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ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법 및 그에 따른 활성이 향상된 금속 촉매

  • 기술번호 : KST2023008750
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법 및 그에 따른 금속 촉매에 관한 것이다. 보다 자세하게는, ALD 공정에서 촉매의 표면에서 낮은 배위수를 갖는 부분에 반응물의 선택적 흡착을 유도하는 단계를 포함하여, 무기막층과의 촉매 간의 상호작용을 유도하고 촉매의 활성점을 최대한 확보하고자 한다.
Int. CL B01J 37/02 (2006.01.01) B01J 23/42 (2006.01.01) B01J 21/04 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) B01D 53/86 (2006.01.01)
CPC B01J 37/0215(2013.01) B01J 37/024(2013.01) B01J 23/42(2013.01) B01J 21/04(2013.01) C23C 16/45555(2013.01) C23C 16/4408(2013.01) C23C 16/4417(2013.01) C23C 16/405(2013.01) B01D 53/864(2013.01)
출원번호/일자 1020230125872 (2023.09.20)
출원인 한화솔루션 주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0141682 (2023.10.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/분할
원출원번호/일자 10-2020-0042648 (2020.04.08)
관련 출원번호 1020200042648
심사청구여부/일자 Y (2023.09.20)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한화솔루션 주식회사 대한민국 서울특별시 중구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정권 대전광역시 유성구
2 우은지 대전광역시 유성구
3 조영진 대전광역시 유성구
4 임성갑 대전광역시 유성구
5 장원태 대전광역시 유성구
6 최건우 대전광역시 유성구
7 전정환 대전광역시 유성구
8 김도흥 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2023.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2023-1044928-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 원자층 증착법(ALD)을 이용하여 담지 촉매에 전구체를 주입하여, 촉매 표면의 낮은 배위수를 갖는 부분에 전구체의 선택적 흡착을 유도하는 단계;(b) 퍼지(purge)하는 단계;(c) 산화제를 주입하고, 이를 촉매 표면에서 선택적으로 흡착된 전구체와 반응하여 무기막을 증착시키는 단계; 및(d) 퍼지(purge)하는 단계;를 포함하며,상기 (a) 단계의 촉매는 백금(Pt)인 것을 특징으로 하고,상기 (a) 단계의 선택적 흡착은 주입 시간, 기판 온도 및 공정 사이클을 조절하여 제어하고,상기 (a) 단계의 담지는 알파-알루미나(α-Al2O3)를 담체로 제공하는 것을 특징으로 하고,상기 전구체의 주입 시간은 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계의 전구체는 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 징크(Zn), 지르코늄(Zr) 및 세슘(Ce)에서 선택되는 적어도 어느 하나의 전구체인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 (c) 단계의 산화제는 초순수정제수, 알코올, 오존, 아산화질소 및 산소에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 (c) 단계의 주입은 주입 시간이 0
5 5
제1항에 있어서, 상기 (a) 및 (c) 단계의 주입은 불활성 가스를 운반 기체로 주입하여 진행하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 (b) 및 (d) 단계의 퍼지(purge)는 불활성 가스를 주입하여 진행하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 (b) 및 (d) 단계의 퍼지(purge)는 0
8 8
제1항에 있어서,상기 공정 사이클은 50 사이클인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.