기판;상기 제1 기판 상에 배치되는 제1 전극;상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격되는 제2 전극;상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 카본 나노튜브 시트; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판; 및상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제2 기판에 접촉하며, 상기 카본 나노튜브 시트와 중첩되는 영역에 배치되는 제3 전극을 포함하고, 상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되는 제1 스페이서 및 제2 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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3
제2항에 있어서, 상기 제1 스페이서는 상기 제1 전극의 외곽에 배치되고, 상기 제2 스페이서는 상기 제2 전극의 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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4
제2항에 있어서, 상기 제1 스페이서는 상기 제1 전극과 중첩하여 배치되고, 상기 제2 스페이서는 상기 제2 전극과 중첩하여 배치되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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제4항에 있어서, 상기 제1 스페이서는 상기 제1 전극 및 상기 제3 전극과 중첩하여 배치되고, 상기 제2 스페이서는 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극과 중첩하여 배치되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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6
제2항에 있어서, 상기 제1 기판, 상기 제2 기판, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 상기 제3 전극, 상기 카본 나노튜브 시트, 상기 제1 스페이서 및 상기 제2 스페이서는 투명한 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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7
제6항에 있어서, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극은 ITO(Indium Tin Oxide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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8
제6항에 있어서, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극은 카본 나노튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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9
제1항에 있어서, 상기 제2 기판 상에 압력이 인가되면, 상기 제3 전극이 상기 카본 나노튜브 스트링들에 접촉하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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10
제9항에 있어서, 상기 제2 기판 상에 압력이 인가되면, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 신호를 측정하여 상기 압력이 센싱되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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11
제9항에 있어서, 상기 제2 기판 상에 가해지는 압력이 증가하면, 상기 압력 센서의 저항이 감소하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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12
제1항에 있어서, 상기 제1 기판 상에 압력이 인가되면, 상기 제3 전극이 상기 카본 나노튜브 스트링들에 접촉하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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13
제1항에 있어서, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직인 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서
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카본 나노튜브 포레스트로부터 일방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 제1 기판 상에 형성하는 단계;상기 제1 기판 상에 제1 전극 및 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격되는 제2 전극을 형성하는 단계; 및상기 카본 나노튜브 시트와 중첩되는 영역에 제3 전극이 형성된 제2 기판을 상기 제1 기판과 마주보게 배치하는 단계를 포함하고, 상기 제3 전극은 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제2 기판에 접촉하며, 상기 카본 나노튜브 스트링들은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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