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내부에 소정의 액체를 수용하고 그 표면에 파티클이 패터닝된 박막이 상기 액체의 표면에 띄워지는 용기;상기 용기 내부의 액체를 가열하는 가열부;상기 액체의 표면에 띄워진 박막을 서로 다른 촬영 위치에서 촬영하여 한 쌍의 이미지를 획득하는 촬영부; 및상기 가열부에 의해 가열되는 액체의 온도 변화에 따라 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지로부터 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리 변화율을 구하고, 상기 깊이값과 상기 거리 변화율을 기초로 상기 박막의 열팽창 계수와 유리전이 온도를 산출하는 제어부;를 포함하고, 상기 파티클이 패터닝된 박막은, 상기 박막 위에 소량의 파티클을 얹은 후 바람을 불어 물리적 흡착이 이루어지지 않은 상기 파티클들을 제거하고, 물리적 흡착이 이루어진 상기 파티클로 형성되고,상기 제어부는, 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지마다 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 구하고, 상기 구한 깊이값에 따라 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 보정하며, 상기 보정된 거리와 미리 설정한 기준 거리를 이용하여 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 상기 거리 변화율을 구하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 촬영부는,상기 액체의 표면에 띄워진 박막을 제1 촬영 위치에서 촬영하는 제1 촬영부; 및상기 제1 촬영부와 소정 거리 이격되고, 상기 박막을 제2 촬영 위치에서 촬영하는 제2 촬영부;를 포함하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제2항에 있어서,상기 제1 촬영부는 제1 촬영 각도로 상기 박막을 촬영하고, 상기 제2 촬영부는 제2 촬영 각도로 상기 박막을 촬영하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 소정의 액체는 미리 정해진 기준치보다 높은 표면 장력과 끓는점을 가진 친수성 액체인, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 소정의 액체는 글리세롤인, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 획득된 이미지 내 상기 박막의 표면에 패터닝된 적어도 한 쌍의 파티클 간의 거리 변화율을 구하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 용기 내부의 액체의 온도를 측정하는 센서부;를 더 포함하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 액체의 표면에 띄운 적어도 하나의 박막에 접촉하여 상기 박막의 위치를 고정시키기 위한 적어도 하나의 고정부;를 더 포함하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제9항에 있어서,상기 고정부는 PI(Polyimide) 테이프인, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 용기의 측면에 배치되어 상기 용기 내부의 액체가 가열됨에 따라 상기 액체로부터 발생하는 증기를 외부로 밀어내기 위한 바람을 발생시키는 송풍기;를 더 포함하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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제1항에 있어서,상기 용기의 상부에 배치되어 상기 액체의 표면에 띄워진 박막에 광을 조사하는 발광부;를 더 포함하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 장치
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그 표면에 파티클이 패터닝된 박막을 용기 내부에 수용된 소정의 액체의 표면에 띄우는 박막 준비 단계;상기 용기 내부의 액체를 가열부로 가열하는 가열 단계;상기 액체의 표면에 띄워진 박막을 촬영부로 서로 다른 촬영 위치에서 촬영하여 한 쌍의 이미지를 획득하는 이미지 획득 단계; 및상기 가열부에 의해 가열되는 물의 온도 변화에 따라 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지로부터 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리 변화율을 구하고, 상기 깊이값과 상기 거리 변화율을 기초로 상기 박막의 열팽창 계수와 유리전이 온도를 산출하는 산출 단계;를 포함하고, 상기 박막 준비 단계에서는,기판 위에 형성된 박막을 임시 용기 내부에 수용된 물의 표면에 띄우고,상기 물의 표면에 띄운 박막을 상기 용기 내부에 수용된 액체의 표면으로 전사시켜 상기 액체의 표면에 상기 박막을 띄우며,상기 액체의 표면에 띄워진 상기 박막의 표면에 미세한 크기의 파티클을 패터닝하며, 상기 파티클이 패터닝된 박막은, 상기 박막 위에 소량의 파티클을 얹은 후 바람을 불어 물리적 흡착이 이루어지지 않은 상기 파티클들을 제거하고, 물리적 흡착이 이루어진 상기 파티클로 형성되고,상기 산출하는 단계에서는, 상기 촬영부에 의해 획득된 한 쌍의 이미지마다 상기 박막의 깊이값과 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 구하고, 상기 구한 깊이값에 따라 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 거리를 보정하며, 상기 보정된 거리와 미리 설정한 기준 거리를 이용하여 상기 박막의 표면에 패터닝된 파티클 간의 상기 거리 변화율을 구하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 방법
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제13항에 있어서,상기 박막 준비 단계에서는,상기 파티클이 패터닝된 박막을 촬영하여 기준 이미지를 획득하고 상기 획득된 기준 이미지 내 패터닝된 적어도 한 쌍의 파티클을 특정하여 그 사의 거리를 기준 거리로 미리 설정하는, 박막의 열기계적 물성을 측정하기 위한 방법
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