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구리 포스트 형성을 통한 고강도 솔더범프 제조방법

  • 기술번호 : KST2015142926
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 구리 포스트 형성을 통한 고강도 솔더범프 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 솔더범프 제조방법은: 기판 상에 전도성 박막을 형성하는 단계; 상기 전도성 박막 상에 범프가 형성될 위치를 제외하고 포토레지스트 또는 드라이필름을 형성하는 단계; 전해 또는 무전해 도금법을 사용하여 상기 전도성 박막 상에 범프를 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 또는 드라이필름을 제거하는 단계; 상기 범프 상에 솔더를 형성하여 솔더범프를 형성하는 단계; 및 리플로우를 실시하여 상기 솔더범프가 구형이 되도록 하는 단계를 포함하여, 상기 범프의 높이는 전체 솔더범프 높이의 10% 내지 50%가 되도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따라 제조된 솔더범프는 접합부의 접합 강도의 상승과 이로 인한 높은 신뢰성을 갖게 된다. 플립칩, 범프, 솔더, 구리포스트, UBM(under bump metallurgy)
Int. CL H01L 23/488 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070070499 (2007.07.13)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0871067-0000 (2008.11.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정승부 대한민국 서울 서초구
2 김종웅 대한민국 경기 수원시 장안구
3 구자명 대한민국 인천 남구
4 윤정원 대한민국 경기 수원시 장안구
5 노보인 대한민국 충남 서산

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권형중 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)(특허법인 남앤남)
2 김문재 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)(특허법인 남앤남)
3 이종승 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길** 에이동 ***호 (문정동, 현대지식산업센터)(리스비특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0511121-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2007-0015278-18
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0245122-75
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0581659-19
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판(20) 상에 전도성 박막(10)을 형성하는 단계; 상기 전도성 박막(10) 상에 범프(14)가 형성될 위치를 제외하고 포토레지스트 또는 드라이필름(12)을 형성하는 단계; 전해 또는 무전해 도금법을 사용하여 상기 전도성 박막(10) 상에 범프(14)를 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 또는 드라이필름(12)을 제거하는 단계; 상기 범프(14) 상에 솔더(16)를 형성하여 솔더범프를 형성하는 단계; 및 리플로우를 실시하여 상기 솔더범프가 구형이 되도록 하는 단계를 포함하는,상기 범프(14)의 높이는 전체 솔더범프 높이의 10% 내지 50%가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 솔더범프 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 범프(14)는 구리 또는 그의 합금으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 고강도 솔더범프 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 솔더(16)는 주석 또는 융점 350 ℃ 이하인 주석 합금으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 솔더범프 제조방법
4 4
청구항 1항 내지 3항중 어느 한항의 솔더범프 제조방법에 따라 제조된 솔더범프
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.