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진동 또는 압력에 의해 전압을 생성하는 압전층;상기 압전층을 고정하기 위한 고정층; 및상기 고정층의 일 영역에 상기 압전층과 떨어져 고정되며, 인가 전압에 따라 축전 용량이 변화되는 가변 축전층을 포함하며,상기 가변 축전층의 축전 용량의 변화에 의해 공진 주파수가 변화되는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 압전층은, 질화 알루미늄(AlN), 산화아연(ZnO), 납-지르코늄-티타늄 복합산화물(PZT(Pb(zr,Ti)03)) 계열, 바륨-스트론튬-티타늄 복합산화물(BST((Ba,Sr)Ti03)) 계열, 나트륨-칼륨-니오븀 복합산화물(NkN((Na,K)Nb03)) 계열, 탄소나노튜브(carbon nanotube; CNT), 폴리불화비닐라덴(poly vinyl idene fluoride; PVDF), 폴리프로필렌-폴리에티렌(polypropylene-polyethylene; PE-PP) 중 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 고정층은, PCB, 실리콘(Si), 폴리 카보네이트(poly carbonate), 쿼츠(quartz), 갈륨비소(GaAs), 인듐인(InP) 또는 유리 중 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 가변 축전층은,질화 알루미늄(AlN), 산화아연(ZnO), 납-지르코늄-티타늄 복합산화물(PZT(Pb(zr,Ti)03)) 계열, 바륨-스트론튬-티타늄 복합산화물(BST((Ba,Sr)Ti03)) 계열, 나트륨-칼륨-니오븀 복합산화물(NkN((Na,K)Nb03)) 계열, 탄소나노튜브(carbon nanotube; CNT), 폴리불화비닐라덴(poly vinyl idene fluoride; PVDF), 폴리프로필렌-폴리에티렌(polypropylene-polyethylene; PE-PP) 중 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 압전층의 상부와 하부에 형성된 압전층 전극;상기 고정층의 상부와 하부에 형성된 고정층 전극; 및 상기 가변 축전층의 상부와 하부에 형성된 가변 축전층 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 5 항에 있어서, 상기 압전층 전극, 상기 고정층 전극 및 상기 가변 축전층 전극은, 은(silver), 금(gold), 플래티늄(platinum), 구리(copper), 알루미늄(aluminum), 로듐(rhodium), 이리듐(iridium), 루테늄(ruthenium), 팔라디움(palladium) 및 전도성 산화물 중 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 가변 축전층이 상기 고정층의 상부 일 영역에 상기 압전층과 떨어져 고정된 경우, 상기 가변 축전층이 질량추로 이용되는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 가변 축전층이 상기 고정층의 하부에 고정된 경우,상기 고정층의 상부 일 영역에 질량추가 고정되는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자
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(a) 압전층의 상하부에 압전층 전극을 형성하고 고정층의 상하부에 고정층 전극을 형성하는 단계;(b) 상기 고정층 전극이 형성된 고정층의 상부에 상기 압전층 전극이 형성된 압전층을 고정시키는 단계;(c) 인가 전압에 따라 축전 용량이 변하는 가변 축전층의 상하부에 가변 축전층 전극을 형성하는 단계; 및(d) 상기 압전층과 떨어진 상기 고정층의 일 영역에 상기 가변 축전층 전극이 형성된 가변 축전층을 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 (d) 단계에서,상기 가변 축전층 전극이 형성된 가변 축전층을 질량추로 이용하기 위해 상기 압전층과 떨어진 상기 고정층의 상부 일 영역에 상기 가변 축전층 전극이 형성된 가변 축전층을 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 능동형 압전 에너지변환 소자의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 (d) 단계에서,상기 가변 축전층 전극이 형성된 가변 축전층을 상기 고정층의 하부에 고정시킨 경우, 상기 압전층과 떨어진 상기 고정층의 상부 일 영역에 질량추를 고정시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동형 압전 에너지변환 소자의 제조 방법
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