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정전분무법에 의한 산화아연 투명전도성 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014046610
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 투과도가 높고 저항이 낮은 산화아연(ZnO) 박막을 제조하는데 있어 정전분무법을 사용함으로서, 기존에 산화아연 박막을 생성하는 공정에 비해 간단할 뿐만 아니라 입자 구성이 치밀한 박막을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
Int. CL H01L 41/22 (2014.01) H01L 21/20 (2014.01) H01B 5/14 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01)
출원번호/일자 1020110071127 (2011.07.18)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1212193-0000 (2012.12.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.18)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승빈 대한민국 대전광역시 유성구
2 마흐모드, 칼리드 파키스탄 대전광역시 유성구
3 송동수 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0552311-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0048326-42
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0481163-80
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0851954-65
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0950088-85
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0950090-77
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0734826-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 아연염과 알루미늄염을 용매에 첨가하여 전구체 용액을 제조하는 단계;2) 상기 제조된 전구체 용액을 기판에 정전분무하여 산화아연을 기판 상에 증착시키는 단계; 및3) 상기 산화아연이 증착된 기판을 300℃ 내지 600℃의 온도로 열처리하는 단계를 포함하고상기 알루미늄염의 첨가량은 상기 아연염의 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 아연염은 아세트산아연 또는 아세트산아연 수화물인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 용매는 알코올인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 알코올은 에탄올, 2-메톡시프로판올, 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 알루미늄염은 염화알루미늄인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 단계 2)의 정전분무는 0 kV 내지 8 kV의 전압을 가하여 수행하는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 단계 2)의 정전분무는 4 kV 내지 8 kV의 전압을 가하여 수행하는 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 단계 2)의 기판의 온도는 200 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
11 11
삭제
12 12
제1항에 있어서, 상기 열처리 시간은 1시간 내지 3시간인 것을 특징으로 하는 산화아연 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국과학기술원 기초과학연구사업 주문형 표면 제조를 위한 정전기력 프린팅 장치 개발