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선택적인금속도금법을이용한가속도센서및진동센서의질량제조방법

  • 기술번호 : KST2015223573
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질량의 제조방법에 관한 것으로서, 금속실리사이드를 이용하여 시리콘기판과 진동질량층 사이의 접착력을 개선하고, 전기 도금시 심각한 장애가 되는 포토레지스트 찌꺼기(scum)을 제거하기 위하여 스핀온형(spin-on type)포토레지스트(photo-resist)와 드라이 필름 포토레지스트(dry filim photo-resist)를 다층으로 형성시켜 선택적으로 금속을 전기도금(Electro-Plating)함으로써 원하는 부분에 정확한 질량을 선택적으로 용이하게 제조할 수 있고 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기에 편리한 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량제조방법이다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01)
CPC H01L 29/84(2013.01) H01L 29/84(2013.01) H01L 29/84(2013.01) H01L 29/84(2013.01) H01L 29/84(2013.01) H01L 29/84(2013.01)
출원번호/일자 1019930029500 (1993.12.24)
출원인 대한민국경북대학교센서기술연구소, 만도기계 주식회사
등록번호/일자 10-0122624-0000 (1997.09.06)
공개번호/일자 10-1995-0021042 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 1019970008893 (19970530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국경북대학교센서기술연구소 대한민국 대구광역시 북구
2 만도기계 주식회사 대한민국 경기도 군포시 군포로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 대구직할시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍재일 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (삼성동) 삼영빌딩 *층(홍앤홍국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147819-60
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147821-52
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147820-17
4 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1995.02.11 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147822-08
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070561-96
6 등록사정서
Decision to grant		 1997.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070562-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.04 수리 (Accepted) 4-1-1999-0028808-10
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번호 청구항
1 1

세척한 실리콘기판(1)상에 Ni막을 증착시킨 후 포토레지스트를 도포하여 Ni패턴(2)을 정의한 후 RTP(rapid thermal processing)방법으로 어닐링(anealing)하여 니켈실리사이드(3)를 형성하며, 이어 스핀온형(spin-on type) 포토레지스트(photo-resist)(4)로 질량패들(mass paddle) 영역을 정의한 다음 하드베이크(hard bake)한 후 상기 포토레지스트(4) 위에 2차에 걸쳐 드라이 필름 포토레지스트(5,6)를 형성하여 질량패들영역을 정의하며, 계속하여 상기 니켈 실리사이드(3)상의 니켈산화층을 NH4OH등으로 제거한 후 금속도금 장치를 이용하여 전해 혹은 무전해 전기도금방법에 의한 밀도와 두께의 정확한 제어하에 니켈전기도금으로 진동질량(7)을 형성하여 다층 드라이 필름 포토레지스트(5,6)와 포지포토레지스터(4)를 제거함으로써 원하는 부분에 정확한 질량을 선택적으로 용이하게 형성시킬 수 있고 하나의 칩 위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기에 편리한 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

2 2

제1항에 있어서, 니켈실리사이드(3)가 NiSi막 또는 NiSi2막인 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동센서의 질량제조방법

3 3

제2항에 있어서, 니켈실리사이드(3)를 어닐링하는 온도가 350℃~750℃인 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동센서의 질량제조방법

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1 JP02828914 JP 일본 FAMILY
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3 KR1019960003957 KR 대한민국 FAMILY
4 KR1019960012898 KR 대한민국 FAMILY
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6 US05905044 US 미국 FAMILY

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1 JP2828914 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP7280829 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH07280829 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US5905044 US 미국 DOCDBFAMILY
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