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프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터에 있어서, 입사면, 반사면 및 출사면을 구비하며, 입사면으로 수직 입사된 적외선을 분광시켜 출사시키도록 구성된 프리즘 구조체;상기 프리즘 구조체의 입사면으로 적외선이 수직으로 입사되도록 구성된 적외선 입사구;상기 프리즘 구조체의 출사면으로부터 분광되어 출사된 적외선의 광경로 길이를 확장시키도록 구성된 광경로 확장부;상기 광경로 확장부의 말단에 위치하여, 각 파장별 적외선을 검출할 수 있도록 한 볼로미터 적외선 검출기;를 구비하고, 상기 적외선 스펙트로미터는 상부 기판, 중부 기판 및 하부 기판이 순차적으로 적층되어 결합된 적층구조로 형성된 것을 특징으로 하며,상기 상부 기판은 상기 적외선 입사구 및 제1 반사막을 구비하고,상기 중부 기판은 상기 프리즘 구조체 및 관통부를 구비하고,상기 하부 기판은 볼로미터 적외선 검출기 및 제2 반사막을 구비하고,상기 광경로 확장부는 상기 상부 기판의 하부 표면에 형성된 제1 반사막, 상기 중부 기판에 형성된 관통부 및 상기 하부 기판의 상부 표면에 형성된 제2 반사막에 의해 형성되어, 적외선 입사구로 입사된 적외선이 프리즘 구조체에 의해 분광된 후 광경로 확장부에 의해 광경로 길이가 증가되어 볼로미터 적외선 검출기로 제공되도록 하여 적외선을 검출할 수 있도록 한 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터
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제1항에 있어서, 상기 프리즘 구조체는 실리콘으로 이루어지며, 입사면으로 수직 입사된 적외선이 반사면에 의해 전반사되도록 구성된 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터
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제1항에 있어서, 상기 광경로 확장부는 내부 표면에 광반사물질이 도포되어 형성된 상기 제1 반사막 및 제2 반사막에 이루어지는 채널 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터
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제1항에 있어서, 상기 상부 기판, 중부 기판 및 하부 기판은 모두 서로 대응되는 위치에 각각 제1, 제2 및 제3 정렬용 마크들을 구비하는 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터
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제1항에 있어서, 상기 하부 기판의 하부 표면 중 볼로미터 적외선 검출기에 대응되는 영역은 식각하여 방열 특성을 향상시킨 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터
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(a) 제1 기판의 소정 영역을 식각하여 적외선 입사구를 형성하고, 제1 기판의 표면에 광반사물질을 도포하여 제1 반사막을 형성하여, 상부 기판을 제작하는 단계;(b) 제2 기판의 소정 영역을 식각하여 프리즘 구조체를 형성하고, 광경로 확장부가 될 영역을 식각하여 관통부를 형성하여, 중부 기판을 제작하는 단계;(c) 제3 기판의 상부 표면 중 광경로 확장부에 대응되는 영역에 광반사물질을 도포하여 제2 반사막을 형성하고, 상기 광경로 확장부의 단부에 대응되는 위치에 볼로미터 적외선 검출기를 형성하여, 하부 기판을 제작하는 단계; 및(d) 상부 기판, 중부 기판 및 하부 기판을 순서대로 적층시켜 결합하는 단계; 를 구비하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 적외선 스펙트로미터의 제조 방법은 상기 상부, 중부 및 하부 기판의 소정 영역들을 식각하여 각각 정렬용 마크를 위한 관통구들을 형성하는 단계들을 더 구비하고, 상부, 중부 및 하부 기판을 적층시켜 결합시 상기 정렬용 마크들이 서로 일치되도록 정렬시켜 결합하는 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 (c) 단계는 제3 기판의 하부 표면 중 볼로미터 적외선 검출기에 대응되는 영역을 식각하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 (b) 단계는, 제2 기판에서 프리즘 구조체의 반사면과 출사면에 해당하는 영역을 비등방성 식각하여 프리즘 구조체를 완성함과 동시에, 광경로 확장부가 될 영역도 함께 식각하여 관통부를 형성하는 것을 특징으로 하는 프리즘 방식의 적외선 스펙트로미터의 제조 방법
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