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초크랄스키 공정에서의 단결정 성장로의 잉곳의 회전 주기()의 배수()를 셔터속도로 정하여 잉곳의 영상을 얻는 단계로서, 상기 영상을 얻는 단계를 통해 상기 잉곳의 노드에 의한 스파이크성 노이즈를 없애는 단계;상기 잉곳의 영상으로부터 잉곳의 시간에 따른 직경() 값을 구하는 단계; 및아래의 다항 모델 식 및 최소자승법을 이용하여, 의 값을 구하고 이를 잉곳의 직경으로 함을 포함하는,단결정 성장로의 잉곳 직경 측정 방법:, , , 여기서, 는 현재 시간, 은 모델링을 위해 사용되는 데이터 범위로서 상기 회전 주기의 배수, 는 회전주기, 는 다항 모델 식에 의해 계산된 출력 직경(output diameter)을 나타낸다
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제1항에 있어서,잉곳의 영상을 얻는 단계는,잉곳의 회전 주기를 측정하고, 측정된 회전주기의 배수로 셔터속도를 설정하거나, 측정된 회전주기의 배수로 상기 영상의 이미지 프레임을 평균함을 포함하는,단결정 성장로의 잉곳 직경 측정 방법
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초크랄스키 공정에서의 단결정 성장로의 잉곳의 회전 주기의 배수를 셔터속도로 하여, 상기 잉곳의 노드에 의한 스파이크성 노이즈를 없애도록 구성된, 잉곳의 영상을 얻는 영상촬영부;상기 잉곳의 영상으로부터 잉곳의 시간에 따른 직경() 값을 구하고, 상기 직경()값을 아래의 다항 모델 식의 최적화 문제를 최소자승법을 이용하여, 의 값을 구하고 이를 잉곳의 직경으로 함는 연산부를 포함하는,단결정 성장로의 잉곳 직경 측정 장치:, , , 여기서, 는 현재 시간, 은 모델링을 위해 사용되는 데이터 범위로서 상기 회전 주기의 배수, 는 회전주기, 는 다항 모델 식에 의해 계산된 출력 직경(output diameter)을 나타낸다
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제3항에 있어서,상기 영상촬영부는:잉곳의 회전 주기를 측정하는 주기 측정수단과, 측정된 회전주기의 배수로 셔터속도를 설정하거나 회전주기의 배수만큼 이미지 프레임을 평균하여 잉곳을 촬영하는 영상촬영수단을 포함하는,단결정 성장로의 잉곳 직경 측정 장치
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