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기판의 위치를 조절하여 기판과 몰드를 정렬시키는 기판 구동부,상기 기판 구동부과 이격되어 상방에 위치하며, 상기 몰드의 위치를 조절하여 상기 기판과 상기 몰드를 정렬시키는 몰드 구동부,상기 몰드 구동부에 설치되며 레이저를 이용하여 노광 공정 및 후처리 공정을 진행하여 편광 필터를 제조하는 레이저 구동부를 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제1항에서,상기 기판 구동부는 상기 기판의 위치를 조절하는 기판 정렬부, 상기 기판 정렬부 위에 설치되며 상기 기판을 가열시키는 가열판, 그리고상기 가열판 위에 설치되며 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 고정시키는 기판 진공척을 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제2항에서,상기 기판 구동부는 상기 가열판과 상기 기판 정렬부 사이에 위치하며, 상기 기판에 가해지는 압력을 측정하는 압력 센서를 더 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제2항에서,상기 기판 정렬부는 상기 기판의 X축, Y축, 및 Z축 방향의 위치를 조절하는 3축 위치 조절부,상기 기판의 회전축 방향의 위치를 조절하는 회전축 위치 조절부, 그리고상기 기판의 기울기를 조절하는 기울기 조절부를 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제2항에서,상기 몰드 구동부는 상기 기판과 상기 몰드의 기울기를 측정하는 오토콜리메이터,상기 기판의 기판 정렬 마크와 상기 몰드의 몰드 정렬 마크를 확인하여 상기 몰드를 정렬시키는 카메라 모듈,상기 기판 진공척과 대향하며 상기 몰드를 고정하는 몰드 진공척을 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제5항에서,상기 카메라 모듈은 상기 기판의 기판 정렬 마크와 상기 몰드의 몰드 정렬 마크를 확인하는 한 상의 카메라, 그리고상기 한 쌍의 카메라의 위치를 조절하는 카메라 위치 조절부를 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제1항에서,상기 레이저 구동부는 상기 몰드 구동부에 설치되는 레이저 스테이지, 상기 레이저 스테이지의 일단에 설치되어 노광 공정을 진행하는 광학 모듈, 그리고상기 레이저 스테이지의 타단에 설치되어 후처리 공정을 진행하는 갈바노 스캐너를 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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제1항에서,상기 몰드 구동부 및 상기 레이저 구동부의 수직 위치를 조절하는 수직 위치 조절부를 더 포함하는 편광 필터의 제조 장치
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기판 구동부 및 몰드 구동부를 이용하여 기판과 몰드를 정렬시키는 정렬 공정을 진행하는 단계,상기 기판 구동부 및 상기 몰드 구동부를 이용하여 상기 기판에 상기 몰드를 가압시키는 가압 공정을 진행하는 단계,상기 몰드 구동부에 설치된 레이저 구동부를 이용하여 노광 공정을 진행하는 단계, 그리고상기 레이저 구동부를 이용하여 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함하는 편광 필터의 제조 방법
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제9항에서,상기 가압 공정에서 상기 기판 구동부를 이용하여 상기 기판을 가열시키는 가열 공정을 진행하는 편광 필터의 제조 방법
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제9항에서,상기 정렬 공정을 진행하는 단계는상기 몰드 구동부의 오토콜리메이터를 이용하여 상기 기판과 상기 몰드의 기울기를 측정하는 단계,상기 기판 구동부의 기울기 조절부를 이용하여 상기 기판과 상기 몰드를 평행하게 정렬하는 단계, 상기 몰드 구동부의 카메라 모듈을 이용하여 상기 기판의 기판 정렬 마크와 상기 몰드의 몰드 정렬 마크를 확인하는 단계, 그리고상기 기판 구동부의 3축 위치 조절부 및 회전축 위치 조절부를 이용하여 상기 기판과 상기 몰드를 정렬하는 단계를 포함하는 편광 필터의 제조 방법
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제11항에서,상기 가압 공정을 진행하는 단계는상기 몰드 구동부 및 상기 레이저 구동부에 연결된 수직 위치 조절부를 이용하여 상기 몰드 구동부 및 상기 레이저 구동부를 동시에 Z축 방향 하방으로 이동시켜 상기 몰드로 상기 기판을 가압하는 단계를 포함하는 편광 필터의 제조 방법
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제11항에서,상기 노광 공정을 진행하는 단계는상기 레이저 구동부의 레이저 스테이지를 이동시켜 상기 몰드 구동부의 광학 모듈이 상기 기판에 대응하여 위치하는 단계, 그리고노광 레이저에서 조사된 레이저 빔을 상기 광학 모듈을 이용하여 상기 기판에 조사시켜 편광 필터를 제조하는 단계를 포함하는 편광 필터의 제조 방법
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제13항에서,상기 후처리 공정을 진행하는 단계는 상기 레이저 스테이지를 초기 위치로 복귀시키는 단계,상기 몰드 진공척에 흡착되어 있는 상기 몰드를 제거하는 단계,상기 레이저 스테이지를 이동시켜 상기 갈바노 스캐너가 상기 편광 필터에 대응하여 위치하는 단계, 그리고후처리 레이저에서 조사된 레이저 빔을 상기 갈바노 스캐너를 이용하여 상기 편광 필터에 조사시키는 단계를 포함하는 편광 필터의 제조 방법
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