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이미지 센싱 장치 및 이미지 센싱 방법, 이미지 센서 및 그 센서의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015162047
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이미지 센싱 장치 및 이미지 센싱 방법, 이미지 센서 및 그 센서의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센싱 장치는 서로 다른 파장 대의 광을 수광하는 광센서가 복수의 단위 화소에 각각 구비되며, 단위 화소마다 수광한 광에 대한 신호를 출력하는 복수의 스위칭소자를 포함하는 화소부, 화소부에서 제공하는 서로 다른 파장 대의 광에 대한 신호를 변환하여 출력하는 신호 변환부, 및 변환한 신호를 이용하여 서로 다른 파장 대의 이미지를 생성해 표시하도록 제어하는 제어부를 포함하되, 광센서는, 제1 전극 내지 제3 전극을 포함하는 반도체 소자와, 반도체 소자 상에 증착되어 일체화되는 서로 다른 증착 물질에 의해 서로 다른 파장 대의 광을 각각 수광하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H04N 5/374 (2011.01) H01L 27/146 (2006.01)
CPC H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01) H01L 27/14607(2013.01)
출원번호/일자 1020120085917 (2012.08.06)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0019187 (2014.02.14) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.06)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 함성호 대한민국 대구광역시 수성구
2 이창주 대한민국 대구광역시 달서구
3 윤준연 대한민국 경상북도 고령군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이현수 대한민국 서울특별시 마포구 백범로 ***(신공덕동) 메트로디오빌빌딩 ****호(이현수상표특허법률사무소)
2 정홍식 대한민국 서울시 서초구 강남대로 *** 신덕빌딩 *층(나우특허법률사무소)
3 김태헌 대한민국 서울시 서초구 강남대로 *** 신덕빌딩 *층(나우특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-0627757-23
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0651869-46
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0932495-32
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0638446-78
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1025976-20
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1025979-67
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0190212-51
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.04.18 무효 (Invalidation) 7-1-2014-0014647-63
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 다른 파장 대의 광을 수광하는 광센서가 복수의 단위 화소에 각각 구비되며, 상기 단위 화소마다 상기 수광한 광에 대한 신호를 출력하는 복수의 스위칭소자를 포함하는 화소부;상기 화소부에서 제공하는 상기 서로 다른 파장 대의 광에 대한 신호를 변환하여 출력하는 신호 변환부; 및상기 변환한 신호를 이용하여 상기 서로 다른 파장 대의 이미지를 생성해 표시하도록 제어하는 제어부;를 포함하되,상기 광센서는,제1 전극 내지 제3 전극을 포함하는 반도체 소자와, 상기 반도체 소자 상에 증착되어 일체화되는 서로 다른 증착 물질에 의해 상기 서로 다른 파장 대의 광을 각각 수광하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 증착 물질은 상기 반도체 소자 상에 단결정 또는 다결정 상태로 증착되는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 증착 물질은 징크옥사이드(ZnO), 갈륨아세나이드(GaAs), 갈륨나이트라이드(GaN), 알루미늄 갈륨 나이트라이드(AlGaN) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 제1 전극 내지 제3 전극은 각각 게이트, 소스 및 드레인 전극이고,상기 광센서는, 상기 제1 전극 상에 형성되는 제1 도전패턴;상기 제2 전극과 상기 증착 물질을 연결하는 제2 도전패턴; 및상기 증착 물질과 접지를 연결하는 제3 도전패턴;을더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 복수의 스위칭소자는 제1 스위칭소자, 제2 스위칭소자, 및 제3 스위칭 소자를 포함하며,상기 제1 스위칭소자는 상기 광센서에 전원전압을 제공하고,상기 제2 스위칭소자 및 상기 제3 스위칭소자는 상기 광센서에 의해 검출된 신호를 상기 신호 변환부에 출력하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 신호 변환부는 아날로그의 상기 수광한 신호를 디지털 신호로 변환하여 출력하는 ADC(Analog Digital Converter)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 장치
