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부분 반사를 이용한 간섭 시스템 및 측정 시스템

  • 기술번호 : KST2015227381
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 간섭 신호의 위상 변화를 측정하여 나노미터(㎚) 급의 해상도를 갖는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템 및 측정 시스템으로서, 광을 발생시키는 광원부, 광원부로부터 발생된 광의 일부를 부분 반사시켜, 제1 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제1 경로 간섭부, 및 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 입력받고, 입력된 광들 중 일부를 부분 반사시켜 제1 지연시간만큼 지연된 광과 제2 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제2 경로 간섭부를 포함한다. 따라서 입력된 광의 일부를 부분 반사시키는 경로 간섭부를 순차적으로 배열하여 광의 간섭 길이에 관계없이 광의 위상 변화를 측정함으로써, 고배율의 대물렌즈를 사용할 수 있으며, 고해상도를 구현할 수 있다. 간섭, 부분 반사, 부분 반사막, 가간섭시간(coherence time), 가간섭거리(coherence length), 경로 간섭부
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 9/025 (2006.01) G01B 9/04 (2006.01) G02B 27/14 (2006.01)
CPC G01B 9/025(2013.01) G01B 9/025(2013.01) G01B 9/025(2013.01) G01B 9/025(2013.01) G01B 9/025(2013.01) G01B 9/025(2013.01)
출원번호/일자 1020090134224 (2009.12.30)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1112144-0000 (2012.01.27)
공개번호/일자 10-2011-0077598 (2011.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20120214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110139424;
심사청구여부/일자 Y (2009.12.30)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재석 대한민국 경상남도 김해시
2 김창석 대한민국 부산광역시 남구
3 정명영 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0817088-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0021107-49
4 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0449977-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0349005-87
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0654212-51
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0748240-56
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0831756-28
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0932768-67
10 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2011.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0111681-08
11 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2011.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-1019743-34
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-1019276-13
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1019280-07
14 등록결정서
Decision to grant
2012.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0042030-97
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 발생시키는 광원부;상기 광원부로부터 발생된 광의 일부를 부분 반사시켜, 제1 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제1 경로 간섭부; 및상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 입력받고, 상기 입력된 광들 중 일부를 부분 반사시켜 상기 제1 지연시간만큼 지연된 광과 제2 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제2 경로 간섭부를 포함하되,상기 제1 지연시간과 상기 제2 지연시간의 차이는 상기 광원부의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 광원부는 상기 광의 파장을 주기적으로 스캔하여 파장을 가변시켜 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 경로 간섭부는 상기 광원부로부터 발생된 광들 중 일부를 반사하기 위한 제1 부분 반사막; 및상기 제1 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 샘플로 입사시키기 위한 제1 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
5 5
제4항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부는상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들 중 일부를 반사시키는 제2 부분 반사막; 및상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 반사하기 위한 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
6 6
제5항에 있어서, 상기 제2 부분 반사막과 상기 반사막의 사이에 배치되어, 상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 상기 반사막으로 전달하기 위한 제2 대물렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
7 7
제5항에 있어서, 상기 제1 부분 반사막은 상기 제1 경로 간섭부로부터 방출하는 광들이 상기 제1 지연시간을 갖도록 상기 샘플로부터 제1 거리만큼 이격되도록 배치되고,상기 제2 부분 반사막은 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광들이 상기 제2 지연시간을 갖도록 상기 반사막으로부터 제2 거리만큼 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
8 8
제7항에 있어서, 상기 제1 거리와 상기 제2 거리의 차이는 상기 광원부의 가간섭거리(coherence length)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
9 9
광을 발생시키는 광원부;상기 광원부로부터 발생된 광의 일부를 샘플에 입사되기 전에 부분 반사시켜, 제1 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제1 경로 간섭부;상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 입력받고, 상기 입력된 광들 중 일부를 부분 반사시켜 상기 제1 지연시간만큼 지연된 광과 제2 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 제2 경로 간섭부; 및상기 제2 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 감지하기 위한 감지부를 포함하되,상기 제1 지연시간과 상기 제2 지연시간의 차이는 상기 광원부의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
10 10
제9항에 있어서,상기 광원부는 상기 광의 파장을 주기적으로 스캔하여 파장을 가변시켜 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 간섭 시스템
11 11
삭제
12 12
제9항에 있어서, 상기 제1 경로 간섭부는 상기 광원부로부터 발생된 광들 중 일부를 반사하기 위한 제1 부분 반사막; 및상기 제1 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 상기 샘플로 입사시키기 위한 제1 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
13 13
제9항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부는상기 제1 경로 간섭부로부터 방출된 광들 중 일부를 반사시키는 제2 부분 반사막; 및상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 반사하기 위한 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
14 14
제9항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광들을 감지하고, 상기 광들의 위상 변화를 측정하기 위한 스펙트로미터(spectrometer)인 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
15 15
제9항에 있어서, 상기 광원부와 상기 제1 경로 간섭부의 사이에 배치되고, 상기 광원부로부터 발생된 광의 파장을 주기적으로 스캔하며 파장을 가변시키는 가변 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
16 16
제9항에 있어서, 상기 제2 경로 간섭부와 상기 감지부의 사이에 배치되고, 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광의 파장을 주기적으로 스캔하며 파장을 가변시키는 가변 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
17 17
제9항에 있어서, 상기 광원부와 상기 제1 경로 간섭부의 사이에 위치하여 상기 광원부로부터 발생된 광을 상기 제1 경로 간섭부로 전달하고 상기 제1 경로 간섭부로부터 방출되는 광을 상기 제2 경로 간섭부로 전달하기 위한 제1 서큘레이터(circulator); 및상기 제1 서큘레이터와 상기 제2 경로 간섭부의 사이에 위치하여 상기 제1 서큘레이터로부터 전달받은 광을 상기 제2 경로 간섭부로 전달하고 상기 제2 경로 간섭부로부터 방출되는 광을 상기 감지부로 전달하기 위한 제2 서큘레이터(circulator)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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1 지식경제부 부산대학교 IT산업원천기술개발사업 분광학 기반 생체정보탐색용 신개념 레이저 연구