맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2014026381
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 패턴이 형성된 스탬프를 준비하는 단계; 상기 패턴이 형성된 스탬프의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료를 채우는 형성하는 단계; 피전사 기판을 준비하는 단계; 상기 피전사 기판의 표면에 용매를 뿌려 액체 유동층을 형성하는 단계; 상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료가 채워진 스탬프를 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 상기 기능성 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 위에 전사시키는 단계; 및 상기 피전사 기판과 접촉된 스탬프를 상기 피전사 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는, 액체 유동층을 매개로한 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다.액체 유동층, 기능성 재료, 패턴 형성 방법
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090002378 (2009.01.12)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1273618-0000 (2013.06.04)
공개번호/일자 10-2010-0083026 (2010.07.21) 문서열기
공고번호/일자 (20130611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.08)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성명모 대한민국 서울특별시 서초구
2 황재권 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0018076-38
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0609643-71
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0609647-53
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.04.19 수리 (Accepted) 9-1-2012-0030868-11
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0704157-25
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0052474-11
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0052473-76
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0306761-03
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 단계를 포함하는, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법:패턴이 형성된 스탬프를 준비하는 단계;상기 패턴이 형성된 스탬프의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료를 채우는 단계;피전사 기판을 준비하는 단계;상기 피전사 기판의 표면에 용매를 뿌려 액체 유동층을 형성하는 단계;상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료가 채워진 스탬프를 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시켜 상기 기능성 재료의 패턴을 상기 피전사 기판 위에 전사시키는 단계; 및상기 피전사 기판과 접촉된 스탬프를 상기 피전사 기판으로부터 분리시키는 단계
2 2
제1항에 있어서,상기 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료가 채워진 스탬프를 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시킴으로써, 상기 피전사 기판과 상기 기능성 재료가 채워져 있는 스탬프 사이에 액체 브릿지(bridge)가 형성되어 상기 기능성 재료의 패턴이 상기 피전사 기판 위에 전사되는 것인, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 패턴이 형성된 스탬프를 준비하는 단계는, 패턴된 마스터 몰드에 성형층을 형성시킨 후 경화시켜 스탬프를 제작한 후 상기 마스터 몰드로부터 상기 스탬프를 분리시켜 패턴된 스탬프를 형성하는 것을 포함하는 것인, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기능성 재료가 액상인, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 패턴이 형성된 스탬프의 음각 부분에만 선택적으로 기능성 재료를 채우는 단계 이후에, 상기 액상 기능성 재료가 음각 부분에만 선택적으로 채워진 스탬프를 건조시켜 상기 액상 기능성 재료를 고형화하는 것을 추가로 포함하는, 액체 유동층을 매개로 한 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
6 6
제4항에 있어서,상기 액상 기능성 재료는 금속 잉크 또는 산화물 잉크인, 액체 유동층을 매개로 한 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 금속 잉크는 Ag, Au 또는 Cu를 포함하는 잉크이고, 상기 산화물 잉크는 ZnO 또는 Al2O3를 포함하는 잉크인, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
8 8
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기능성 재료가 음각 부분에만 선택적으로 채워진 스탬프를 상기 액체 유동층이 형성된 피전사 기판에 접촉시킨 후 상기 기판을 건조시키는 것을 추가로 포함하는, 액체 유동층을 매개로 하는 나노 전사 직접 인쇄법을 이용한 미세 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국학술진흥재단(교육인적자원부) 한양대학교 산학협력단 BK21사업 창의적 화학인력 양성 사업단