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일괄벌크마이크로머시닝시스템

  • 기술번호 : KST2015146198
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템은, 마이크로 센서 및 마이크로 액츄에이터의 패턴이 형성된 웨이퍼를 식각조내에서 가열기와 콘덴서에 의하여 가열 및 농도 제어된 식각액에 투입시킨 상태에서 웨이퍼를 이동시키지 않고, 일괄적으로 세정, 건조 및 식각 공정을 수행하여 양산과 수율을 향상시키는 것으로, 식각시 식각액의 온도 구배를 극복케 하는 롤러, 모터, 기어군, 이들의 상호 작용으로 식각된 웨이퍼를 세정하는 세정액 노즐 어레이, 웨이퍼를 건조시키는 건조 가스 건 어레이, 상기 웨이퍼를 이동시키지 않은 상태에서 상기 세정액 노즐 어레이 및 건조 가스 건 어레이로 웨이퍼를 세정 및 건조할 수 있도록 상기 식각액을 유입 및 배출시키는 드레인 라인, 식각액 순환 라인 및 필터와 순환 펌프를 포함하여 구성된다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01)
출원번호/일자 1019980005940 (1998.02.25)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자 10-0322482-0000 (2002.01.16)
공개번호/일자 10-1999-0070843 (1999.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (20020624) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.02.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김건년 대한민국 경기도 평택시
2 이보나 대한민국 경기도 오산시
3 박효덕 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송만호 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
3 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.02.25 수리 (Accepted) 1-1-1998-0018916-82
2 특허출원서
Patent Application		 1998.02.25 수리 (Accepted) 1-1-1998-0018915-36
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.02.25 수리 (Accepted) 1-1-1998-0018917-27
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005793-30
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1999.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1999-5084192-87
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0091852-12
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.06.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5189408-76
8 의견서
Written Opinion		 2000.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2000-5189401-57
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0345623-10
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.02.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-5049635-18
11 의견서
Written Opinion		 2001.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2001-5049634-73
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0234891-93
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.10.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-5301910-15
14 의견서
Written Opinion		 2001.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2001-5301909-79
15 등록결정서
Decision to grant		 2002.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0001208-76
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

식각액이 담겨 있는 식각조내에 투입된 웨이퍼가 상기 식각액의 온도 구배를 극복할 수 있게 하는 식각액 온도 구배 극복 수단;

상기 식각조에 설치되어 식각된 웨이퍼에 세정액을 분사하여 웨이퍼를 세정하는 세정 수단;

상기 식각조에 설치되어 세정 수단에 의하여 세정된 웨이퍼에 건조 가스를 분사하여 웨이퍼를 건조시키는 건조 수단;

상기 식각조에 상기 식각액을 유입 및 배출시키는 식각액 순환 수단을 포함하며;

상기 식각액 온도 구배 극복 수단은 상기 식각액의 온도를 조절하는 가열기와 상기 식각액의 농도를 조절하는 콘덴서를 구비하고,

상기 콘덴서는 평판 상태이고, 내부에 냉각수 흐름 경로가 형성되어 있는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

2 2

청구항 1에 있어서, 상기 식각조의 상단에 설치되어 식각시 발생하는 가스를 배출시키는 배기 라인을 더 포함하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

3 3

청구항 1에 있어서, 상기 식각액 온도 구배 극복 수단은,

모터의 회전력에 따라 웨이퍼를 회전시켜 식각액의 온도 구배를 극복하면서 웨이퍼가 식각되도록 그 외주면이 웨이퍼의 외주에 밀착되는 롤러를 포함하는 일괄벌크 마이크로머시닝 시스템

4 4

청구항 3에 있어서, 상기 롤러는 웨이퍼의 하측에 설치됨을 특징으로 하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

5 5

청구항 1에 있어서, 상기 세정 수단은

상기 세정액을 상기 식각조 내부로 공급하는 세정적 관로;

상기 세정액 관로에서 웨이퍼를 향하여 세정액을 분사하도록 상기 세정액 관로를 분지하고, 상기 세정액 관로에 세정액 노즐을 구비한 세정액 노즐 어레이를 포함하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

6 6

청구항 1에 있어서, 상기 건조 수단은

건조 가스를 식각조 내부로 공급하도록 설치되는 건조 가스 관로;

상기 건조 가스 관로에서 웨이퍼를 향하여 건조 가스를 분사하도록 상기 건조 가스 관로를 분지하고, 분지된 가스 관로에 각각 건조 가스 건을 구비한 건조 가스 건 어레이를 포함하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

7 7

청구항 1에 있어서, 상기 식각액 순환 수단은

상기 식각액을 순환시키도록 상기 식각조 외측에 설치되는 식각액 순환 라인;

상기 식각액 순환 라인으로 순환되는 식각액에 포함된 잔유물을 걸러내는 필터;

상기 필터를 통과한 상기 식각액을 상기 식각조로 재공급하도록 상기 필터와 상기 식각조사이의 상기 식각액 순환 라인에 설치되는 순환 펌프를 포함하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

8 8

청구항 1 또는 7에 있어서, 상기 식각액 순환 수단은

상기 식각액 및 세정액을 배출하는 드레인 라인을 포함하는 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.