7 7
제1 전극, 제2 전극 및 제3 전극을 포함하는 반도체 소자;상기 반도체 소자와 일체화되어 형성되며, 서로 다른 파장 대의 광을 수광하기 위한 증착 물질을 포함하는 광 수광부; 및상기 반도체 소자의 상기 제2 전극과 상기 증착 물질을 전기적으로 접속시키고, 상기 증착 물질을 접지에 전기적으로 접속시키는 복수의 도전패턴;을포함하는 이미지 센서
8 8
제7항에 있어서,상기 제1 전극 내지 상기 제3 전극은 각각 게이트, 소스 및 드레인 전극이고,상기 게이트 전극 상에 형성되며, 상기 게이트 전극에 전압을 인가하기 위한 도전패턴;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
9 9
제7항에 있어서,상기 반도체 소자는 컨택홀이 형성된 보호막을 포함하며,상기 복수의 도전패턴 중 하나의 도전패턴은 상기 컨택홀을 통해 상기 제2 전극과 상기 증착 물질을 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
10 10
제9항에 있어서,상기 광 수광부는 수납 형상을 가지며,상기 보호막은 상기 광 수광부와 동일 재질로 일체화되어 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
11 11
제7항에 있어서,상기 증착 물질은 상기 반도체 소자 상에 단결정 또는 다결정 상태로 증착되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
12 12
제9항에 있어서,상기 증착 물질은 징크옥사이드(ZnO), 갈륨아세나이드(GaAs), 갈륨나이트라이드(GaN), 알루미늄 갈륨 나이트라이드(AlGaN) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서
13 13
복수의 단위 화소에 각각 구비되는 광센서가 서로 다른 파장 대의 광을 각각 수광하고, 상기 수광한 광에 대한 신호를 출력하는 단계;상기 서로 다른 파장 대의 광에 대한 신호를 수신하여 상기 수신한 신호를 변환하여 출력하는 단계; 및 상기 변환한 신호를 이용하여 상기 서로 다른 파장 대의 이미지를 생성해 표시하도록 제어하는 단계;를 포함하되,상기 서로 다른 파장 대의 광을 각각 수광하는 단계는,상기 광센서에 포함되는 제1 전극 내지 제3 전극을 포함하는 반도체 소자와, 상기 반도체 소자 상에 증착되어 일체화되는 서로 다른 증착 물질에 의해 상기 서로 다른 파장 대의 광을 각각 수광하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 방법
14 14
제13항에 있어서,상기 단위 화소는 제1 스위칭소자 내지 제3 스위칭소자를 포함하며,상기 제1 스위칭소자의 턴-온시 상기 광센서에 전원전압이 제공되고,상기 제2 스위칭소자 및 상기 제3 스위칭소자의 턴-온시 상기 광센서에 검출된 신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 방법
15 15
제14항에 있어서,상기 제2 스위칭소자 및 상기 제3 스위칭소자는 동시에 턴-온 및 턴-오프 동작하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 방법
16 16
제13항에 있어서,상기 수신한 신호를 변환하여 출력하는 단계는,아날로그의 상기 수광한 신호를 디지털 신호로 변환하여 출력하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 방법
17 17
제13항에 있어서, 상기 수신한 신호를 변환하여 출력하는 단계는,상기 서로 다른 파장 대별로 신호를 순차적으로 출력하는 것을 특징으로 하는 이미지 센싱 방법
18 18
제1 전극, 제2 전극 및 제3 전극을 포함하는 반도체 소자를 형성하는 단계;서로 다른 파장 대의 광을 수광하는 증착 물질이 포함된 광 수광부를 상기 반도체 소자 상에 일체화시켜 형성하는 단계; 및 상기 반도체 소자의 상기 제2 전극과 상기 증착 물질을 전기적으로 접속하고, 상기 증착 물질을 접지시키는 복수의 도전패턴을 형성하는 단계;를포함하는 이미지 센서의 제조 방법
19 19
제18항에 있어서,상기 제1 전극 내지 상기 제3 전극은 각각 게이트, 소스 및 드레인 전극이고,상기 복수의 도전패턴을 형성하는 단계는,상기 게이트 전극에 전압을 인가하는 도전패턴을 상기 게이트 전극 상에 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조 방법
20 20
제18항에 있어서,상기 반도체 소자를 형성하는 단계는,컨택홀이 포함된 보호막을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 복수의 도전패턴 중 하나의 도전패턴은 상기 컨택홀을 통해 상기 제2 전극과 상기 증착 물질을 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조 방법
21 21
제18항에 있어서,상기 광 수광부는 수납 형상을 가지며,상기 보호막은 상기 광 수광부와 동일 재질로 일체화되어 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조 방법
22 22
제18항에 있어서,상기 증착 물질은 상기 반도체 소자 상에 단결정 또는 다결정 상태로 증착되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 경북대학교 산학협력단 선도연구센터지원 자외선 이미지 검출을 위한 GaN UV 센서 어레이 제작
2 교육과학기술부 경북대학교 산학협력단 일반연구자지원 좁은 트렌치를 이용한 3차원 MOSFET의 측면 소스/드레인 접촉기술 개발