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a) 기판을 수산화칼륨 용액에 함침시켜 표면 처리하는 단계, 및 b) 단계 a)에서 표면 처리된 기판 위에 열전소재 박막을 증착시키는 단계를 포함하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제8항에 있어서, 기판이 절연성 기판인 것을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제8항에 있어서, 기판이 절연성 기판상에 전극용 금속 박막을 증착시킨 형태의 기판인 것을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제9항 또는 제10항에 있어서, 절연성 기판이 사파이어 기판, 실리콘 기판, 갈륨비소 기판, 석영 기판 및 유리 기판으로 이루어진 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제10항에 있어서, 전극용 금속 박막의 최상층의 재질이 니켈(Ni), 티타늄(Ti) 및 크롬(Cr)으로 이루어진 군 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제8항에 있어서, 열전소재가 하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법:화학식 1(Bi1-xSbx)2Te3상기 식에서, 0≤x≤1이다
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제8항에 있어서, 수산화칼륨 용액의 농도가 0
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제8항에 있어서, 수산화칼륨 용액의 용매가 물 및 알코올 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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제8항에 있어서, 박막 증착 공정을 분자선 에피텍시(molecular beam epitaxy), 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD) 및 스퍼터링(sputtering) 중에서 선택된 증착 방법에 의해 수행하는 것을 특징으로 하는, 박막형 열전소재의 제조 방법
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