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원자 현미경 헤드

  • 기술번호 : KST2015159153
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 SPM(Scanning Probe Microscope)장치의 레이저와 PSPD(position sensitive photodiode detector)사이의 정렬에 관한 장치의 구조 및 방법에 관한 것으로서, 시편 표면의 기울기에 따라 PSPD 신호의 기준값이 변하는 현상을 없앰으로써 높은 분해능을 가능하게 하는 장비의 구조적인 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 기존의 레이저 반사거울의 기하학적인 배치 및 방법을 기존의 방법(고정거울1개, 움직거울1개)과는 다르게 변형하여 2개의 거울이 동시에 움직이면서 평행상태를 유지시키는 구조로 변경함으로써, PSPD에 조정되어진 신호의 기준값이 시편의 모양이나 기울어진 정도와는 무관하게 유지되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01)
CPC G01Q 60/16(2013.01) G01Q 60/16(2013.01)
출원번호/일자 1020030026101 (2003.04.24)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0496457-0000 (2005.06.13)
공개번호/일자 10-2004-0092608 (2004.11.04) 문서열기
공고번호/일자 (20050623) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.04.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 국양 대한민국 서울특별시관악구
2 이진환 대한민국 서울특별시관악구
3 이성준 대한민국 서울특별시관악구
4 김성헌 대한민국 서울특별시관악구
5 서정필 대한민국 서울특별시관악구
6 박용대 대한민국 서울특별시관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
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최종권리자

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1 서울대학교 기술지주 주식회사 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2003-0146657-51
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2003.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-5085604-16
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2003.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2003-0169584-00
4 과오납통지서
Notice of Erroneous Payment
2003.05.17 수리 (Accepted) 1-5-2003-0033630-06
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2004-0064430-92
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0506535-15
8 의견서
Written Opinion
2005.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2005-0036955-29
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2005.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0036956-75
10 등록결정서
Decision to grant
2005.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0187925-14
11 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2005.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2005-5072404-67
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저광을 생성하는 레이저광원(12)과; 상기 레이저광(12)원으로부터 나온 빛의 방향을 굴절시키는 프리즘과; 측정하는 시료의 표면 굴곡에 연동하는 탐침을 가지며, 상기 굴절된 빛이 안착하고, 상기 안착된 빛을 반사하는 캔틸레버(14)와; 상기 캔틸레버(14)로부터 반사된 빛을 반사하는 한 개 이상의 거울(15)과; 상기 거울(15)로부터 반사되어 오는 빛의 각도를 측정하여 상기 캔틸레버(14)의 휘는 정도를 측정하기 위한 검출기(16)와; 상기 빛이 캔틸레버(14)에 수렴하는 수렴위치를 조정하기 위한 레이저 조정바(11)와; 상기 거울(15)의 위치를 조정하기 위한 거울 조정 바(13)와; 서로에 대해 수직인 세 방향으로 스캔하면서 발생하는, 상기 캔틸레버(14)와 시료표면의 원자사이의 힘의 변화에 의해 캔틸레버(14)가 휘는 정도를 측정하여 상기 검출기(16)에서 정해진 초기 기준 신호값과의 차이를 역되먹임을 하여 상기 캔틸레버(14)의 미소변화에 대한 보정을 하는 스캐너를; 포함하는 원자 현미경 헤드에 있어서, 상기 스캐너중 한 방향 스캐너는 서로 수직인 다른 두 방향 스캐너로부터 분리되어 있고, 상기 거울(15)들은 항상 평행을 이루도록 고정되어 함께 연동하여 움직이는 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
2 2
제 1항에 있어서, 상기 레이저 조정 바(11)는 서로 수직인 세 개의 방향으로 조정이 가능한 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
3 3
제1항에 있어서, 상기 거울(15)은 2개인 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
4 4
제3항에 있어서, 분리된 상기 스캐너는 캔틸레버(14) 및 검출기(16)와 결합되어 있으며 함께 구동되는 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
5 5
제4항에 있어서, 상기 두 개의 거울(15)은 크기가 다른 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
6 6
제 1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캔틸레버(14)는 탈착이 가능한 것을 특징으로 하는, 원자 현미경 헤드
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9 8
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