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초크랄스키 단결정 회분 반응 공정에서, 성장될 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 길이에 따른 타겟인장속도를 설정하는 단계;상기 설정된 타겟인장속도를 위한 넥, 숄더 및 바디의 길이에 따른 용융로의 온도설계값을 설정하는 단계;상기 설정된 온도변수 값에 따라 초크랄스키 단결정 회분 반응 공정을 수행한 후 성장된 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 길이에 따른 실제인장속도 값을 얻는 단계;상기 타겟인장속도와 상기 실제인장속도의 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 차이를 오류값으로서 얻는 단계로서, 상기 오류값()은 아래 수식을 통해 구함을 특징으로 하는 오류값을 얻는 단계; 및이후 차수의 초크랄스키 단결정 회분 반응 공정에서 타겟인장속도를 위한 용융로의 온도설계값의 설정시 상기 오류값을 반영한 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 앞먹임 온도설계값을 설정하는 단계로서, 상기 앞먹임 온도설계값()은 아래 수식을 통해 구함을 특징으로 하는 온도설계값을 설정하는 단계를 포함하는,초크랄스키(Czochralski) 단결정 성장로 공정에서 온도 설계 방법: 여기서, 는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도 간의 차이에 따른 통합길이 에서 앞먹임 온도설계값 변경을 통해 제거되어야할 평균인장속도 오류값이며;는 순간의 제어에러로부터 평균제어에러를 계산하기 위한 가중치이고, 와 는 각각 공정의 길이상수와 길이지연상수이며, 와 는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도이고,는 번째 회분의 통합길이 에서의 앞먹임 온도설계치이고,는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도 간의 차이에 따른 통합길이 에서 앞먹임 온도설계값 변경을 통해 제거되어야할 평균인장속도 오류값이며,와 는 각각 비례이득 적분길이와 미분길이로서 튜닝파라미터이고, 는 정상상태에서 온도설계치 변화량에 대한 인장속도 변화량이다
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제1항에 있어서,상기 실제 인장속도를 다항식(polynomial) 필터 또는 로패스(low-pass) 필터를 사용하여 노이즈를 제거함을 특징으로 하는,초크랄스키(Czochralski) 단결정 성장로 공정에서 온도 설계 방법:
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제1항에 있어서, 상기 앞먹임 온도설계치를 다항식 필터나 로패스 필터를 사용하여 변화값의 크기를 줄이거나, 부족한 데이터는 외삽을 이용하여 채움을 특징으로 하는,초크랄스키(Czochralski) 단결정 성장로 공정에서 온도 설계 방법
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제1항의 초크랄스키 단결정 성장로 공정에서의 온도 설계를 위한 초크랄스키(Czochralski) 단결정 성장로 공정 온도 제어 장치로서, 초크랄스키 단결정 회분 반응 공정에서, 미리 설정된 성장될 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 타겟인장속도를 위한 성장될 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 용융로의 온도설계값을 설정하는 온도설계값 연산부; 상기 설정된 온도변수 값에 따라 초크랄스키 단결정 회분 반응 공정을 수행한 후 성장된 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 실제인장속도 값을 얻는 실제인장속도 측정부; 상기 타겟인장속도와 상기 실제인장속도의 잉곳의 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 차이를 오류값으로 얻는 오류값 연산부로서, 상기 오류값()은 아래 수식을 통해 구함을 특징으로 하는 오류값을 얻는 오류값 연산부; 및이후 차수의 초크랄스키 단결정 회분 반응 공정에서 타겟인장속도를 위한 용융로의 온도설계값의 설정시 상기 오류값을 반영한 넥, 숄더 및 바디의 통합길이에 따른 앞먹임 온도설계값을 설정하는 앞먹임 온도설계값 연산부로서, 상기 앞먹임 온도설계값()은 아래 수식을 통해 구함을 특징으로 하는 온도설계값 연산부를 포함하는,초크랄스키(Czochralski) 단결정 성장로 공정 온도 제어 장치:여기서, 는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도 간의 차이에 따른 통합길이 에서 앞먹임 온도설계값 변경을 통해 제거되어야할 평균인장속도 오류값이며;는 순간의 제어에러로부터 평균제어에러를 계산하기 위한 가중치이고, 와 는 각각 공정의 길이상수와 길이지연상수이며, 와 는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도이고,는 번째 회분의 통합길이 에서의 앞먹임 온도설계치이고,는 번째 회분의 통합길이 에서의 타겟인장속도와 실제인장속도 간의 차이에 따른 통합길이 에서 앞먹임 온도설계값 변경을 통해 제거되어야할 평균인장속도 오류값이며,와 는 각각 비례이득 적분길이와 미분길이로서 튜닝파라미터이고, 는 정상상태에서 온도설계치 변화량에 대한 인장속도 변화량이다
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