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스탬프가 장착 가능하게 구성되는 스탬프 홀더;상기 스탬프 홀더에 대해 제1 방향에 배치되고, 기판을 장착 가능하게 구성되는 기판 홀더;상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판을 향해 자외선을 방출하도록 구성된 자외선 방출부; 및상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프가 서로 접촉하도록 상기 기판 홀더 및 상기 스탬프 홀더 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있도록 구성된 가압 모듈을 포함하고,상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더가 소정 거리 이상 서로 이격된 상태에서, 상기 스탬프를 상기 스탬프 홀더에 장착 가능하게 구성되는,임프린팅 장치
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제1항에 있어서,상기 기판 홀더에 대해 상기 제1 방향에 배치되고, 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판과 서로 접촉 및 이격 가능하도록 구성되고, 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판의 이탈을 막도록 지지 가능하게 구성되는 홀더부를 더 포함하고,상기 홀더부와 상기 기판 홀더가 서로 이격된 상태에서, 상기 기판이 상기 기판 홀더에 장착 가능하게 구성되는,임프린팅 장치
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제2항에 있어서,상기 가압 모듈, 상기 스탬프 홀더, 상기 기판 홀더 및 상기 홀더부는 상기 제1 방향으로 순차적으로 배열되고,상기 가압 모듈은, 상기 스탬프 홀더와 서로 접촉 및 이격 가능하도록 구성되고, 상기 스탬프 홀더를 상기 제1 방향으로 가압할 수 있도록 구성되고,상기 가압 모듈이 상기 스탬프 홀더를 상기 제1 방향으로 가압함에 따라, 상기 스탬프 홀더가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프가 상기 기판 홀더와 접촉하고, 상기 기판 홀더가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 홀더부와 접촉하도록 구성되는,임프링팅 장치
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제1항에 있어서,상기 가압 모듈은, 상기 스탬프 홀더와 서로 접촉 및 이격 가능하도록 구성되고, 상기 스탬프 홀더를 상기 제1 방향으로 가압할 수 있도록 구성되고,상기 가압 모듈, 상기 스탬프 홀더, 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프 및 상기 기판 홀더가 서로 접촉한 접촉 상태에서, 상기 스탬프, 상기 스탬프 홀더 및 상기 가압 모듈이 서로에 대해 밀착되어 챔버 공간이 형성되도록 구성되는,임프린팅 장치
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제4항에 있어서,상기 챔버 공간에 주입되는 유체를 안내하도록 구성된 배관을 더 포함하는,임프린팅 장치
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제4항에 있어서,상기 가압 모듈은 상기 접촉 상태에서 상기 스탬프 홀더와 접촉하는 챔버 커버를 포함하고,상기 챔버 공간은 상기 스탬프, 상기 스탬프 홀더 및 상기 챔버 커버에 의해 둘러싸여 형성되는,임프린팅 장치
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7
제6항에 있어서,상기 챔버 공간 내의 유체가 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 스탬프와 상기 스탬프 홀더의 사이 및 상기 스탬프 홀더와 상기 챔버 커버의 사이 중 적어도 하나에 위치하는 실러를 더 포함하는,임프린팅 장치
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8
제6항에 있어서,상기 챔버 공간 내의 유체가 누출되는 것을 방지하도록, 상기 스탬프 홀더 및 상기 챔버 커버 중 적어도 하나는 탄성 소재로 형성된 탄성부를 포함하는,임프린팅 장치
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9
제1항에 있어서,상기 자외선 방출부는, 상기 자외선이 상기 기판을 투과하여 상기 기판과 상기 스탬프의 접촉면에 조사되도록 상기 기판 홀더에 대해 상기 제1 방향에 배치되는,임프린팅 장치
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10
제9항에 있어서,상기 기판 홀더에 대해 상기 제1 방향에 배치되고, 상기 기판 홀더의 이탈을 막도록 지지 가능하게 구성되는 홀더부를 더 포함하고,상기 자외선 방출부는 상기 홀더부에 배치되는,임프린팅 장치
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11
