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유기 박막의 국부적 결정화 방법 및 이를 이용한 유기 박막트랜지스터 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014045205
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 박막의 국부적 결정화 방법 및 이를 이용한 유기 박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 유기 박막 트랜지스터의 활성층으로 사용되는 유기 박막에 유기 용매의 국부적인 도포나 레이저를 통한 국부적인 열처리를 수행하여 유기 박막의 결정도를 국부적으로 향상시킴으로써, 별도로 유기 박막을 패터닝하지 않고도 유기 박막 트랜지스터의 전하 이동도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 소자간의 크로스토크를 감소시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.유기 박막, 국부적, 결정화, 유기 박막 트랜지스터, 활성층, 유기 용매, 레이저
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01)
CPC H01L 51/0027(2013.01) H01L 51/0027(2013.01) H01L 51/0027(2013.01) H01L 51/0027(2013.01) H01L 51/0027(2013.01) H01L 51/0027(2013.01)
출원번호/일자 1020080078593 (2008.08.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1183964-0000 (2012.09.12)
공개번호/일자 10-2010-0019853 (2010.02.19) 문서열기
공고번호/일자 (20120919) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노용영 대한민국 대전광역시 유성구
2 백강준 대한민국 광주광역시 북구
3 유인규 대한민국 대전광역시 유성구
4 구재본 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0574319-90
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0042967-65
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0219648-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0459381-49
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.07.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0459391-06
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0455346-15
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2010.11.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2010-0046841-60
10 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination		 2010.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0576635-54
11 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2011.01.19 수리 (Accepted) 7-8-2011-0001543-13
12 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0525492-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
(a) 유기 반도체 물질을 이용하여 유기 박막을 형성하는 단계;(b) 상기 유기 박막의 소정 영역에 증발 속도가 낮은 디클로로벤젠, 트리클로로벤젠 및 부탄올로 이루어진 군에서 선택된 유기 용매를 도포하거나 레이저 빔을 레이저 빔이 조사되는 영역의 온도가 10 내지 20분 동안의 조사에 의해 100℃에 도달할 수 있는 세기로 조사하여 상기 소정 영역의 유기 박막을 연성상으로 변화시키는 단계; 및(c) 상기 연성상으로 변화된 유기 박막을 소정 시간 동안 건조하여 상기 소정 영역의 결정도를 향상시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막의 국부적 결정화 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서,상기 유기 반도체 물질을 이용하여 유기 반도체 용액을 만든 후 상기 유기 반도체 용액을 기판 상에 증착하여 상기 유기 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 박막의 국부적 결정화 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 (b) 단계에서,상기 유기 박막의 소정 영역에 유기 용매를 도포하는 경우,잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅(gravure printing), 오프셋 프린팅, 플렉소그래피(flexography) 중 어느 하나의 직접 인쇄법을 이용하여 유기 용매를 도포하는 것을 특징으로 하는 유기 박막의 국부적 결정화 방법
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 (c) 단계에서,상기 연성상으로 변화된 유기 박막의 건조시, 상기 소정 영역의 유기 박막에서 유기 분자들이 자기 정렬하는 것을 특징으로 하는 유기 박막의 국부적 결정화 방법
6 6
(a) 기판 상부에 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스/드레인 전극 및 유기 박막을 순차적으로 형성하는 단계;(b) 상기 유기 박막의 소정 영역에 증발 속도가 낮은 디클로로벤젠, 트리클로로벤젠 및 부탄올로 이루어진 군에서 선택된 유기 용매를 도포하거나 레이저 빔을 레이저 빔이 조사되는 영역의 온도가 10 내지 20분 동안의 조사에 의해 100℃에 도달할 수 있는 세기로 조사하여 상기 소정 영역의 유기 박막을 연성상으로 변화시키는 단계; 및(c) 상기 연성상으로 변화된 유기 박막을 소정 시간 동안 건조하여 상기 소정 영역의 결정도를 향상시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 (b) 단계에서,상기 유기 박막의 소정 영역에 유기 용매를 도포하는 경우,잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅(gravure printing), 오프셋 프린팅, 플렉소그래피(flexography) 중 어느 하나의 직접 인쇄법을 이용하여 유기 용매를 도포하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
8 8
삭제
9 9
제 6항에 있어서, 상기 (c) 단계에서,상기 연성상으로 변화된 유기 박막의 건조시, 상기 소정 영역의 유기 박막에서 유기 분자들이 자기 정렬하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법
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1 지식경제부 및 정보통신연구진흥원 한국전자통신연구원 IT원천기술개발사업 개별물품 단위 응용을 위한 차세대 RFID 기술 개발