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표면 형상 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014048819
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 표면 형상 측정 장치는 구조물 바로 앞에 규칙적인 무늬를 가진 격자를 두고 한 쪽에서 자외선 광원을 조사하고, 자외선 카메라로 자외선 광원에 의해 격자의 그림자가 구조물의 형상에 따라서 형성되는 모아레 패턴을 촬영하여 이를 분석하여 표면 형상을 측정한다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01B 11/25 (2006.01)
CPC G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01)
출원번호/일자 1020100133869 (2010.12.23)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1246350-0000 (2013.03.15)
공개번호/일자 10-2012-0072087 (2012.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130321) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한창운 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 이에이텍 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0853783-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2012-0027765-35
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0486527-67
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0860037-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0860038-79
7 등록결정서
Decision to grant
2013.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0142998-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구조물의 표면 형상을 측정하는 장치에 있어서, 규칙적인 무늬를 가지며 상기 구조물 앞에 장착되는 격자, 자외선 영역의 빛을 상기 격자 및 구조물에 수직 방향으로 조사하는 자외선 광원, 자외선 광원에 의해 격자의 그림자가 구조물의 형상에 따라서 형성되는 모아레 패턴을 촬영하는 자외선 카메라, 그리고 상기 모아레 패턴을 분석하여 상기 구조물의 표면 형상을 측정하는 측정부를 포함하며, 상기 구조물은 반사면을 가진 표면 형상 측정 장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 측정부는 상기 격자의 피치를 조절하여 측정 해상도를 제어하는 표면 형상 측정 장치
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표면 형상 측정 장치에서 구조물의 표면 형상을 측정하는 방법에 있어서, 규칙적인 무늬를 가진 격자를 앞에 둔 구조물에 자외선 광원을 수직 방향으로 조사하는 단계, 자외선 광원에 의해 상기 격자의 그림자가 상기 구조물의 형상에 따라서 형성되는 모아레 패턴을 촬영하는 단계, 그리고 상기 모아레 패턴을 분석하여 상기 구조물의 표면 형상을 측정하는 단계를 포함하며, 상기 구조물은 반사면을 가진 표면 형상 측정 방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 전자부품연구원 부품·소재 신뢰성기반기술 확산사업 태양전지 모듈의 신뢰성 향상