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수직 자화 자성층을 갖는 자기 터널 접합 구조

  • 기술번호 : KST2014036429
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수직이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조에 관한 것으로서, 고정된 자화 방향을 지닌 제1 자성층과, 반전 가능한 자화 방향을 지닌 제2 자성층과, 상기 제1 자성층과 상기 제2 자성층 사이에 형성되는 비자성층 (터널장벽층)과, 상기 제1 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제1 자성층의 자화 방향을 박막면에 대하여 수직방향으로 향하게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제3 자성층과, 상기 제1 자성층과 상기 제3 자성층 사이에 형성되며, 상기 제1 및 제3 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 제1 결정구조 분리층과, 상기 제2 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제2 자성층의 자화 방향을 박막면에 대하여 수직방향으로 향하게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제4 자성층, 및 상기 제2 자성층과 상기 제4 자성층 사이에 형성되며, 상기 제2 및 제4 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 제2 결정구조 분리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조를 제공한다. 본 발명에 의하면, 자기 터널 접합 구조를 구성하는 자유 자성층 및 고정 자성층의 자화방향을 수직으로 유지함으로써 스위칭에 필요한 임계전류 값을 낮추고, 소자의 크기를 작게 제작하더라도 열적 안정성을 유지할 수 있다. 수직 자기 이방성, 자기 터널 접합, 전류 인가 자기 저항
Int. CL G11C 11/15 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090099432 (2009.10.19)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1096517-0000 (2011.12.14)
공개번호/일자 10-2011-0042657 (2011.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20111220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.19)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민병철 대한민국 서울특별시 성북구
2 최경민 대한민국 서울특별시 성북구
3 신경호 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0639629-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0015630-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0136638-27
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0255264-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0255268-04
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0707087-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고정된 자화 방향을 지닌 제1 자성층과; 반전 가능한 자화 방향을 지닌 제2 자성층과; 상기 제1 자성층과 상기 제2 자성층 사이에 형성되는 비자성층(터널장벽층)과; 상기 제1 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제1 자성층의 자화 방향을 박막면에 대하여 수직방향으로 향하게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제3 자성층과; 상기 제1 자성층과 상기 제3 자성층 사이에 형성되며, 상기 제1 및 상기 제3 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 제1 결정구조 분리층과; 상기 제2 자성층과의 자성 결합에 의해 상기 제2 자성층의 자화 방향을 박막면에 대하여 수직방향으로 향하게 하며, 수직 자기 이방성 에너지가 수평 자기 이방성 에너지보다 큰 제4 자성층 및; 상기 제2 자성층과 상기 제4 자성층 사이에 형성되며, 상기 제2 및 상기 제4 자성층 간의 결정 배향성을 분리하는 제2 결정구조 분리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
2 2
제1항에 있어서, 상기 비자성층은 절연체 또는 반도체를 포함하여 이루어지며, 상기 절연체는 MgO, Al2O3, HfO2, TiO2, Y2O3 및 Yb2O3로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 자성층은 자성층/비자성층/자성층의 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 자성층 및 상기 제2 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 FeX, CoX, NiX, FeCoX, CoNiX 또는 NiFeX (여기서, X는 B, Re, Rh, Cr, Cu, Gd 및 Tb로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 자성층 및 상기 제2 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 체심입방격자구조를 가지며, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 각각 면심입방, 면심정방 또는 조밀육방격자구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
6 6
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층의 자화 용이 축은 각각 상기 제1 자성층 및 상기 제2 자성층의 평면에 대하여 수직인 방향으로 배향된 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
7 7
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층의 자화 방향이 각각 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층의 평면에 대하여 경사진 각도는 60°≤θ≤120°인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
8 8
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 면심정방구조를 갖는 합금을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
9 9
제8항에 있어서, 상기 면심정방구조를 갖는 합금은 FePt, CoPt, FePd 및 MnAl로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
10 10
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 조밀육방구조를 갖는 합금을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
11 11
제10항에 있어서, 상기 조밀육방구조를 갖는 합금은 Co3Pt 합금 또는 CoCrPt 합금인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
12 12
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 희토류 전이금속 합금을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
13 13
제12항에 있어서, 상기 희토류 전이금속 합금은 Fe14Nd2B 또는 SmCo5인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
14 14
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 및 상기 제4 자성층 중 적어도 어느 하나의 자성층은 다층 박막을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
15 15
제14항에 있어서, 상기 다층 박막은 [Co/Pt]n, [CoX 합금/Pt]n, [Co/Pd]n, [CoX 합금/Pd]n, [Co/Ni]n, [CoX 합금/Ni]n 또는 [Ni/Pt]n이고, 상기 n은 1과 10 사이의 수이며, 상기 X는 Fe, Ni, Cr, Ru, Re, Rh, Gd 및 Tb로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
16 16
제1항에 있어서, 상기 제1 결정구조 분리층 및 상기 제2 결정구조 분리층 중 적어도 어느 하나의 결정구조 분리층은 비정질 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
17 17
삭제
18 18
제1항에 있어서, 상기 제1 결정구조 분리층은 Ru, Ta, Re, Hf, W, Os, Ir 및 Rh로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것이고, 상기 제2 결정구조 분리층은 Ru, Ta, Re, Hf, W, Os, Ir 및 Rh로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
19 19
제1항에 있어서, 상기 제3 자성층 아래에 형성되는 하지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
20 20
제19항에 있어서, 상기 하지층은 Au, Cu, Pd, Pt, Ta 및 다이아몬드상 탄소로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합 구조
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1 JP05373733 JP 일본 FAMILY
2 JP23086944 JP 일본 FAMILY
3 US08319297 US 미국 FAMILY
4 US20110089508 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2011086944 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP5373733 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2011089508 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8319297 US 미국 DOCDBFAMILY
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