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진공 상온 분사 공정을 통해 적층된 플라즈마 식각 저항성 코팅의 특성 예측 방법

  • 기술번호 : KST2022013128
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공 상온 분사 공정을 통해 적층된 플라즈마 식각 저항성 코팅의 특성 예측 방법에 관한 것으로, 코팅 기계적 특성과 플라즈마 저항성 간의 상관관계를 기반으로, 진공 상온 분사 공정에 의한 세라믹 코팅의 플라즈마 식각 저항성을 예측할 수 있다.
Int. CL G01N 23/2251 (2018.01.01) G01N 33/208 (2019.01.01)
CPC G01N 23/2251(2013.01) G01N 33/208(2013.01) G01N 2223/418(2013.01)
출원번호/일자 1020200155945 (2020.11.19)
출원인 한양대학교 산학협력단, 아이원스 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0069192 (2022.05.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 아이원스 주식회사 대한민국 경기도 안성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창희 서울특별시 송파구
2 권한솔 서울특별시 동대문구
3 김대근 경기도 오산
4 석혜원 경기도 오산시 대
5 이경민 경기도 화성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 피씨알 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***, **층(삼성동, 송암빌딩Ⅲ)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-1245549-84
2 청구범위 제출유예 안내서
Notification for Deferment of Submission of Claims
2020.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0176287-89
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2021.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2021-0016563-19
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2021.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2021-0282108-86
5 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2022.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2022-0049644-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0049643-71
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번호 청구항
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코팅막의 기계적 특성평가를 통한 플라즈마 식각 특성 예측 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 아이원스(주) 글로벌중소기업육성프로젝트지원(R&D) 반도체/디스플레이 제조 장비용 600phi 이상의 입체형상 부품 및 6세대 이상의 초대면적 부품에 대한 플라즈마 내식성의 표면처리기술 개발