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구리 공급원, 아연 공급원, 주석 공급원, 및 황 공급원을 포함하는 전구체 용액을 제조하는 단계;상기 전구체 용액을 비진공 상태에서 기판에 정전분무하여 박막을 증착하는 단계; 및상기 박막을 어닐링 하는 단계를 포함하는, CZTS(Cu2ZnSnS4) 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 구리 공급원, 상기 아연 공급원, 및 상기 주석 공급원 각각은, 염산염 또는 질산염을 포함하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구리 공급원은 염화구리(CuCl2), 상기 아연 공급원은 염화아연(ZnCl2), 상기 주석 공급원은 염화주석(SnCl2), 및 상기 황 공급원은 티오우레아((NH2)2CS)를 각각 포함하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 염화구리, 상기 염화아연, 상기 염화주석, 및 상기 티오우레아의 농도는 각각 0
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제 1 항에 있어서,상기 전구체 용액은 상기 구리 공급원, 상기 아연 공급원, 상기 주석 공급원, 및 상기 황 공급원이 극성 용매에 분산, 용해, 또는, 분산 및 용해된 것을 포함하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 극성 용매는 물, 에탄올, 또는, 물과 에탄올의 혼합물을 포함하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 박막을 어닐링 하는 단계는 250℃ 내지 500℃의 온도에서 수행되는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 유리 또는 소다 석회 유리를 포함하는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 정전분무는 상기 전구체 용액을 0
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10
제 1 항에 있어서,상기 정전분무는 상기 전구체 용액에 1 kV 내지 10 kV의 직류 고전압을 인가한 상태에서 수행되는 것인, CZTS 박막의 제조방법
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11
제 1 항에 있어서,상기 박막을 증착시키는 단계는 상기 기판의 온도를 200℃ 내지 300℃로 유지하는 것을 포함하는, CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조되는 CZTS 박막
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제 12 항에 따른 상기 CZTS 박막을 포함하는 태양전지
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