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텐덤구조를 갖는 태양전지에 있어서,세척된 n타입 실리콘 기판의 하부에 배면전극용 금속막을 형성하고, 상기 n타입 실리콘 기판의 상부를 에칭물질을 이용하여 에칭한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 실리콘 층을 생성함으로써 형성되는 하부 pn접합 셀; 및상기 하부 pn접합 셀의 상부에 TCO(i-ZnO)를 증착하고 패턴을 형성하며, 상기 패턴 상에 Al이 도핑된 ZnO(Al:Zno)를 증착하여 형성되는 n타입 투명전극층, 그리고 상기 n타입 투명전극층의 상부에 CIGS 파우더를 도포한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 형성되는 p타입 CIGS 층으로 구성되며, 상기 p타입 CIGS 층의 상부에 그리드전극용 금속막이 증착된 상부 pn접합 셀을 포함하되, 상기 배면전극용 금속막, 상기 TCO(i-ZnO), 상기 Al이 도핑된 ZnO(Al:ZnO), 또는 상기 그리드전극용 금속막 중 어느 하나 이상은 스퍼터(Sputter), 스크린 프린터(Screen Printer), 또는 E-beam 장치 중 어느 하나를 이용하여 증착되는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 세척은 아세톤 또는 메탄올 중 어느 하나 이상을 사용하여 5 내지 20분간 초음파 세척하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 배면전극용 금속막은 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 에칭물질은 질산(HNO₃) 수용액 또는 불화수소(HF) 수용액 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 그리드전극용 금속막은 몰리브덴(Mo) 또는 은(Ag) 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 그리드전극용 금속막의 증착 시, 반사방지막을 함께 형성하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지
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텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법에 있어서,n타입 실리콘 기판을 세척 후, 증류수로 세정하는 제1단계;세정된 상기 n타입 실리콘 기판의 하부에 배면전극용 금속막을 스크린 프린팅(Screen Printing)하는 제2단계;상기 배면전극용 금속막이 형성된 상기 n타입 실리콘 기판의 상부를 에칭물질을 이용하여 에칭한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 실리콘 층을 생성함으로써 하부 pn접합 셀을 형성하는 제3단계; 상기 하부 pn접합 셀의 상부에 TCO(i-ZnO)를 증착하는 제4단계;증착된 상기 TCO(i-ZnO) 상에 상기 에칭물질을 상기 스크린 프린팅하고, 증류수로 세척하여 패턴을 형성하는 제5단계;상기 패턴 상에 Al이 도핑된 ZnO(Al:Zno)를 증착하여 상부 pn접합 셀의 n타입 투명전극층을 형성하는 제6단계;상기 n타입 투명전극층의 상부에 CIGS 파우더를 도포한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 CIGS 층을 형성하는 제7단계; 및상기 p타입 CIGS 층의 상부에 그리드전극용 금속막을 증착하는 제8단계를 포함하되, 상기 배면전극용 금속막, 상기 TCO(i-ZnO), 상기 Al이 도핑된 ZnO(Al:ZnO), 또는 상기 그리드전극용 금속막 중 어느 하나 이상은 스퍼터(Sputter), 스크린 프린터(Screen Printer), 또는 E-beam 장치를 이용하여 증착되는 텐덤구조를 갖는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 제1단계에서상기 세척은 아세톤 또는 메탄올 중 어느 하나 이상을 사용하여 5 내지 20분간 초음파 세척하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 배면전극용 금속막은 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 에칭물질은 질산(HNO₃) 수용액 또는 불화수소(HF) 수용액 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 그리드전극용 금속막은 몰리브덴(Mo) 또는 은(Ag) 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 제8단계에서상기 그리드전극용 금속막의 증착 시, 반사방지막을 함께 형성하는 것을 특징으로 하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법
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