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유기-무기 복합 초격자 박막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014043698
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기-무기 복합 초격자 박막의 제조방법에 관한 것으로, 특히 본 발명에 따르면 원자층 증착법 및 분자층 증착법을 사용하여 유기-무기 복합 초격자 박막을 원하는 두께 및 비율로 제조할 수 있으며, 특히 기존의 방법에 비하여 비교적 낮은 온도에서 공정을 진행할 수 있으므로, 플라스틱 등의 기판 상에서도 유기-무기 복합 초격자 박막을 제조할 수 있어 매우 유용할 것으로 기대된다. 분자층 증착법, 원자층 증착법, 유기-무기 복합 초격자 박막
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC C23C 16/45527(2013.01) C23C 16/45527(2013.01) C23C 16/45527(2013.01) C23C 16/45527(2013.01) C23C 16/45527(2013.01)
출원번호/일자 1020080017914 (2008.02.27)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0971553-0000 (2010.07.14)
공개번호/일자 10-2009-0092589 (2009.09.01) 문서열기
공고번호/일자 (20100721) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성명모 대한민국 서울 서초구
2 이병훈 대한민국 서울 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0144865-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.02.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0016247-56
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0029374-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.03.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0183919-62
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0183905-23
8 등록결정서
Decision to grant		 2010.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0293253-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 기판 상에 알케닐트리할로실란계 화합물과 H2O를 사용하여 분자층 증착법으로 자기조립 단분자막을 형성하는 단계; b) 오존을 이용하여 상기 단분자막의 이중결합 작용기를 활성화 하는 단계; 및 c) 활성화된 단분자막 위에 원자층 증착법으로 금속산화막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 금속산화막은 Ti:Al로 형성되고, 상기 Ti:Al의 몰비가 1:1 ~ 1:4인 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속산화막 상에 자기조립 단분자막을 형성하고 상기 b) 및 c) 단계를 진행하는 것을 1사이클로 하여 상기 사이클을 반복하는 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판은 금속 산화물 기판, 반도체 기판, 유리기판 및 플라스틱 기판 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 플라스틱 기판은 PC, PES, PI, PET 및 PEN 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 알케닐트리할로실란계 화합물은 C2 내지 C20의 알케닐기를 포함하는 RSiCl3의 구조인 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막의 제조방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서, 상기 a) 내지 c) 단계는 120~200℃, 200~400 mtorr의 범위에서 진행되는 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막의 제조방법
10 10
기판; 기판상에 분자층 증착법으로 형성된 자기조립 단분자막; 및 상기 자기조립 단분자막 상에 원자층 증착법으로 형성된 금속산화막을 포함하여 이루어지며, 상기 자기조립 단분자막과 금속산화막은 순차적으로 반복 형성된 구조이고, 상기 금속산화막은 Ti:Al로 형성되고, 상기 Ti:Al의 몰비가 1:1 ~ 1:4인 것을 특징으로 하는 유기-무기 복합 초격자 박막
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 한국과학재단 한양대학교 산학협력단 특정기초연구 기상에서 분자층 성장 기술을 이용한 나노복합 초격자 제조연구