제1항에 있어서,상기 자외선 방출부는, 상기 자외선이 상기 스탬프를 투과하여 상기 기판과 상기 스탬프의 접촉면에 조사되도록 상기 스탬프 홀더에 대해 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향에 배치되는,임프린팅 장치
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12
제11항에 있어서,상기 가압 모듈은 상기 스탬프 홀더에 대해 상기 제2 방향에 배치되고,상기 자외선 방출부는 상기 가압 모듈에 배치되는,임프린팅 장치
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13
제1항에 있어서,상기 자외선 방출부는,상기 자외선이 상기 기판을 투과하여 상기 기판과 상기 스탬프의 접촉면에 조사되도록 상기 기판 홀더에 대해 상기 제1 방향에 배치되는 제1 자외선 방출부; 및상기 자외선이 상기 스탬프를 투과하여 상기 기판과 상기 스탬프의 접촉면에 조사되도록 상기 스탬프 홀더에 대해 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향에 배치되는 제2 자외선 방출부를 포함하는,임프린팅 장치
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14
제1항에 있어서,상기 기판 홀더 및 상기 스탬프 홀더 중 적어도 하나는 상기 제1 방향을 가로지르는 방향으로 회전 또는 이동 가능하게 구성되는,임프린팅 장치
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15
제1항에 있어서,상기 자외선 방출부로의 자외선의 이동을 안내하도록 구성된 광경로 안내부를 더 포함하는,임프린팅 장치
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16
제15항에 있어서,상기 자외선 방출부 및 상기 광경로 안내부는 상기 가압 모듈에 배치되고,상기 가압 모듈의 외부에 별도로 위치하고, 상기 광경로 안내부를 따라 이동하는 상기 자외선을 생성하는 광원을 더 포함하는,임프린팅 장치
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17
제1항에 있어서,상기 스탬프 홀더에는 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프를 바라보는 방향으로 돌출된 돌기가 형성되는,임프린팅 장치
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18
스탬프가 장착 가능하게 구성되는 스탬프 홀더;상기 스탬프 홀더에 대해 제1 방향에 배치되고, 기판을 장착 가능하게 구성되는 기판 홀더;상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판을 향해 자외선을 방출하도록 구성된 자외선 방출부;상기 기판 홀더에 대해 상기 제1 방향에 배치되고, 상기 기판 홀더의 이동에 따라 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판과 서로 접촉 및 이격 가능하도록 구성되고, 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판의 이탈을 막도록 지지 가능하게 구성되는 홀더부; 및상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판과 상기 홀더부가 접촉하도록 상기 기판 홀더를 이동시킬 수 있도록 구성된 가압 모듈을 포함하고,상기 기판 홀더와 상기 홀더부가 서로 이격된 상태에서, 상기 기판을 상기 기판 홀더에 장착 가능하게 구성되는,임프린팅 장치
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19
기판 홀더에 기판을 장착하는 기판 장착 단계;상기 기판 홀더로부터 소정 거리 이상 이격된 스탬프 홀더에 스탬프를 장착하는 스탬프 장착 단계;상기 기판 홀더와 상기 스탬프가 접촉하도록, 가압 모듈이 상기 스탬프 홀더에 접촉하여 상기 스탬프 홀더를 이동시키는 이동 단계;상기 기판 홀더와 상기 스탬프가 접촉한 상태에서, 상기 스탬프, 상기 스탬프 홀더 및 상기 가압 모듈이 서로 밀착되어 형성된 챔버 공간에 유체를 주입하는 주입 단계; 및상기 주입 단계 이후, 상기 스탬프가 상기 챔버 공간 내의 상기 유체의 압력에 의해 변형됨으로써 상기 기판에 접촉한 상태에서, 상기 기판과 상기 스탬프의 접촉면에 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계를 포함하는,임프린팅 방법
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제19항에 있어서,상기 기판은 패턴 마커이고,상기 스탬프에 의해 상기 패턴 마커에 패턴이 형성되는,임프린팅 방법
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제19항에 있어서,상기 기판 장착 단계에서, 상기 기판 홀더는 상기 기판 홀더에 대해 상기 스탬프 홀더의 반대측에 배치된 홀더부로부터 이격되고,상기 이동 단계에서, 상기 홀더부와 상기 기판 홀더에 장착된 기판이 접촉하도록, 가압 모듈이 상기 스탬프 홀더에 접촉하고 상기 스탬프가 상기 기판 홀더에 접촉하여 상기 기판 홀더를 이동시키는,임프린팅 방법
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