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전송 게이트를 포함하는 PMOSFET형 광검출기를이용한 능동픽셀센서

  • 기술번호 : KST2015161193
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CMOS 이미지 센서(CMOS IMAGE SENSOR : CIS)의 단위픽셀에 관한 것으로서, 전송 전압(Transfer Voltage:VTX)을 바이어스 전압으로 이용하는 전송게이트(Transfer Gate)를 포함하는 구성을 갖는 PMOSFET형 광검출기(PMOSFET-Type Photodetector)를 이용하여 설계한 능동픽셀센서에 관한 것이다. 상기 PMOSFET형 광검출기를 이용한 능동픽셀센서는 광검출기 내부에 형성되는 채널의 에너지 밴드를 변화시키는 전송게이트를 포함하는 광검출기를 이용함으로서, 전송게이트를 갖는 3-Tr 구조로서 구현될 수 있는 장점이 있으며, 이에 따라 가변 광감도를 가지면서도 집적도가 향상되는 효과가 있다.CIS, 단위 픽셀, 전송 게이트, 가변 광감도, PMOSFET형 광검출기
Int. CL H01L 27/146 (2006.01.01) H04N 5/374 (2011.01.01)
CPC H01L 27/14616(2013.01) H01L 27/14616(2013.01) H01L 27/14616(2013.01)
출원번호/일자 1020050084275 (2005.09.09)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0710813-0000 (2007.04.17)
공개번호/일자 10-2007-0029856 (2007.03.15) 문서열기
공고번호/일자 (20070423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.09.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신장규 대한민국 대구 북구
2 서상호 대한민국 대구 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건철 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)(특허법인이룸리온)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2005-0506158-04
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.06.19 수리 (Accepted) 4-1-2006-0014280-97
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0675293-59
4 의견서
Written Opinion
2007.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0042559-17
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0042551-53
6 등록결정서
Decision to grant
2007.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0197183-91
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
능동픽셀센서에 있어서,전원전압(VDD)을 갖는 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 접속되고 게이트가 고농도로 도핑된 n+ 반도체에 접속된 PMOSFET와, 상기 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 접속되고 게이트로 인가되는 바이어스 전압(VTX)에 의해 소스와 드레인 사이에 형성되는 채널 에너지 밴드를 변화시켜 광 감도를 변화시키는 전송 게이트를 함께 구비한 PMOSFET형 광검출기와;상기 제 2 노드와 기준전압을 갖는 제 3 노드 사이에 접속되며 게이트로 리셋 전압(VRST)이 인가되는 리셋 트랜지스터와;상기 제 1 노드 및 제 4 노드 사이에 접속되고 게이트로 상기 제 2 노드의 전압이 인가되는 셀렉트 트랜지스터와;상기 제 4 노드 및 출력 단자 사이에 접속되고 게이트로 열 선택 전압(VROW)이 인가되는 액세스 트랜지스터; 및상기 출력 단자 및 접지전압을 갖는 제 5 노드 사이에 접속되고 게이트로 바이어스 전압(Bias)이 인가되는 바이어스 트랜지스터;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 PMOSFET형 광검출기를 이용한 능동픽셀센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 PMOSFET형 광검출기는:p-형 반도체로 형성된 p-기판(substrate)과;상기 p-기판 내에 형성되고 n-형 반도체로 구성된 n-우물(n-well)과;상기 n-우물 내에 일정 거리로 이격되어 형성되고, 고농도로 도핑된 p+ 반도체로 구성된 소스 및 드레인과;상기 n-우물 상에 형성된 실리콘 산화막과, 상기 소스와 드레인 사이에 형성된 상기 실리콘 산화막 상에 형성되고 다결정 실리콘으로 구성된 상기 PMOSFET의 게이트와;상기 n-우물 내에 형성되고, 상기 PMOSFET의 게이트와 전기적으로 연결되며 고농도로 도핑된 n+반도체; 및상기 소스와 드레인 사이에 형성된 상기 실리콘 산화막 상에 상기 PMOSFET의 게이트와 일정 간격 이격되어 형성되고, 상기 바이어스 전압(VTX)이 게이트로 인가되며, 고농도로 도핑된 다결정 실리콘으로 구성되는 전송 게이트;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 PMOSFET형 광검출기를 이용한 능동픽셀센서
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전송 게이트는:상기 바이어스 전압(VTX)이 양의 전압인 경우, 상기 PMOSFET형 광검출기의 채널 부분의 에너지 밴드를 하강시켜 광전류의 흐름을 억제하고,상기 바이어스 전압(VTX)이 음의 전압인 경우, 상기 PMOSFET형 광검출기의 채널 부분의 에너지 밴드를 상승시켜 상기 PMOSFET의 게이트를 통해 입사되는 광자의 개수에 비례하는 광전류를 발생시키는 것을 특징으로 하는 PMOSFET형 광검출기를 이용한 능동픽셀센서
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 능동픽셀센서는,상기 PMOSFET의 게이트를 통해 입사되는 광자의 개수가 많을수록 상기 전송게이트의 게이트로 상기 바이어스 전압(VTX)을 인가하는 시간을 다르게 하는 것을 특징으로 하는 PMOSFET형 광검출기를 이용한 능동픽셀센서
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