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다음을 포함하는 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩:
기판;
상기 기판에 형성된 알루미늄 박막층;
상기 알루미늄 박막층 상부에 형성되어 있고, 일정한 간격으로 배열된 다수의 기공을 포함하는 다공성 산화 알루미늄 박막층; 및
상기 다공성 산화 알루미늄 박막층 상부에 형성된 LSPR(Localized Surface Plasmon Resonance)을 나타내는 금속박막층
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제1항에 있어서, 상기 기판은 유리, 폴리스티렌(polystyrene), PET(polyethylene terephthalate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 실리콘(silicon) 및 석영으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제1항에 있어서, 상기 기판의 두께는 0
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제1항에 있어서, 상기 알루미늄 박막층의 두께는 30nm~30㎛인 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제1항에 있어서, 상기 다공성 산화 알루미늄 박막층의 두께는 10nm~10㎛인 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제1항에 있어서, 상기 다공성 산화 알루미늄 박막층의 기공의 직경은 30nm~300nm인 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제1항에 있어서, 상기 금속박막층의 금속은 금, 은, 동, 알루미늄, 백금, 니켈, 아연 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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8
제1항에 있어서, 상기 금속박막층의 두께는 1nm~50nm인 것을 특징으로 하는 바이오칩
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제1항에 있어서, 상기 다공성 산화 알루미늄 박막층과 금속박막층 사이에 중간 금속박막층을 추가로 포함하는 바이오칩
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제9항에 있어서, 상기 중간 금속박막층의 금속은 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 니켈(Ni) 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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11
제9항에 있어서, 상기 중간 금속박막층의 두께는 3nm~7nm인 것을 특징으로 하는 바이오칩
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다음의 단계를 포함하는 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩의 제조방법:
(a) 기판에 알루미늄 박막층을 형성시키는 단계;
(b) 상기 알루미늄 박막층에 양극 산화 처리에 의해 다공성 산화 알루미늄 박막층을 형성하는 단계; 및
(c) 상기 다공성 산화 알루미늄 박막층 상부에 LSPR(Localized Surface Plasmon Resonance)을 나타내는 금속박막층을 형성시키는 단계
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제12항에 있어서, 상기 (a)단계에서 알루미늄 박막층은 스파터법, 증착법, 이온 플레이팅법, 전기도금법 및 무전기도금법으로 구성된 군에서 선택되는 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
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제12항에 있어서, 상기 (b)단계는 양극산화 처리는 2회 실시되는 것을 특징으로 하는 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 (b)단계에서 다공성 산화 알루미늄 박막층의 두께는 양극산화 처리에 소요되는 시간에 비례하는 것을 특징으로 하는 방법
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제12항에 있어서, 상기 (c)단계에서 금속박막층은 스파터법, 증착법, 이온 플레이팅법, 전기도금법 및 무전기도금법으로 구성된 군에서 선택되는 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
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17
제12항에 있어서, 상기 (c)단계 이전에 중간 금속박막층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 방법
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다음의 단계를 포함하는 비표지 광학 바이오센서의 제조방법:
(a) 기판에 알루미늄 박막층을 형성시키는 단계;
(b) 상기 알루미늄 박막층에 양극 산화 처리에 의해 다공성 산화 알루미늄 박막층을 형성하는 단계;
(c) 상기 다공성 산화 알루미늄 박막층 상부에 LSPR(Localized Surface Plasmon Resonance)을 나타내는 금속박막층을 형성시키는 단계; 및
(d) 상기 금속박막층 상부에 하나 이상의 바이오리셉터를 고정화시키는 단계
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 금속 증착형 다공성 산화 알루미늄 바이오칩의 금속박막층에 하나 이상의 바이오리셉터가 고정화되어 있는 것을 특징으로 하는 비표지 광학 바이오센서
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제19항에 있어서, 상기 바이오리셉터는 호르몬, DNA, PNA, 효소 및 세포로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 비표지 광학 바이오센서
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제19항에 있어서, 상기 바이오리셉터는 물리적 흡착 또는 화학결합에 의해 금속박막층에 고정화되어 있는 것을 특징으로 하는 비표지 광학 바이오센서
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제19항에 따른 하나 이상의 바이오리셉터가 고정화되어 있는 비표지 광학 바이오센서와 표적 바이오물질 또는 후보 표적 바이오물질을 포함한 시료를 접촉시킨 후, 입사광을 조사하고 상기 입사광의 반사광에 대한 흡수 스펙트럼을 분석하여, 상기 바이오리셉터와 표적 바이오물질의 상호작용을 검출 및/또는 정량하는 것을 특징으로 하는 표적 바이오물질 또는 후보 표적 바이오물질 측정 방법
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제22항에 있어서, 상기 표적 바이오물질 또는 후보 표적 바이오물질은 항원, 항체, 리간드(ligand), RNA, DNA, PNA 및 합텐(hapten)으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 표적 바이오물질 또는 후보 표적 바이오물질 측정방법
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