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이광자현미경 장치

  • 기술번호 : KST2014060776
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 스캐닝에 필요한 광경로를 간단히 하고 시료의 스캔시 정밀한 스캔 조정이 가능한 광자현미경 장치 및 그 스캔방법이 소개된다. 이 중에서, 광자현미경 장치는, Z스테이지, Y스테이지, X스테이지, 압전소자 액츄에이터 및 간극 조절유닛을 포함하는 구성으로, 광원이 고정된 상태에서 시료가 위치한 스테이지를 XYZ방향으로 미세하게 구동하여 스캔한다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G02B 21/26 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC G02B 21/26(2013.01)G02B 21/26(2013.01)G02B 21/26(2013.01)
출원번호/일자 1020110029265 (2011.03.31)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1281649-0000 (2013.06.27)
공개번호/일자 10-2012-0111023 (2012.10.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호 대한민국 대구광역시 수성구
2 이상인 대한민국 대구광역시 달서구
3 이상원 대한민국 대구광역시 북구
4 김위한 대한민국 대구광역시 북구
5 박민규 대한민국 대구광역시 수성구
6 최상훈 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신세기 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로 ***길 **

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0234186-11
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0583194-54
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0983642-32
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-1075388-65
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0081229-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0081228-76
7 등록결정서
Decision to grant
2013.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0416003-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광원이 고정된 상태에서 시료가 위치한 스테이지를 XYZ방향으로 미세하게 구동하여 스캔하는 이광자현미경 장치로서,베이스 스테이지에 대해 Z방향으로 직선운동이 이루어지는 Z스테이지;상기 Z스테이지 상에 설치되어 상기 Z스테이지의 진행방향과 수직되는 Y방향으로 직선운동이 이루어지는 Y스테이지;상기 Y스테이지 상에 설치되고 시료가 고정되는 샘플대가 마련되며 상기 Z 스테이지 및 Y 스테이지에 수직하는 X방향으로 직선운동이 이루어지는 X스테이지;상기 Z스테이지, Y스테이지 및 X스테이지를 직선운동시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 스테이지에 형성된 안착홈에 장착되는 압전소자 액츄에이터; 및상기 압전소자 액츄에이터와 스테이지 간의 간극을 정밀하게 보정하기 위하여 상기 스테이지에 장착되고, 상기 압전소자 액츄에이터를 이동시켜 압전소자 액츄에이터의 일단이 상기 스테이지에 밀착되도록 위치를 조정하는 간극 조절유닛을 포함하고,상기 간극 조절유닛은상기 스테이지에 형성된 안착홈에 배치되고, 상기 압전소자 액츄에이터의 타단이 고정되어 상기 안착홈을 따라 상기 압전소자 액츄에이터를 일체로 이동시키는 장착소켓과;일측이 상기 스테이지의 외부로 노출되고, 타측이 상기 스테이지의 안착홈으로 노출되면서 상기 스테이지에 나사 결합되어 이동되는 조정나사와;상기 스테이지에 형성된 안착홈에 배치되고, 상기 장착소켓과 조정나사의 타측 사이를 연결하여 상기 조정나사의 이동에 따라 상기 장착소켓 및 압전소자 액츄에이터를 일체로 이동시키는 플로팅조인트와;위치가 조절된 최종 위치에서 상기 조정나사를 고정하는 고정볼트로 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자현미경 장치
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청구항 1에 있어서,레이저 빔을 시료에 주사하기 위한 레이저 광원부;상기 시료에서 반사된 빛을 광원의 경로에서 광검출기로 전달하는 광경로 분리기; 상기 광경로 분리기에서 반사된 빛을 아날로그 신호로 검출하는 광검출기;상기 광검출기에서 검출된 아날로그 신호를 디지털 신호로 전환하는 ACD 카드; 및상기 ACD 카드에서 전환된 디지털 신호를 분석하고 상기 시료의 이동에 따른 스캔 영역을 설정하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자현미경 장치
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국가 R&D 정보가 없습니다.