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광을 발생시키는 광원부;상기 광원부로부터 발생된 광의 일부를 부분 반사시켜, 제1 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제1 경로 간섭부; 및상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 입력받고, 상기 입력된 광들 중 일부를 부분 반사시켜 상기 제1 지연시간만큼 지연된 광과 제2 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제2 경로 간섭부를 포함하되,상기 제1 지연시간과 상기 제2 지연시간의 차이는 상기 광원부의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제1항에 있어서,상기 광원부는 상기 광의 파장을 주기적으로 스캔하여 파장을 가변시켜 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제1항에 있어서, 상기 제1 경로 간섭부는 상기 광원부로부터 발생된 광들 중 일부를 반사하기 위한 제1 부분 반사막; 및상기 제1 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 샘플로 입사시키기 위한 제1 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제4항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부는상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들 중 일부를 반사시키는 제2 부분 반사막; 및상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 반사하기 위한 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제5항에 있어서, 상기 제2 부분 반사막과 상기 반사막의 사이에 배치되어, 상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 상기 반사막으로 전달하기 위한 제2 대물렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제5항에 있어서, 상기 제1 부분 반사막은 상기 제1 경로 간섭부로부터 방출하는 광들이 상기 제1 지연시간을 갖도록 상기 샘플로부터 제1 거리만큼 이격되도록 배치되고,상기 제2 부분 반사막은 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광들이 상기 제2 지연시간을 갖도록 상기 반사막으로부터 제2 거리만큼 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제7항에 있어서, 상기 제1 거리와 상기 제2 거리의 차이는 상기 광원부의 가간섭거리(coherence length)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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광을 발생시키는 광원부;상기 광원부로부터 발생된 광의 일부를 샘플에 입사되기 전에 부분 반사시켜, 제1 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제1 경로 간섭부;상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 입력받고, 상기 입력된 광들 중 일부를 부분 반사시켜 상기 제1 지연시간만큼 지연된 광과 제2 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제2 경로 간섭부; 및상기 제2 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 감지하기 위한 감지부를 포함하되,상기 제1 지연시간과 상기 제2 지연시간의 차이는 상기 광원부의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서,상기 광원부는 상기 광의 파장을 주기적으로 스캔하여 파장을 가변시켜 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제1 경로 간섭부는 상기 광원부로부터 발생된 광들 중 일부를 반사하기 위한 제1 부분 반사막; 및상기 제1 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 상기 샘플로 입사시키기 위한 제1 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부는상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들 중 일부를 반사시키는 제2 부분 반사막; 및상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 반사하기 위한 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광들을 감지하고, 상기 광들의 위상 변화를 측정하기 위한 스펙트로미터(spectrometer)인 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 광원부와 상기 제1 경로 간섭부의 사이에 배치되고, 상기 광원부로부터 발생된 광의 파장을 주기적으로 스캔하며 파장을 가변시키는 가변 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부와 상기 감지부의 사이에 배치되고, 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광의 파장을 주기적으로 스캔하며 파장을 가변시키는 가변 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 광원부와 상기 제1 경로 간섭부의 사이에 위치하여 상기 광원부로부터 발생된 광을 상기 제1 경로 간섭부로 전달하고 상기 제1 경로 간섭부로부터 방출되는 광을 상기 제2 경로 간섭부로 전달하기 위한 제1 서큘레이터(circulator); 및상기 제1 서큘레이터와 상기 제2 경로 간섭부의 사이에 위치하여 상기 제1 서큘레이터로부터 전달받은 광을 상기 제2 경로 간섭부로 전달하고 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광을 상기 감지부로 전달하기 위한 제2 서큘레이터(circulator)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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